本发明专利技术提供一种图像显示装置的制造方法，其特征在于，包括：在上述第一基板和上述第二基板之间施加电压的步骤；在施加电压的上述第一基板和上述第二基板之间的空间上导入导电性粒子的步骤，施加在上述第一基板和上述第二基板之间的电压使投入的导电性粒子在上述第一基板和上述第二基板之间往返，通过与附着在上述第一基板或者上述第二基板上的异物碰撞，从上述第一基板或者上述第二基板上除去上述异物。根据本发明专利技术，就能得到具有难以引起放电的优异特性的图像显示装置。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在表面上具有导电性构件的电子器件用基板的制造方法和清洗设备。更好是涉及把导体形成在表面上的图像显示装置的制造方法和图像显示装置，特别是涉及场致发光显示器(FED)等使用了电子线的图像显示装置的制造方法和图像显示装置。
技术介绍
在专利文献1中记载有导电性粒子往返运动于电极间，脱离到电极外的技术。另外，还记载有应用非专利文献1公开的技术，使专利文献1、2中公开的导电性异物移动的方法。以CRT为代表的图像显示装置要求更大尺寸，其研究正在积极进行。另外，随着大尺寸化，装置的薄型化、轻量化、低成本化成为重要课题。但是，CRT因为用偏转电极偏转用高电压加速的电子，激发荧光屏(face plate)上的荧光体，所以如果大尺寸化则原理上需要进深，提供薄型以及轻量的装置是困难的。作为可以解决上述问题的图像显示装置，本专利技术人对表面传导型电子发射元件及其使用了表面传导型电子元件的图像显示装置进行了研究。本专利技术人例如尝试了应用图14所示的多电子束源。图14中，4101是模式化表示表面传导型发射元件的部分，4102是列方向配线，4103是行方向配线，构成排列成单纯矩阵状的多电子束源。另外，图14是使用了该多电子束源的阴极射线管(进而还记述为图像显示板)的构造，是由具备由电子发生元件4101、列方向配线4102、行方向配线4103组成的多电子束源4101的外容器的基板4001(进而还记述为后板)和侧壁4003(而且，还记述为外容器壳)，具备荧光体层4201和金属壳4203的荧光屏4002组成的构造。另外，在荧光屏4002上的荧光体层4201上设置由电子束激发发光的荧光体、用于抑止外光的反射防止荧光体的混色的黑色矩阵。另外，在荧光体层4201和金属壳4203上用高压导入端子4005施加高电压，形成阳极电极。上述那样的图像显示装置在作为阳极的一部分的金属壳4203上施加高电压(进而还记述为加速电压或者正电压)，在后板4001和荧光屏4002之间产生电场，加速从电子束源发射的电子，通过激发荧光体发光形成图像。在此，因为图像显示装置的亮度很大程度上依赖加速电压，所以为了进行高亮度化需要提高加速电压。另外，为了实现图像显示装置的薄型化，必须把图像显示板的厚度减薄，因此必须减小后板4001和荧光屏4002的距离。据此，在后板4001和荧光屏4002之间产生相当高的电场。特开平08-100256号公报[专利文献2]特开平2002-083542号公报[非专利文献1]IEEE Transactions on Dielectrics and ElectricalInsuration vol.9，No.4；August2002在上述专利文献1中，作为除去导电性异物的方法，表示了除去附着在溅镀等的制膜装置中的防粘板上的导电性异物的方法。在这样的方法中，非常大的导电性异物，例如具有100μm以上的大小的导电性异物因为带电电荷量大作用在粒子上的库仑力大，所以容易从电极浮起开始往返运动。但是，小的异物和小的不需要的构造物(毛边等)在库仑力中不能简单地浮起除去。在本专利技术中，其目的在于清洗这种只用库仑力难以除去的小的异物和小的不需要的构造物。另外，作为清洗的对象，平板显示器的基板在以下原因下尤其需要清洗，通过适宜地使用本专利技术，可以得到具有优异的特性的平板显示器。图15是表示上述显示板的剖面的模式图。图像显示装置(平板显示器)包括具有电子束源的后板4001和具备作为阳极的金属壳4103的荧光屏4002，在阳极4203上施加加速电压Va。在此阳极4203用荧光屏4002和后板4001之间的真空间隙，与电子束源绝缘。在此，真空间隙的尺寸规定图像显示板的进深，小的一方更好。但是，如果显示板的进深小，则在阳极电极4203上施加同样的电压时，作为用距离除以它的值的电场强度增大，在阳极4203和电子束源之间产生放电的概率增加。如果产生放电则图像显示装置的画质还有可能显著劣化，在图像显示装置的可靠性提高方面存在大问题。作为在真空中的放电原因考虑以下3点。(1)在阴极(在此是后板)上存在的微小突起因电场集中而产生电子发射，因在微小突起上流过的电流引起的焦耳热加热微小突起(阴极加热说)。(2)相对的阳极(在此是荧光屏)因电子冲击而被加热(阳极加热说)达到放电。(3)附着在电极上的扣钉或者微小异物等在静电力下游离被加速冲击电极，电极和异物被加热达到放电。另外，如果进行图像显示板的大尺寸化，则随着面积的增大在制造工艺中，容易产生以下2个问题。(4)直接导致放电的微小突起状的缺陷在显示板内生成。(5)由于导电性物从构成显示板的构件上脱落生成的脱落物(异物)混入板内。因此，显示板越大型化，因微小突起以及异物粒子引起的放电影响越大。
技术实现思路
鉴于上述问题的存在，本专利技术的目的在于通过应用于上述图像显示装置而得到消除了导致放电的原因的平板显示器用基板，从而获得难以引起放电的、具有优异特性的平板显示器。本专利技术不是如上述的专利文献1所示的技术那样，即导电性粒子带电，被动地进行剥离和往返运动，而是通过把规定的粒子导入基板间，利用电场使其移动，在可以强制性地使附着在基板上的异物开始往返运动的同时，破坏或者除去突起状物等的技术。为了实现上述目的，本专利技术提供一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置具有密封容器，该密封容器包括表面具有导电性的第一基板和与该第一基板相对配置且表面具有导电性的第二基板，该图像显示装置的制造方法其特征在于，包括在上述第一基板和上述第二基板之间施加电压的步骤；和在施加有电压的上述第一基板和上述第二基板之间的空间导入导电性粒子的步骤，施加在上述第一基板和上述第二基板之间的电压使投入的导电性粒子在上述第一基板和上述第二基板之间往返，并与附着在上述第一基板或者上述第二基板上的异物碰撞，据此，从上述第一基板或者上述第二基板上除去上述异物。另外，本专利技术的图像显示装置，它具有外围容器，该外围容器包括具有电子束源的后板；和具有通过电子束照射而发光的荧光体以及用于施加电子加速电压的阳极电极的荧光屏(face plate)，其特征在于，上述图像显示装置包括在上述外围容器内保持导电性粒子，在外围容器内、在阳极电极的向上述后板上的正投射区域外保持导电性粒子的机构；使该粒子移动到阳极电极的正投射区域内的机构；和使该粒子在阳极电极的正投射区域内往返运动的机构。另外，本专利技术基板的制造方法，该基板在表面上具有导体，该基板的制造方法其特征在于，包括相对于该基板的具有导体的面，隔着空间相对地配置导电性构件，在该导体与该导电性构件之间施加电压的步骤；和向施加有上述电压的导体和导电构件之间的空间投入导电性粒子的步骤，在上述导体与上述导电性构件之间施加的电压使投入的导电性粒子在上述基板与上述导电性构件之间往返，并撞击附着在上述基板上的异物，据此，从上述基板上除去上述异物。另外，本专利技术的基板清洗设备包括配置表面上具有导体的基板的装置；相对于该基板的具有导体的面，隔着空间相对地配置导电性构件的装置；把该导体规定为第一电位，把该导电性构件规定为与第一电位不同的第二电位，并在导体与导电构件之间的空间形成电场的装置；在规定了电位的导体与导电性构件之间投入导电性粒子的装置；和使投入的导电性粒子在该基板本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置具有密封容器，该密封容器包括表面具有导电性的第一基板和与该第一基板相对配置且表面具有导电性的第二基板，该图像显示装置的制造方法其特征在于，包括：在上述第一基板和上述第二基板之间施加电压的步骤；和在施加有电压的上述第一基板和上述第二基板之间的空间导入导电性粒子的步骤，施加在上述第一基板和上述第二基板之间的电压使投入的导电性粒子在上述第一基板和上述第二基板之间往返，并与附着在上述第一基板或者上述第二基板上的异物碰撞，据此，从上述第一基板或者上述第二基板上除去上述异物。
【技术特征摘要】
JP 2005-6-9 2005-169454;JP 2004-6-30 2004-1936021.一种图像显示装置的制造方法，该图像显示装置具有密封容器，该密封容器包括表面具有导电性的第一基板和与该第一基板相对配置且表面具有导电性的第二基板，该图像显示装置的制造方法其特征在于，包括在上述第一基板和上述第二基板之间施加电压的步骤；和在施加有电压的上述第一基板和上述第二基板之间的空间导入导电性粒子的步骤，施加在上述第一基板和上述第二基板之间的电压使投入的导电性粒子在上述第一基板和上述第二基板之间往返，并与附着在上述第一基板或者上述第二基板上的异物碰撞，据此，从上述第一基板或者上述第二基板上除去上述异物。2.如权利要求1所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于，在上述第一基板或者第二基板上存在凹凸，有选择地从凸起部分除去异物。3.如权利要求2所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于，上述导电性粒子的最小直径比上述基板的凹下部分的最大直径还大。4.如权利要求1所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于，上述导电性粒子是金属粒子。5.如权利要求1所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于，上述导电性粒子是磁性体。6.如权利要求1所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于，上述导电性粒子的最小直径为100μm以上。7.如权利要求1所述的图像显示装置的制造方法，其特征在于，上述第一基板具有条纹状的多条电气配线，当把相邻的上述电气配线的间隔设为a，把电气配线的高度设为h，把上述导电性粒子的最小直径设为r时，r-r2-(a2)2<h]]>成立。8.如权利要求7所述的图像显示装置的制造方法...
【专利技术属性】
技术研发人员：大西智也，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[]
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