激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，该装置及其方法能够应对于当识别标记形成在周边区域的任何位置的情况下。本装置包括：保持基板（Ｗ）的台座（２）；对基板的预设的预定位置和与预设在台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据的摄影装置（４）；使台座移动的移动搬运机构（３）；在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束的激光束单元（５）；从照射口对基板的周边区域照射包含紫外线的光的紫外线照射单元（９）；和可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行基板的校准，并可使利用激光束的识别标记的曝光和利用包含紫外线的光的周边曝光同时进行的，控制移动搬运机构的控制装置（２０）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及方法，该装置及方法对在基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束，从而对记号、文字等的识别标记进行曝光(做标记)，同时，对周边区域照射包含紫外线的光以进行周边曝光。
技术介绍
一般而言，关于在曝光装置中图案将被曝光的基板，例如在液晶基板中，当时是对大约500mm×500mm的尺寸的基板进行处理，现在是对放大至2160mm×2460mm这样的大型尺寸的基板进行处理。从该大型的基板切断、分离成预设的各个基板片，以制作出搭载于一般图像接收设备上的基板。基板被从大型的状态切断、分离时，为了其管理与制造工序的管理，利用激光束等预先在分离前的基板上进行曝光，从而在各基板片上形成文字、记号、图形或者是由其组合而形成的识别记号、判断分离位置用的切断位置识别码、或者是对准标记等(以下称为识别标记)。此外，在基板上，在图案区域的周围，即周边区域存在着不需要的光阻剂墨液(photoresist ink)，由于该光阻剂墨液会成为后续工序的障碍，所以必须要预先使其曝光。在包含不需要的光阻剂墨液的周边区域中，需要如上所述显示识别标记，该周边区域被设定成预定宽度。然后，在该周边区域中形成识别标记的位置不仅配置于周边区域的中央部，也可以在图案区域附近的某个地方，或是在基板的蚀刻侧的某部分，或者是在相反侧的图案区域的附近。基板在其图案区域被曝光后，借助于周边曝光装置而曝光，以便通过对周边区域进行曝光来除去不需要的光阻剂墨液，从而在切断、分离成各基板片时易于处理(例如参照专利文献1、2)。而且，在基板的制造工序中，制造生产线上存在有对图案区域进行曝光的曝光装置、对周边区域的光阻剂墨液进行曝光的周边曝光装置、对识别标记进行曝光(显示)的曝光装置等各种曝光装置，一般，进行如下工序首先，由曝光装置对图案区域进行曝光；然后，利用激光照射曝光装置在基板的周边区域照射激光，从而标记出(曝光)识别标记；接着，利用周边曝光装置对基板的周边区域照射包含预定波长的紫外线的光，以进行曝光。通过激光的照射而标记出识别标记的曝光装置，作为一个例子，进行如下的动作。即，针对要标记出形成于基板的周边区域的识别标记的地方，从配置于载置基板的台座的上方的曝光单元输出激光束。然后，以使载置基板的台座与曝光单元相对移动的方式，在直线方向和与该直线方向正交的正交方向上依时间顺序依次扫瞄，同时，使照射位置在相对移动方向上错开，从而使基板上的照射点在成为直角坐标的平面上形成排列以标记出识别标记(例如，参照专利文献3)。该识别标记的形成方法(显示方法)，由于利用激光束的点曝光形成在总是与激光束位于相对的位置的涂布了光阻剂墨液的基板上，所述识别标记被标记在预定的宽度中，所以在与台座直线移动方向正交的正交方向上，经常一边用微小的激光束进行扫瞄一边曝光识别标记。此外，还有一种这样的曝光装置被公开光源用于使基板的周边区域的不需要的光阻剂墨液曝光，该光源具有通过使光导的射出端的倍率变化而改变曝光光的形状的结构(例如参照专利文献4)。在该曝光装置中，在调节的过程中，采用使投影激光束所成的像的大小产生变化的方式，通过使局部投影的光路扩大或缩小来控制从光导射出的光的宽度，因此所照射的曝光光束具有关于光路中心对称地放大或缩小的宽度。另外，还提出一种这样的曝光装置，其中周边曝光单元被设置于设在基板上方的固定导轨或移动导轨的至少一方的导轨上(例如参照专利文献5)。专利文献1日本特许第2910867号公报；专利文献2日本特许第3418656号公报； 专利文献3日本特许第3547418号公报；专利文献4日本特许第3175059号公报；专利文献5日本特许第3091460号公报。然而，在以往的周边曝光装置或识别标记的曝光装置中，存在着以下所示的问题。(1)在对基板进行曝光的制造工序中，由于伴随基板尺寸的大型化，制造生产线变长，所以希望使以往那样的识别标记的曝光装置和对周边区域进行曝光的周边曝光装置从分别的结构形成一体，从而缩短制造生产线。然而，当在各个曝光装置中进行基板的校准作业时，由于是通过确定绝对位置来进行，所以各个校准作业的基准不同，从而无法单纯地使结构一体化。(2)而且，在连续进行识别标记的曝光处理和周边区域的曝光处理时，基板的移动速度会影响到任一曝光工序的曝光速度。此时，光阻剂墨液由于被调节为对紫外线的波长附近的波长感光度高，所以相对于以恒定速度移动的基板，与紫外线的波长相比，激光束的能量低，而且以恒定照度照射，因此，根据对周边区域的光阻剂墨液进行曝光的范围，照射的紫外线的光量有可能过强，从而有可能过度曝光，这些问题需要解决。(3)在对周边区域的识别标记曝光后，当对周边区域的光阻剂墨液进行曝光时，曝光装置为了防止二次曝光必须对识别标记的部分进行遮光。在对该识别标记已曝光的周边区域进行遮光时，不得不每次改变应遮光的宽度和应遮光的位置。但是，如专利文献4那样，当所照射的曝光光束关于光路的中心对称地扩大或缩小时，若识别标记位于从周边区域的中央靠近图案区域侧的位置，则无法应对，从而产生不得不相对于台座的移动方向偏移而曝光的情况，因此希望改善这种情况。
技术实现思路
