紫外线照射装置及紫外线照射方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。本发明专利技术的课题在于提供一种可抑制在收容部内产生粒子、保持基板清洁的紫外线照射装置。本发明专利技术的紫外线照射装置包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板；照射部，所述照射部被设置于上述收容部的外部，可向上述基板照射紫外线；和移动部，所述移动部被设置于上述收容部的外部，使上述照射部在上述收容部的外部移动，以使得从上述收容部的外部向被收容在上述收容部的内部的上述基板照射上述紫外线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。
技术介绍
在构成液晶显示器等的显示面板的玻璃基板上，形成有布线图案及电极图案等微细的图案。例如，这样的图案可利用光刻法等方法形成。光刻法包括以下工序：将抗蚀剂膜涂布于玻璃基板的工序，将抗蚀剂膜曝光的工序，将曝光后的抗蚀剂膜显影的工序及向显影后的抗蚀剂膜照射紫外线等光的工序(固化(cure)工序)。上述的固化工序可利用向基板照射紫外线的紫外线照射装置进行。例如，专利文献1中公开了具有沿水平方向搬运基板的带式搬运机构、和向基板照射紫外线的紫外线照射机构的构成。专利文献2中公开了具有保持基板的基板保持器、向基板照射紫外线的紫外线发生源、和改变从紫外线发生源发出的紫外线的照射方向的反射板的构成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平4-97515号公报专利文献2：日本特开2006-114848号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，专利文献1中，为在带式搬运机构的上方设置设有紫外线照射机构等的上盖、在被上盖覆盖的空间内一边沿水平方向搬运基板一边照射紫外线的构成，因此，在搬运基板时，有可能在空间内产生微细的尘埃等(以下称为“粒子(particle)”。)。专利文献2中，为在处理室内设置基板保持台及电动机、用电动机使基板保持台上下移动或旋转的构成，因此，在使基板移动时，有可能在处理室内产生粒子。上述专利文献1及2中，由于在使基板移动时有可能产生粒子，因此，产生的粒子有时附着在基板上，在保持基板清洁方面存在问题。鉴于上述这样的情况，本专利技术的目的在于提供一种紫外线照射装置及紫外线照射方法，所述紫外线照射装置及紫外线照射方法可抑制在收容部内产生粒子，可保持基板清洁。用于解决课题的手段本专利技术的一个方式涉及的紫外线照射装置包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板；照射部，所述照射部被设置于上述收容部的外部，可向上述基板照射紫外线；和移动部，所述移动部被设置于上述收容部的外部，使上述照射部在上述收容部的外部移动，以使得从上述收容部的外部向被收容在上述收容部的内部的上述基板照射上述紫外线。通过上述构成，可在使基板在具有密闭空间的收容部的内部静止的状态下，一边在收容部的外部移动照射部一边向收容部的内部的基板照射紫外线，因此，不需要考虑伴随着基板的移动而产生粒子。另外，由于在收容部的外部进行照射部的移动，因此，即使假设伴随着照射部的移动而产生粒子，通过使收容部为密闭空间，也能避免粒子侵入到收容部内。因此，可抑制在收容部内产生粒子，可保持基板清洁。另外，通过在使基板静止的状态下移动照射部，从而即使使用平面视图尺寸比照射部大的基板，与在使照射部静止的状态下移动基板的情况相比，也可节约向基板照射紫外线时所需要的空间(space)，可减小占用面积(footprint)。另外，通过形成为使基板在收容部内静止的状态，从而收容部内只要确保基板的收容空间即可，因此，与使基板在收容部内移动的情况相比，可减小收容部的容积，将会容易进行收容部内的氧浓度·露点的管理。另外，可减少在调节收容部内的氧浓度时使用的氮的消耗量。上述的紫外线照射装置中，可在上述收容部中设置有透射部，所述透射部可透射上述紫外线。通过上述构成，可利用使用了透射部的简单的构成，经由透射部向基板照射紫外线。上述的紫外线照射装置中，上述收容部可包括顶板，所述顶板覆盖上述基板的上方，上述透射部可被设置于上述顶板。通过上述构成，可利用在收容部的顶板上设置有透射部的简单的构成，经由透射部向基板照射紫外线。另外，通过在收容部的一部分中设置透射部，从而与在收容部整体中设置透射部的情况相比，可提高透射部的维护性。上述的紫外线照射装置中，上述移动部可包括：引导部，所述引导部以夹隔上述收容部的方式沿上述照射部的移动方向延伸；和门型框，所述门型框以跨越上述收容部的方式形成为门型，并且被设定为可沿上述引导部移动；在上述门型框上可设置保持部，所述保持部保持上述照射部。通过上述构成，与一般的沿导轨(rail)移动照射部的情况相比，可利用具有高刚性的门型框使照射部沿引导部移动，因此，可稳定地进行照射部的移动。上述的紫外线照射装置中，上述收容部可包括第一收容部及第二收容部，所述第一收容部及第二收容部可在密闭空间内收容上述基板，并且沿上述照射部的移动方向并列；上述引导部可包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨以夹隔上述第一收容部的方式延伸，所述第二导轨沿上述照射部的移动方向与上述第一导轨并列，并且以夹隔上述第二收容部的方式延伸。通过上述构成，可沿第一导轨及第二导轨移动照射部，因此，可连续地进行对第一收容部内的基板的紫外线照射、和对第二收容部内的基板的紫外线照射。