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紫外线照射装置及紫外线照射方法制造方法及图纸
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文档序号:14650010
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本发明涉及紫外线照射装置及紫外线照射方法。本发明的课题在于提供一种可抑制在收容部内产生粒子、保持基板清洁的紫外线照射装置。本发明的紫外线照射装置包括:收容部,所述收容部可在密闭空间内收容基板;照射部,所述照射部被设置于上述收容部的外部,可向...
该专利属于东京应化工业株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东京应化工业株式会社授权不得商用。
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