薄膜保险丝及其制造方法技术

一种薄膜保险丝及其制造方法。为提供一种降低制造成本、有效缩短制程时间的电路紧急保护装置及其制造方法，提出本发明专利技术，制造方法包括提供基板、形成面积小于基板的隔热层、形成两端延伸出隔热层的保险丝部、形成至少覆盖保险丝部于隔热层上的部分的保护部、以溅镀方式形成第一金属膜及形成两端电极；保护部具有以矽胶形成第一保护层及以环氧树脂形成第二保护层；薄膜保险丝包含基板、位于基板上表面的隔热层、位于基板上且两端分别延伸出隔热层的保险丝部、至少覆盖保险丝部隔热层上的保护部、两分别形成于基板两端面的金属膜及分别夹置基板两端部的两端电极；保护部具有以矽胶形成第一保护层及覆盖于第一保护层上且以环氧树脂形成第二保护层。（*该技术在2024年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于电路紧急保护装置及其制造方法，特别是一种。
技术介绍
如图1所示，习知的薄膜保险丝的制造方法包括如下步骤步骤一101提供基板131先提供材质为氧化铝(Al2O3)的基板131。步骤二102形成背面电极132如图2所示，在基板131的下表面的两端形成两背面电极132，背面电极132的材质为银。步骤三103形成牺牲层133如图3所示，为避免保险丝工作产生的热量会从基板131散失，先在基板131上表面中预备形成保险丝部位置形成牺牲层133，此牺牲层133的材质为可溶于丙酮的有机涂料。步骤四104形成金属层134一般作为保险丝部的金属层是以电镀来形成，因此，如图4所示，于基板131的上表面薄膜沉积形成金属层134。金属层134由下而上具有用以黏着及阻碍金属扩散的扩散阻碍金属膜与电镀核种金属膜。扩散阻碍金属膜的材质为镍铬合金(NiCr)。目前薄膜保险丝部是由两层不同材质金属层的堆叠而成，其中，先形成的金属层材质为铜，因此，电镀核种金属膜的材质为铜(Cu)，使电镀效果较佳。步骤五105形成光致抗蚀剂层135为定义作为保险丝的金属层的形状，如图5所示，先以光致抗蚀剂涂布光致抗蚀剂本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜保险丝制造方法，它包括如下步骤：提供基板、形成保险丝部、形成保护部、于基板两端面形成第一金属膜及于基板两端部形成两端电极；其特征在于所述的提供基板步骤与形成保险丝部步骤之间具有形成隔热层步骤，隔热层的面积小于基板的上表面；形成保险丝部步骤中保险丝部形成于隔热层上，其两端延伸出隔热层而位于基板上；形成保护部步骤中保护部至少覆盖保险丝部于隔热层上的部分，其具有以矽胶形成第一保护层及覆盖于第一保护层上且以环氧树脂形成第二保护层；形成第一金属膜步骤中为以溅镀方式形成。

【技术特征摘要】
1.一种薄膜保险丝制造方法，它包括如下步骤提供基板、形成保险丝部、形成保护部、于基板两端面形成第一金属膜及于基板两端部形成两端电极；其特征在于所述的提供基板步骤与形成保险丝部步骤之间具有形成隔热层步骤，隔热层的面积小于基板的上表面；形成保险丝部步骤中保险丝部形成于隔热层上，其两端延伸出隔热层而位于基板上；形成保护部步骤中保护部至少覆盖保险丝部于隔热层上的部分，其具有以矽胶形成第一保护层及覆盖于第一保护层上且以环氧树脂形成第二保护层；形成第一金属膜步骤中为以溅镀方式形成。2.根据权利要求1所述的薄膜保险丝制造方法，其特征在于所述的形成保险丝部包括于基板的上表面上以薄膜沉积形成第二金属层、于第二金属层上形成经曝光显影使第二金属层的左右两端侧与置中衔接于两端侧中部部分裸露以定义保险丝部的图案的第一光致抗蚀剂层、于裸露的第二金属层上形成第一金属层及于第一金属层上形成材质异于第一金属层的顶层金属层的子步骤。3.根据权利要求2所述的薄膜保险丝制造方法，其特征在于所述的于基板的上表面上以薄膜沉积形成第二金属层的子步骤中的第二金属层含有用以黏着及阻碍金属扩散的扩散阻碍金属膜与位于扩散阻碍金属膜上的电镀核种金属膜，扩散阻碍金属膜的材质为钛钨合金。4.根据权利要求2或3所述的薄膜保险丝制造方法，其特...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭文昌，林育民，蔡淑燕，蔡承琪，庄弘毅，江财宝，
申请(专利权)人：大毅科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]