本发明专利技术公开了一种晶片定向缺口信息获取电路，其与光电元件连接，包括微分电路和放大器电路，微分电路包括电容器和第一放大器及其外围元件，放大器电路包括第二放大器及其外围元件。微分电路的输入信号端连接光电元件的输出信号端，其输出信号端连接放大器电路的输入信号端，放大器电路的输出信号端连接控制器。由于本发明专利技术晶片定向缺口信息获取电路中设计了微分电路，使原来的缺口信号转化成为窄脉冲信号，又经过放大器电路的放大，将信号幅度增加到控制器容易识别的程度，缺口定向检测率极高。该电路简单可靠，检测速度快，精度高。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体工艺设备，特别涉及一种获取晶片V形定向缺口信息的电路。
技术介绍
在半导体集成电路制造技术中，随着半导体集成电路技术的发展，集成度越来越高，电路规模越来越大，电路中单元器件尺寸越来越小，对各半导体工艺设备提出了更高的要求。任何晶体都是有方向性的，晶片上的缺口即代表了晶体的方向，注入方向和角度的正确与否直接关系到器件的性能和成品率，因而能够正确找到晶片的定向缺口是离子注入不可缺少的技术。现有技术是由控制器对缺口信号突变进行判断，但在实际工作过程中经常出现检测不到晶片缺口，因晶片无法定向而使离子注入无法进行下去。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是克服现有技术中存在的缺陷，以期提供一种便于对缺口信号突变有效地进行识别的缺口信息获取电路，其定向精度高、定向检测率极佳，为实现上述目的，本专利技术晶片定向缺口信息获取电路与光电元件连接，包括微分电路和放大器电路，微分电路包括电容器和第一放大器及其外围元件，放大器电路包括第二放大器及其外围元件。所述的微分电路的输出信号端连接放大器电路的输入信号端。所述的微分电路的输入信号端连接光电元件的输出信号端，放大器电路的输出信号端连接控制器。所述的微分电路主要包括电容器、两个电阻和第一放大器，电容器的一端与光电元件连接，另一端连接到第一放大器的阴极，两个电阻并联配置，其两端分别连接电容器的两侧和公共端接地。所述的放大器电路主要包括电阻和第二放大器，第一放大器的输出端经电阻连接到第二放大器阴极，第二放大器输出端连接控制器。所述的光电元件的输出信号传输到缺口信号获取电路的输入信号端，该信号由电容和第一放大器构成的微分电路将缺口的信号转化成为窄脉冲信号，又增加一级放大器使缺口的窄脉冲信号成为脉冲信号，其信号幅度达到下一级计算机控制要求。与现有技术相比，由于本专利技术晶片定向缺口信息获取电路中设计了微分电路，使原来的缺口信号转化成为窄脉冲信号，又经过放大器电路的放大，将信号幅度增加到控制器容易识别的程度，缺口定向检测率极高。该电路简单可靠，检测速度快，精度高。下面结合附图和较佳实施例对本专利技术的优点和其它特点作进一步描述。附图说明图1是本专利技术晶片定向缺口信息获取电路的基本原理图；图2是图1所示晶片定向缺口信息获取回路的电路图；图3是用于检测晶片定向缺口信息的晶片定向台示意图；图4是现有技术缺口检测光电元件输出信号图；图5是本专利技术缺口信号获取电路第一级输出信号图；图6是本专利技术缺口信号获取电路第二级输出信号图。具体实施例方式图1是本专利技术晶片定向缺口信息获取电路的基本原理图，包括微分电路和放大器电路，微分电路主要包括电容器C、电阻R1和R2和第一放大器N1A，电容器C的一端与光电元件2(参见图3)连接，另一端连接到第一放大器N1A的阴极，电阻R1和R2并联配置，其两端分别连接电容器C的两侧和公共端接地。放大器电路主要包括电阻R和第二放大器N1B，第一放大器N1A的输出端通过电阻R连接到第二放大器N1B阴极，第二放大器N1B输出端连接控制器(图中未示出)。在本专利技术晶片定向缺口信息获取电路中，从光电元件2传输来的输入信号经微分电路输出的信号称为第一级输出信号，该第一级输出信号又经放大器电路输出的信号称为第二级输出信号。图2表示图1所示晶片定向缺口信息获取回路的一个实例电路图，由电容器C1、电感L1、电阻R1及R2、第一放大器N1A及其外围元件等构成一个微分电路，其中电感L1分别连接光电元件2的输出端和电容器C1，其主要作用是消除高频干扰信号，电容器C1是微分电容，电感L1和电阻R1构成输入信号高频滤波，R3是第一放大器N1A的反馈电阻。第一放大器N1A的输出电压为U1＝R3*C1*dUC1/dt 式中dUC1/dt∝dUi/dt式中Ui即为图4所示现有技术的缺口检测光电传感器的输出信号电压。由输入电阻R4和第二放大器N1B及其外围元件等构成典型的放大器电路，电阻R5是第二放大器N1B的反馈电阻，电阻R6是第二放大器N1B的输出电阻。图3是晶片定向台工作示意图，在晶片定向台6的上侧方设有一个发光光源1，在与光源1相对应的下方设有光电元件2，光电元件2输出信号的大小与照射到其上的光强成正比。晶片4置于定向台6上并随其一起转动，当晶片定向缺口3旋转到光源1和光电元件2之间位置时，光电元件2接收到的光信号最强，图4是现有技术缺口检测光电元件输出信号图，光电元件2接收到缺口3处的光信号发生了突变5，此时光电元件2输出信号的变化率dV/dt最大，但是，这时发生的光信号突变是微小的缺口变化信号，不易识别，如图4所示。图5和图6分别是本专利技术缺口信号获取电路第一级和第二级输出信号图。光电元件2输出的信号传输到本专利技术缺口信号获取电路的输入信号端，该信号由电容C1和第一放大器N1A构成的微分电路将缺口3的信号转化成为窄脉冲信号5’，即第一级输出信号，如图5所示。由于信号幅度较小，因此增加一级放大器(即第二放大器N1B)使缺口3窄脉冲信号5’成为脉冲信号5”，即第二级输出信号，如图6所示，脉冲信号5”的幅度达到了下一级计算机控制要求，很容易识别。在实际使用中，可以将两个图2所示的电路集成在印制板上，这样，能够同时为左、右两个定向台提供晶片定向缺口脉冲信号。本专利技术的特定实施例已给出了详细的电路工作原理图和主要电路结构。对本领域一般技术人员而言，在不背离本专利技术的工作原理和应用前提下对它所做的任何显而易见的改动，都不会超出本申请说明书描述和所附权利要求限定的保护范围。本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种晶片定向缺口信息获取电路，与光电元件连接，其特征在于，它包括微分电路和放大器电路，所述微分电路包括电容器和第一放大器及其外围元件，所述放大器电路包括第二放大器及其外围元件。
【技术特征摘要】
1.一种晶片定向缺口信息获取电路，与光电元件连接，其特征在于，它包括微分电路和放大器电路，所述微分电路包括电容器和第一放大器及其外围元件，所述放大器电路包括第二放大器及其外围元件。2.如权利要求1所述的晶片定向缺口信息获取电路，其特征在于，所述的微分电路的输出信号端连接放大器电路的输入信号端。3.如权利要求2所述的晶片定向缺口信息获取电路，其特征在于，所述的微分电路的输入信号端连接光电元件的输出信号端，放大器电路的输出信号端连接控制器。4.如权利要求3所述的晶片定向缺口信息获取电路，其特征在于，所述的微分电路主要包括电容器、两个电阻和第...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙雪平，伍三忠，郭健辉，田小海，
申请(专利权)人：北京中科信电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]
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