【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种检测光掩膜缺陷的方法,该方法提供一方式予检测者确认一实体的光掩膜缺陷位于一晶圆的实体的芯片阵列(或位于一光电基板的实体的单元阵列)上的实际位置,以及更进一步确认该实体的光掩膜缺陷位于转移在该芯片阵列(或该单元阵列)的一实体的光掩膜设计图案上的实际位置。
技术介绍
于先前技术中,光掩膜设计者在制造光掩膜时,通常会依据半导体业或光电业中的IC(集成电路)/薄膜晶体管(TFT)/液晶显示器(LCD)/彩色滤光片(CF)/印刷电路板(PCB)设计者或客户的集成电路设计图、液晶显示器的薄膜晶体管设计图、彩色滤光片设计图或印刷电路板设计图而开始进行。在完成光掩膜后,光掩膜设计者通常会提供缺陷分布位置图(defect map)给IC/TFT/LCD/CF/PCB设计者或客户,用以显示光掩膜上所形成的光掩膜缺陷(mask defect)会转移至一对应晶圆或一光电基板(如玻璃基板)上的相对位置。光掩膜上的光掩膜缺陷指不同于一期望的光掩膜设计图案(designpattern)外的任何图形,其通常会出现在光掩膜的制作过程中。图1a至图1f为用以说明一简单集成电路或光电或印刷电路板设计的光掩膜10的示意图。该光掩膜10上通常会包括一些在光掩膜制作过程中所出现的光掩膜缺陷。该光掩膜10上包含有一不透光区域12(通常由铬制成)以及透光区域14、16,用以表示欲被转移至一晶圆或一光电基板上的几何图案。图1a显示了位于该光掩膜10的不透光区域12上的一孤立孔缺陷18。图1b显示了位于该光掩膜10的透光区域14上的一不透光点缺陷20。图1c显示了位于该光掩膜10的透光 ...
【技术保护点】
一种检测光掩膜缺陷的方法,用以检测一光掩膜,该光掩膜具有一实体的光掩膜设计图案以及至少一实体的光掩膜缺陷形成于该实体的光掩膜设计图案上,其特征是,该方法包含下列步骤:提供一光掩膜设计图案图像,其显示一模拟的光掩膜设计图案,用以表示该 实体的光掩膜设计图案;提供一光掩膜缺陷分布位置图像,其显示至少一模拟的光掩膜缺陷,用以表示该实体的光掩膜缺陷;重叠该光掩膜设计图案图像与该光掩膜缺陷分布位置图像;以及检测该模拟的光掩膜缺陷位于该模拟的光掩膜设计图案上 的位置,藉此确认该实体的光掩膜缺陷位于该实体的光掩膜设计图案上的实际位置。
【技术特征摘要】
1.一种检测光掩膜缺陷的方法,用以检测一光掩膜,该光掩膜具有一实体的光掩膜设计图案以及至少一实体的光掩膜缺陷形成于该实体的光掩膜设计图案上,其特征是,该方法包含下列步骤提供一光掩膜设计图案图像,其显示一模拟的光掩膜设计图案,用以表示该实体的光掩膜设计图案;提供一光掩膜缺陷分布位置图像,其显示至少一模拟的光掩膜缺陷,用以表示该实体的光掩膜缺陷;重叠该光掩膜设计图案图像与该光掩膜缺陷分布位置图像;以及检测该模拟的光掩膜缺陷位于该模拟的光掩膜设计图案上的位置,藉此确认该实体的光掩膜缺陷位于该实体的光掩膜设计图案上的实际位置。2.如权利要求1所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,该上述步骤实现于一计算机系统上。3.如权利要求2所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,该上述步骤通过安装于该计算机系统上的一看图程序而执行。4.如权利要求3所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,该上述步骤实现于一计算机网络系统中,使得一检测者可利用其个人计算机而连接至一计算机服务器,其中该计算机服务器安装有该看图程序,用以观看该等图像。5.如权利要求3所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,另包含一步骤放大位于该模拟的光掩膜设计图案上的模拟的光掩膜缺陷,藉此确认该实体的光掩膜缺陷位于该实体的光掩膜设计图案上的实体的形状及大小。6.如权利要求3所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,另包含一步骤选择该模拟的光掩膜缺陷并显示该实体的光掩膜缺陷的影像,藉此确认该实体的光掩膜缺陷位于该实体的光掩膜设计图案上的实体的形状及大小。7.一种检测光掩膜缺陷的方法,用以检测一光掩膜,该光掩膜具有一实体的光掩膜设计图案以及至少一实体的光掩膜缺陷形成于该实体的光掩膜设计图案上,其特征是,该方法包含下列步骤提供一光掩膜设计图案图像,其显示一模拟的光掩膜设计图案,用以表示该实体的光掩膜设计图案;提供一光掩膜缺陷分布位置图像,其显示至少一模拟的光掩膜缺陷,用以表示该实体的光掩膜缺陷;提供一区块阵列图像,其显示一模拟的区块阵列,用以表示一基板上的一实体的区块阵列,其中该实体的光掩膜设计图案用以转移在该实体的区块阵列上;重叠该光掩膜缺陷分布位置图像与至少一该光掩膜设计图案图像及该区块阵列图像,藉此得到一重叠图像;以及检测该模拟的光掩膜缺陷位于至少一该模拟的光掩膜设计图案上及该模拟的区块阵列上的位置,藉此确认该实体的光掩膜缺陷位于至少一该实体的光掩膜设计图案上及该实体的区块阵列上的实际位置。8.如权利要求7所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,该基板为一晶圆与一光电基板两者之一,而该实体的区块阵列为该晶圆上的一实体的芯片阵列与该光电基板上的一实体的单元阵列两者之一。9.如权利要求7所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,该上述步骤实现于一计算机系统上。10.如权利要求9所述的检测光掩膜缺陷的方法,其特征是,该上述步骤通过安装于该计算机系统上的一看图程序...
【专利技术属性】
技术研发人员:何明丰,张颐文,
申请(专利权)人:盟图科技股份有限公司,
类型:发明
国别省市:71[中国|台湾]
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