紫外线照射装置及紫外线照射方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。本发明专利技术的课题在于提供一种可抑制在收容部内产生粒子、保持基板清洁的紫外线照射装置。本发明专利技术的紫外线照射装置包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板；照射部，所述照射部被设置于上述收容部的外部，可向上述基板照射紫外线；和移动部，所述移动部被设置于上述收容部的外部，使上述照射部在上述收容部的外部移动，以使得从上述收容部的外部向被收容在上述收容部的内部的上述基板照射上述紫外线。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。
技术介绍
在构成液晶显示器等的显示面板的玻璃基板上，形成有布线图案及电极图案等微细的图案。例如，这样的图案可利用光刻法等方法形成。光刻法包括以下工序：将抗蚀剂膜涂布于玻璃基板的工序，将抗蚀剂膜曝光的工序，将曝光后的抗蚀剂膜显影的工序及向显影后的抗蚀剂膜照射紫外线等光的工序(固化(cure)工序)。上述的固化工序可利用向基板照射紫外线的紫外线照射装置进行。例如，专利文献1中公开了具有沿水平方向搬运基板的带式搬运机构、和向基板照射紫外线的紫外线照射机构的构成。专利文献2中公开了具有保持基板的基板保持器、向基板照射紫外线的紫外线发生源、和改变从紫外线发生源发出的紫外线的照射方向的反射板的构成。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平4-97515号公报专利文献2：日本特开2006-114848号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的课题然而，专利文献1中，为在带式搬运机构的上方设置设有紫外线照射机构等的上盖、在被上盖覆盖的空间内一边沿水平方向搬运基板一边照射紫外线的构成，因此，在搬运基板时，有可能在空间内产生微细的尘埃等(以下称为“粒子(pa本文档来自技高网...

【技术保护点】
紫外线照射装置，其包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板，照射部，所述照射部被设置于所述收容部的外部，可向所述基板照射紫外线，和移动部，所述移动部被设置于所述收容部的外部，使所述照射部在所述收容部的外部移动，以使得从所述收容部的外部向被收容在所述收容部的内部的所述基板照射所述紫外线。

【技术特征摘要】
2015.08.03 JP 2015-1533471.紫外线照射装置，其包括：收容部，所述收容部可在密闭空间内收容基板，照射部，所述照射部被设置于所述收容部的外部，可向所述基板照射紫外线，和移动部，所述移动部被设置于所述收容部的外部，使所述照射部在所述收容部的外部移动，以使得从所述收容部的外部向被收容在所述收容部的内部的所述基板照射所述紫外线。2.如权利要求1所述的紫外线照射装置，其中，在所述收容部中设置有透射部，所述透射部可透射所述紫外线。3.如权利要求2所述的紫外线照射装置，其中，所述收容部包括顶板，所述顶板覆盖所述基板的上方，所述透射部被设置于所述顶板。4.如权利要求1～3中任一项所述的紫外线照射装置，其中，所述移动部包括：引导部，所述引导部以夹隔所述收容部的方式沿所述照射部的移动方向延伸，和门型框，所述门型框以跨越所述收容部的方式形成为门型，并且被设定为可沿所述引导部移动，在所述门型框上设置有保持部，所述保持部保持所述照射部。5.如权利要求4所述的紫外线照射装置，其中，所述收容部包括第一收容部及第二收容部，所述第一收容部及第二收容部可在密闭空间内收容所述基板，并且沿所述照射部的移动方向并列，所述引导部包括第一导轨和第二导轨，所述第一导轨以夹隔所述第一收容部的方式延伸，所述第二导轨沿所述照射部的移动方向与所述第一导轨并列，并且以夹隔所述第二收容部的方式延伸。6.如权利要求5所述的紫外线照射装置，其中，在所述照射部的移动方向上的所述第一导轨与所述第二导轨之间，可装卸地设置有引导辅助部，所述引导辅助部辅助所述门型框的移动。7.如权利要求1～6中任一项所述的紫外线照射装置，其中，在所述收容部的外部设置有冷却部，所述冷却部可将所述照射部冷却。8.如权利要求7所述的紫外线照射装置，其中，所述移动部使所述冷却部与所述照射部一同地在所述收容部的外部移动...

【专利技术属性】
技术研发人员：稻尾吉浩，小西清孝，佐藤晶彦，细田浩，
申请(专利权)人：东京应化工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP