多功能酸洗台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种多功能酸洗台装置，包括设备本体和控制装置，其中：设备本体中部设置有操作平台，操作平台上设置有酸槽和水洗槽；操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂；操作平台的周向侧壁设置有抽气系统；控制装置控制机械臂的运动，控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。本实用新型专利技术解决了手动酸洗台酸槽种类少，针对晶圆尺寸单一，制程流程不连贯，使用过程繁琐等诸多问题，大大提升了使用设备时的安全性和便利性。安全性和便利性。安全性和便利性。

【技术实现步骤摘要】
多功能酸洗台装置


[0001]本技术涉及半导体湿法制程领域，具体地，涉及一种多功能酸洗台装置。

技术介绍

[0002]近年来，中国半导体行业迅猛发展，半导体芯片设计制造及后端封装技术不断革新。湿法蚀刻作为半导体设计制造中的重要一环，其技术革新需要大量实验。
[0003]实际实验应用中，湿法蚀刻必须配备相应的湿法设备即酸洗台，以确保生产或实验过程中人员安全和实验可信度。酸洗台的功能可分为两类：蚀刻功能和清洗功能，蚀刻功能负责使用不同药液进行反应从而达到图形转移，清洗功能主要是针对晶圆表面进行清洗，比如颗粒，有机物，金属离子等。
[0004]传统的实验酸洗台由于药液性质，会设计不同的酸洗槽以防止生成其他产物影响实验结果。传统的实验酸洗台具有以下的缺点：设备酸洗槽数量较少，功能单一；槽体尺寸固定，晶圆尺寸可变化量小；机台占地较大，影响实验室布局；需要多次人工动作，较为复杂，且容易沾到药液，危及安全；手动操作，制程时间无法精确控制；干进湿出，还要配置其他干燥设备。