本专利技术正是鉴于上述问题而完成的，本专利技术的目的在于提供一种，该装置及方法能够将激光束的照射以及周边区域的紫外线的照射的单元设置于一个曝光装置中，而且识别标记形成在周边区域的任何位置都能够应对。为了解决上述问题，第一方面的激光束、紫外线照射周边曝光装置(以下称本装置)具有台座，该台座用于保持所述基板；摄影装置，该摄影装置对基板的预设的预定位置和与预设在台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，并取得图像数据；移动搬运机构，该移动搬运机构使台座在绕着与基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、移动方向以及与移动方向正交的正交方向上移动；激光束单元，该激光束单元在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束；紫外线照射单元，该紫外线照射单元设置在与该激光束单元相邻的位置上，并从照射口将包含紫外线的光照射至基板的周边区域；以及控制装置，该控制装置根据由摄影装置取得的图像数据来控制移动搬运机构，以便进行基板的校准，并同时进行利用激光束的识别标记的曝光和利用包含紫外线的光的周边曝光。如此构成的第一方面的本装置通过摄影装置对台座的定位标记和基板(对准标记或边缘等)进行摄影并解析，以算出基板位置，并通过移动搬运机构相对地进行基板的校准作业。然后，在校准作业后，能够同时利用激光束对识别标记进行曝光和利用包含紫外线的光进行周边曝光。此外，利用激光束进行识别标记的曝光和利用包含紫外线的光进行周边曝光的结构被一体化。此外，在第二方面的本装置中，紫外线照射单元配置在正交方向上并可自由移动。如此构成的本装置能够对应于随基板尺寸、电路图案区域而变动的周边区域，将紫外线照射单元的照射位置调节至适当的周边区域。而且，在第三方面的本装置中，摄影装置被配置成可自由移动。如此构成的本装置即使在基板尺寸随生产批次而变更的时候，也是使利用激光束的识别标记的曝光和利用包含紫外线的光的周边曝光一体化的装置，从而能够对应于多个基板尺寸而进行校准作业。第四方面的的激光束、紫外线照射周边曝光方法(以下称本方法)包括检测步骤，在该步骤中，对台座所保持的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种激光束、紫外线照射周边曝光装置，该装置使基板沿预定的移动方向移动，并对在该基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束以曝光识别标记，同时，对所述周边区域照射包含紫外线的光以进行曝光，所述激光束、紫外线照射周边曝光装置的特征在于，该装置具有：台座，所述台座用于保持所述基板；摄影装置，所述摄影装置对所述基板的预设的预定位置和与预设在所述台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据；移动搬运机构，所述移动搬运机构使所述台座在绕着与所述 基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、沿基板的面水平移动的移动方向以及与所述移动方向正交的正交方向上水平移动；激光束单元，所述激光束单元在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束；紫外线照射单元，所述紫外线照射单元设置在与该激光束单 元相邻的位置上，并从照射口将包含紫外线的光照射至所述基板的周边区域；以及控制装置，所述控制装置控制所述移动搬运机构，可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行所述基板的校准，并可使利用所述激光束的识别标记的曝光和利用包含所述紫外线的光的 周边曝光同时进行。...

【技术特征摘要】
JP 2005-11-4 2005-321256;JP 2006-9-12 2006-2462691.一种激光束、紫外线照射周边曝光装置，该装置使基板沿预定的移动方向移动，并对在该基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束以曝光识别标记，同时，对所述周边区域照射包含紫外线的光以进行曝光，所述激光束、紫外线照射周边曝光装置的特征在于，该装置具有台座，所述台座用于保持所述基板；摄影装置，所述摄影装置对所述基板的预设的预定位置和与预设在所述台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影，以取得图像数据；移动搬运机构，所述移动搬运机构使所述台座在绕着与所述基板的面正交的垂线旋转的旋转方向、沿基板的面水平移动的移动方向以及与所述移动方向正交的正交方向上水平移动；激光束单元，所述激光束单元在该移动搬运机构的移动路径上照射激光束；紫外线照射单元，所述紫外线照射单元设置在与该激光束单元相邻的位置上，并从照射口将包含紫外线的光照射至所述基板的周边区域；以及控制装置，所述控制装置控制所述移动搬运机构，可使基于从摄影装置取得的图像数据来进行所述基板的校准，并可使利用所述激光束的识别标记的曝光和利用包含所述紫外线的光的周边曝光同时进行。2.如权利要求1所述的激光束、紫外线照射周边曝光装置，其特征在于，所述紫外线照射单元配置在所述正交方向上并可自由移动。3.如权利要求1或2所述的激光束、紫外线照射周边曝光装置，其特征在于，所述摄影装置被配置成可自由移动。4.一种激光束、紫外线照射周边曝光方法，该方法对在基板的图案区域的周围形成的周边区域照射激光束以曝光识别标记，同时，对所述周边区域照射紫外线以进行曝光，所述激光束、紫外线照射周边曝光方法的特征在于，该方法包括下列步骤检测步骤，在该步骤中，对所述台座所保持的所述基板的预设的预定位置和所述台座的基准位置进行摄影，以检测出所述基板的基板位置和所述台座的基准位置；校准步骤，在该步骤中，根据所述检测步骤的结果而进行所述基板的校准作业；曝光步...

【专利技术属性】
技术研发人员：剑持晴康，佐藤博明，池田泰人，森昌人，
申请(专利权)人：株式会社ORC制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]