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本发明提供一种激光束、紫外线照射周边曝光装置及其方法，该装置及其方法能够应对于当识别标记形成在周边区域的任何位置的情况下。本装置包括：保持基板（Ｗ）的台座（２）；对基板的预设的预定位置和与预设在台座上的基准位置相对应而设置的定位标记进行摄影...
该专利属于株式会社ORC制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社ORC制作所授权不得商用。

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