另外，由于包括第一收容部及第二收容部，所以可同时处理两片基板。另外，由于可在使基板在具有密闭空间的第一收容部内及第二收容部内静止的状态下，一边在第一收容部外及第二收容部外移动照射部，一边向第一收容部内及第二收容部内的基板照射紫外线，因此，可抑制在第一收容部内及第二收容部内产生粒子，可保持基板清洁。另外，具有第一收容部及第二收容部的构成中，不仅可实现占用面积缩小，各收容部内的氧浓度·露点的管理变得容易，而且可削减在调节各收容部内的氧浓度时使用的氮的消耗量。上述的紫外线照射装置中，可在上述照射部的移动方向上的上述第一导轨与上述第二导轨之间，可装卸地设置引导辅助部，所述引导辅助部辅助上述门型框的移动。通过上述构成，通过装卸引导辅助部，可切换仅沿第一导轨或第二导轨中的一方移动门型框的模式、和连续地沿第一导轨及第二导轨移动门型框的模式。例如，通过拆卸引导辅助部，可切换成仅沿第一导轨或第二导轨中的一方移动门型框的模式。另一方面，通过连接引导辅助部，可切换成连续地沿第一导轨及第二导轨移动门型框的模式。上述的紫外线照射装置中，可在上述收容部的外部设置冷却部，所述冷却部可将上述照射部冷却。通过上述构成，可将照射部冷却，因此，即使在向基板连续照射紫外线时等连续驱动照射部的情况下，也可抑制照射部过热。上述的紫外线照射装置中，上述移动部可使上述冷却部与上述照射部一同地在上述收容部的外部移动。通过上述构成，可一并使照射部及冷却部一体地移动，因此，与分别独立地移动照射部及冷却部的情况相比，可实现装置构成的简单化。上述的紫外线照射装置中，可在上述收容部中设置氧浓度调节部，所述氧浓度调节部可调节上述收容部的内部气氛的氧浓度。通过上述构成，可将收容部的内部气氛的氧浓度调节成规定的浓度，因此，可在规定的氧浓度的条件下向基板照射紫外线。上述的紫外线照射装置中，可在上述收容部中设置露点调节部，所述露点调节部可调节上述收容部的内部气氛的露点。通过上述构成，可将收容部的内部气氛的露点调节成规定的露点，因此，可在规定的露点的条件下向基板照射紫外线。本专利技术的一个方式涉及的紫外线照射方法是使用了下述紫外线照射装置的紫外线照射方法，所述紫外线照射装置包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板；和照射部，所述照射部被设置于上述收容部的外部，可向上述基板照射紫外线；所述紫外线照射方法包括以下步骤：收容步骤，将上述基板收容在上述收容部中的密闭空间内；照射步骤，向上述基板照射紫外线；和移动步骤，使上述照射部在上述收容部的外部移动，以使得从上述收容部本文档来自技高网...

【技术保护点】
紫外线照射装置，其包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板，照射部，所述照射部被设置于所述收容部的外部，可向所述基板照射紫外线，和移动部，所述移动部被设置于所述收容部的外部，使所述照射部在所述收容部的外部移动，以使得从所述收容部的外部向被收容在所述收容部的内部的所述基板照射所述紫外线。

【技术特征摘要】
2015.08.03 JP 2015-1533471.紫外线照射装置，其包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板，照射部，所述照射部被设置于所述收容部的外部，可向所述基板照射紫外线，和移动部，所述移动部被设置于所述收容部的外部，使所述照射部在所述收容部的外部移动，以使得从所述收容部的外部向被收容在所述收容部的内部的所述基板照射所述紫外线。2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其中，在所述收容部中设置有透射部，所述透射部可透射所述紫外线。3.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其中，所述收容部包括顶板，所述顶板覆盖所述基板的上方，所述透射部被设置于所述顶板。4.如权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其中，所述移动部包括：引导部，所述引导部以夹隔所述收容部的方式沿所述照射部的移动方向延伸，和门型框，所述门型框以跨越所述收容部的方式形成为门型，并且被设定为可沿所述引导部移动，在所述门型框上设置有保持部，所述保持部保持所述照射部。5.如权利要求4所述的紫外线照射装置，其中，所述收容部包括第一收容部及第二收容部，所述第一收容部及第二收容部可在密闭空间内收容所述基板，并且沿所述照射部的移动方向并列，所述引导部包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨以夹隔所述第一收容部的方式延伸，所述第二导轨沿所述照射部的移动方向与所述第一导轨并列，并且以夹隔所述第二收容部的方式延伸。6.如权利要求5所述的紫外线照射装置，其中，在所述照射部的移动方向上的所述第一导轨与所述第二导轨之间，可装卸地设置有引导辅助部，所述引导辅助部辅助所述门型框的移动。7.如权利要求1～6中任一项所述的紫外线照射装置，其中，在所述收容部的外部设置有冷却部，所述冷却部可将所述照射部冷却。8.如权利要求7所述的紫外线照射装置，其中，所述移动部使所述冷却部与所述照射部一同地在所述收容部的外部移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻尾吉浩，小西清孝，佐藤晶彦，细田浩，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP