【技术实现步骤摘要】
本技术涉及的是一种在扫描电子显微镜中使用的动态观察组织的设备,尤其 涉及一种具有弯曲功能的样品台的制备与研发领域。
技术介绍
在现有技术中,公知的技术是扫描电子显微镜中在用的普通样品台和进口的多功 能样品台。现有的普通样品台只有放置样品并使其移动位置的功能,不能对样品进行弯曲 等操作,不能实现在试样动态变化时观察样品的组织。进口的多功能样品台包括机械装夹 样品的部分及其电动驱动装置和自动控制系统,由于实行机电一体的控制,因而机构复杂, 价格昂贵,难以实用化。这是现有技术所存在的不足之处。
技术实现思路
本技术的目的,就是针对现有技术所存在的不足,而提供一种有弯曲功能且 结构简单的样品台,该样品台不但能实现动态组织观察的目的,而且成本低廉、实用性强。本技术解决技术问题所采用的技术方案是在样品台底座上,设置一个由操 纵杆、凸轮、螺母和定位销组成的机械装夹装置。在该装置中,操纵杆与样品台壁为螺纹连 接,与凸轮为花键连接;螺母用以固定凸轮,使其不发生水平移动;试样安装在两定位销之 间。转动操纵杆,凸轮同步转动,当转到一定位置时,凸轮与试样接触,对试样产生垂直向上 的分压力, ...
【技术保护点】
一种扫描电子显微镜用具有弯曲功能的样品台,包括样品台底座和机械装夹装置,其特征是:机械装夹装置由操纵杆、凸轮、螺母和定位销组成。
【技术特征摘要】
一种扫描电子显微镜用具有弯曲功能的样品台,包括样品台底座和机械装夹装置,其特征是机械装夹装置由操纵杆、凸轮、螺母和定位销组成。2.根据权利要求1所述的扫描电子显...
【专利技术属性】
技术研发人员:逄波,刘科高,王志刚,许斌,孙喜桂,
申请(专利权)人:山东建筑大学,
类型:实用新型
国别省市:88[中国|济南]
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