发光二极管的结构及其制作方法技术

技术编号:3174912 阅读:179 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开了一种发光二极管的结构,其中包括N型GaN层、多量子阱层、P型AlGaN层,所述N型GaN与所述多量子阱层之间还间隔有多量子阱缓冲层,所述多量子阱缓冲层包含有一个或多个InGaN/GaN的复合结构。本发明专利技术还公开了一种上述发光二极管的结构的制作方法,包括交替生长InGaN层和GaN层,而构成具有复合结构的多量子阱缓冲层。本发明专利技术通过上述方法,经过简单的步骤制作出具有多量子阱缓冲层的发光二极管的结构,非常易于使用,并且制作的发光二极管的晶体质量得到了提高,从而提高了发光二极管的出光效率和发光强度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种发光二极管的结构。本专利技术还涉及一种发光二极管的 结构的制作方法。技术背景现有的发光二极管的结构可参见图l所示,由下到上依次包括衬底层l、缓冲层2、未掺杂的GaN层3、 N型GaN层4、多量子阱层5、 P型A1G認层 6、 P型GaN层7和接触层8,所述接触层上设置有P型电极,所述N型GaN 层上设置有N型电极。所述N型GaN层掺有Si元素。使用MOCVD (Metal Organic Chemical Vapor D印osition金属有机化学气相沉积)生长GaN发 光二极管,使用AL03作为衬底层1,接着生长缓冲层2,缓冲层2的生长温 度在53(TC,其厚度为250A;未掺杂的GaN层3的生长温度为1050°C,厚 度为2pm; N型掺Si的GaN层4的生长温度为1050°C,厚度为3pm;多量 子阱层5中,阱以730。C生长,厚度为30A,垒层(barrier)在850。C生 长,厚度为150A; P型AlGaN的生长温度为95(TC,其厚度为500A, P型 GaN的生长温度为90(TC,其厚度为2000A,接触层生长温度为800°C ,厚 度为20本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种发光二极管的结构,其中包括N型GaN层、多量子阱层、P型AlGaN层,其特征在于,所述N型GaN层与所述多量子阱层之间还间隔有多量子阱缓冲层,所述多量子阱缓冲层包含有一个或多个InGaN/GaN的复合结构,每个InGaN/GaN的复合结构都包括一层位于下面的InGaN层和一层位于上面的GaN层,所述InGaN/GaN的复合结构中,所述InGaN层的厚度大于所述GaN层的厚度,所述InGaN层中In的掺杂百分比含量低于所述多量子阱的阱层中In的掺杂百分比含量。

【技术特征摘要】
1. 一种发光二极管的结构,其中包括N型GaN层、多量子阱层、P型AlGaN层,其特征在于,所述N型GaN层与所述多量子阱层之间还间隔有多量子阱缓冲层,所述多量子阱缓冲层包含有一个或多个InGaN/GaN的复合结构,每个InGaN/GaN的复合结构都包括一层位于下面的InGaN层和一层位于上面的GaN层,所述InGaN/GaN的复合结构中,所述InGaN层的厚度大于所述GaN层的厚度,所述InGaN层中In的掺杂百分比含量低于所述多量子阱的阱层中In的掺杂百分比含量。2. 根据权利要求1所述的发光二极管的结构,其特征在于,所述多量 子阱中包含有1 10个InGaN/GaN的复合结构。3. 根据权利要求1所述的发光二极管的结构,其特征在于,所述多量 子阱中InGaN的组成为I仏GahN,其中0《x〈1。4. 根据权利要求1所述的发光二极管的结构,其特征在于,所述 InGaN/GaN的复合结构中InGaN层的厚度为60A 500A。5. 根据权利要求1所述的发光二极管的结构,其特征在于,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:林振贤郑文荣
申请(专利权)人:上海蓝光科技有限公司
类型:发明
国别省市:31[中国|上海]

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