技术实现思路

[0005]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种多功能酸洗台装置。
[0006]根据本技术提供的一种多功能酸洗台装置，包括设备本体和控制装置，其中：
[0007]设备本体中部设置有操作平台，操作平台上设置有酸槽和水洗槽；
[0008]操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂；
[0009]操作平台的周向侧壁设置有抽气系统；
[0010]控制装置控制机械臂的运动，控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。
[0011]优选地，所述酸槽内设置有加热装置，通过加热装置对槽内水温进行控制。
[0012]优选地，所述酸槽内还设置有烧杯固定卡口，通过烧杯固定卡口固定所述烧杯。
[0013]优选地，所述酸槽的旁边还设置有洞板，洞板下方设置有防漏盘。
[0014]优选地，所述酸槽的旁边还设置水龙头。
[0015]优选地，所述水洗槽包括PFA鼓泡装置和/或超声波震动装置。
[0016]优选地，设备本体的顶部设置有FFU系统，FFU系统能够形成向下的气帘。
[0017]优选地，所述水洗槽还包括热氮气管路。
[0018]优选地，所述抽气系统包括设置在操作平台周向侧壁的多个抽气栅格口以及设置在侧壁内的抽气装置。
[0019]优选地，还包括排放系统，所述排放系统连通酸槽和水洗槽，排放系统包括多个排放管道，多个排放管道和酸槽、水洗槽之间设置有切换阀件。
[0020]与现有技术相比，本技术具有如下的有益效果：
[0021]1、本技术利用更换烧杯的方式解决了实验室酸洗台酸洗槽种类单一，多药液
混用一槽交叉污染的问题，大大提高了实验的可靠性。
[0022]2、传统的单一酸槽可能将混用HCL,H2SO4,HF等药液影响实际实验结果，而本技术特定烧杯承载特定药液，不同实验制程只需更换烧杯，因此，即使实验混酸种类多，比例不一，也可保证实验的正常稳定。
[0023]3、本技术适用在实验种类繁多，操作人员较少场景。
[0024]4、本技术利用烧杯代替酸槽，大大缩减了药液使用量，解决了实验成本高的问题。
[0025]5、本技术通过更换机械臂上的样品架，可以实现不同大小的晶圆承载，丰富晶圆兼容性。
[0026]6、本技术通过控制装置，在烧杯内进行混酸动作后，只需将烧杯卡入酸槽内位置，将样品置于置物架上，即可启动自动化程序完成整套酸洗清洁干燥流程，操作简单，降低人为操作失误风险，大幅提高安全性和便利性。
[0027]7、本技术实现实验湿法酸洗机台的干进干出，即干燥的样品送入实验，得到干燥的实验样品。极大地提高实验安全性并降低实验难度。
[0028]8、本技术配置多个酸槽，可以配置不同药液，以实现连续短制程，模拟实际半导体湿法制程机台流程，完善制程。
附图说明
[0029]通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0030]图1为多功能酸洗台装置的结构示意图。
[0031]图2为多功能酸洗台装置的内部结构示意图。
[0032]图3为多功能酸洗台装置的排放系统原理图。
[0033]图4为控制装置的控制原理图。
[0034]图中示出：
[0035]FFU系统1
[0036]推拉窗2
[0037]抽气口3
[0038]机械臂4
[0039]样品架5
[0040]酸槽6
[0041]水洗槽7
[0042]水龙头8
[0043]洞洞板9
[0044]急停按钮10
[0045]PLC操作面板11
[0046]用品槽12
[0047]推拉窗13
具体实施方式
[0048]下面结合具体实施例对本技术进行详细说明。以下实施例将有助于本领域的技术人员进一步理解本技术，但不以任何形式限制本技术。应当指出的是，对本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术构思的前提下，还可以做出若干变化和改进。这些都属于本技术的保护范围。
[0049]如图1至图4所示，根据本技术提供的一种多功能酸洗台装置，包括设备本体和控制装置，其中：设备本体中部设置有操作平台，操作平台上设置有酸槽和水洗槽；操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂；操作平台的周向侧壁设置有抽气系统；控制装置控制机械臂的运动，控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。
[0050]更为详细地，本技术的酸槽由水浴加热槽及各种不同直径的烧杯组成。烧杯用作混酸使用，水浴加热槽可以设置加热温度，通过槽内加热器，实现对槽内水温的控温，借由热传导效应隔水加热，实现烧杯酸槽温控。该酸槽设置多种烧杯固定卡扣以固定不同直径的烧杯，满足不同直径的晶圆清洗需求。酸槽通过吸附式加热器，实现对槽内水温的控温。通过更换不同材质的特定烧杯，实现不同酸槽药液的湿法实验，可配置8个或10个一组，用以不同药液(如SPM SC1等药液)。酸槽两侧还设置有水龙头，用于冲洗烧杯或应急处理。槽旁操作区还设置有洞洞板，用于人员进行混酸操作，防止泼洒等失误造成的化学品外泄。在洞洞板下方装有防漏盘，以方便混酸动作。
[0051]本技术的水洗槽通过水洗槽去离子水(DIW)冲洗清洁。还设置有喷淋系统：实心锥状可调节喷头，可喷淋到全部晶圆；通过设置PFA鼓泡系统确保清洗干净；还锯齿状四面溢流结构；通过定制快排阀，快速带走内部杂质；通过在槽底安装超音波震荡发震板，利用隔水震荡方式带动槽内震动，加强洗净效果。本技术设置有三个水洗槽，其中中间的水洗槽通过水洗槽去离子水(DIW)冲洗清洁，实现最终清洗，可增配水阻值计侦测洗净效果，并配备热氮气管路，实现热氮吹扫干燥，实现清洗对象的干进干出。
[0052]本技术设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多功能酸洗台装置，其特征在于，包括设备本体和控制装置，其中：设备本体中部设置有操作平台，操作平台上设置有酸槽和水洗槽；操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂；操作平台的周向侧壁设置有抽气系统；控制装置控制机械臂的运动，控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。2.根据权利要求1所述的一种多功能酸洗台装置，其特征在于，所述酸槽内设置有加热装置，通过加热装置对槽内水温进行控制。3.根据权利要求1所述的一种多功能酸洗台装置，其特征在于，所述酸槽内还设置有烧杯固定卡口，通过烧杯固定卡口固定所述烧杯。4.根据权利要求1所述的一种多功能酸洗台装置，其特征在于，所述酸槽的旁边还设置有洞板，洞板下方设置有防漏盘。5.根据权利要求1所述的一种多功能酸洗台装置，其特征在于，所述酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨培新，陈俊峰，洪绍鑫，
申请(专利权)人：淄博绿能芯创电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：