一种真空对盒设备中的静电吸附板及真空对盒设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空对盒设备中的静电吸附板，包括：金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层，及在金属基台的另一面上形成有磁力层，其中磁力层的材料为Ｆｅ↓［３］Ｏ↓［４］。本实用新型专利技术同时公开了一种真空对盒设备，包括：上基台和相对设置的下基台，设置在上基台和下基台相对面上的多个静电吸附板。本实用新型专利技术通过改变静电吸附板的金属基台座的手段，达到对更换静电吸附板简易的效果，从而解决真空对盒设备中更换静电吸附板麻烦的问题，提高工作效率。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及液晶显示器面板制造过程中的设备，尤其涉及真空对盒(Vacuum Aligner)设备中的静电吸附板(ESC)和真空对盒设备。
技术介绍
近年来，随着数字化电视的普及，传统的CRT显示由于其数字化困难， 以及体积大，重量大，有辐射等缺点，已经出现了被新一代显示技术替代的 趋势，代表性的新显示技术有PDP, 0LED， LCD等。其中，液晶显示器(LCD) 由于具有重量轻，厚度薄，无辐射，耗电量小，显示分辨率高等优点，已开 始大量普及，开始成为主流产品。在LCD面板制造中，尤其是在滴注式(0DF)工艺过程中，由于其工艺过 程要求在真空环境下将两块玻璃基板贴合，不能采用传统的真空吸附方式， 因此采用库仑力将上下两块玻璃基本进行吸附。真空对盒设备就是这样的设 备。真空对盒设备主要结构是分为上下两个基台(Stage)，将16个形状 大小完全一样的静电吸附板安装在上下基台上。图l所示为现有技术中的静 电吸附板截面示意图，如图1所示，该静电吸附板6包括金属基台5 ( Al基 台)、以及依次形成在金属基台5上的基材层3、电极层2和保护层1等构 成。由于在长期使用过成中静电吸附板的电极层会受到破坏，导致静电吸附 板不能使用需要进行更换。但是其更换作业麻烦。尤其在更换上基台的静电 吸附板时，需要2 3人共同作业，两个人托住静电吸附板，另一个人用螺丝 进行固定。由于作业空间有限，两个人只能用一只手分别托住静电吸附板两 侧，将其对准对位销后固定在基台上保持不动，另一个人仰卧在下基台上，用螺丝再将其固定。固定一个静电吸附板需要17个螺丝。固定一个静电吸附 板需要l个小时左右，整个作业过程很不利于作业者操作，工作效率很低。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷，提供一种真空对盒设备中的 静电吸附板及真空对盒设备，通过改变静电吸附板中的金属基台座的手段， 达到对更换静电吸附板简易的效果，从而解决更换麻烦的问题，提高工作效 率。为了实现上述目的，本技术提供一种真空对盒设备中的静电吸附板， 包括金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层， 其中所述金属基台的另 一 面上形成有;兹力层。上述方案中，所述金属基台的材料为Al等金属材料。所述磁力层的材料 为FeA等磁性材料。为了实现上述目的，本技术同时提供一种真空对盒设备，包括上 基台和相对设置的下基台，设置在上基台和下基台相对面上的多个静电吸附 板，所述上基台和/或下基台上的静电吸附板包括金属基台，依次形成在金 属基台一面上的基材层、电极层和保护层及在金属基台的另一面上形成有磁 力层。上述方案中，所述金属基台的材料为Al等金属材料。所述磁力层的材料 为Fe^等磁性材料。相对于现有技术中金属基台是由铝(A1)制作而成，再在金属基台上附着 基材层，电极层和保护层，安装时，对准基台上的对位销后，分别由两个人 托住静电吸附板，再由一个人仰卧在下基台上用螺丝将其固定住的繁瑣过程； 本技术中金属基台座是由铝(Al)+磁铁(FeA)合成，减小铝层的厚度，在 铝层的下面附着磁力层，磁力层加铝层的厚度等同于原有金属基层的厚度， 然后再铝层上附着基材层，电极层和保护层。安装时，由于上基台是钢铁结构，这样对准好基台上的对位销后，静电吸附板便在》兹铁的作用下吸附在上 基台上，而不再需要人来托着。这样只需要一个人仰卧在下基台上用螺丝将 其固定住即可，即更换静电吸附板时只需要一个人即可完成整个作业，而且 作业时间也将缩短，降低了作业难度，提高了工作效率。以下结合附图和具体实施例对本技术进行进一步更为详细地说明。附图说明图l是现有技术静电吸附板的断面示意图； 图2是本技术静电吸附板的断面示意图； 图3是本技术静电吸附板安装在基台上示意图一； 图4是本技术静电吸附板安装在基台上示意图二。 图中标记1、保护层；2、电极层；3、基材层；4、磁力层；5、金属基 台；6、静电吸附板；7、上基台；8、下基台；9、操作人员；10、定位装置。具体实施方式以下结合附图和具体实施例对本技术进行进一步更为详细地说明。 图2所示是本技术静电吸附板的断面示意图。如图2所示，本实用 新型的静电吸附板6包括金属基台5,依次形成在金属基台5 —面上的基材 层3、电极层2和保护层1，上述这些组成部分同现有技术中的相同，本实用 新型区别于现有技术的特征在于在静电吸附板6的金属基台5的另一面上形 成一层磁力层4，其中金属基台5的材料为铝，磁力层4的材料为Fe304;金 属基台5的厚度同现有技术中的金属基台厚度约为相比，厚度减少，金属基 台5的厚度与石兹力层4的厚度之和同现有技术中的金属基层的厚度相当。图3、图4所示为本技术静电吸附板安装在基台上示意图。如图3 所示，安装时，由于上基台7是钢铁结构，操作人员9将静电吸附板6举起 对准好上基台7上的对位装置10后，静电吸附板6便在磁力层的磁性力的作用下吸附在上基台7上。如图4所示，当静电吸附板6吸附在上基台7后， 操作人员9仰卧在下基台8上用螺丝将静电吸附板6紧在固定上基台7即完 成静电吸附板的安装。本技术要求磁力层磁性力要求只要静电吸附板6 自然状态下不至于掉下即可。上述更换静电吸附板时只需要一个人即可完成整个作业，而且作业时间 大大缩短，不仅降低了作业难度，而且大大提高了工作效率。本技术在静电吸附板6中添加磁力层4后，并未改变原有设备的工 作机理。本技术增加的磁力层4的磁场方向如图2中箭头b所示方向， 与原有电极层2所形成的库仑力的磁场方向如图2中箭头a所示方向平行， 这样两个磁场并不存在交叉，也就不会产生磁场相互切割现象，因此，增加 磁力层不会改变设备原有的工作机理。上述给出的仅为本技术的一具体实施例，其可进行各种形式的变通， 如将吸附板下方的磁力层的形状和厚度进行变通；或者将磁铁成变成其他磁 力装置，如电磁力装置等等。最后应说明的是，以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限 制，尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细说明，本领域的普通技术 人员应当理解，按照需要可使用不同材料和设备实现之，即可以对本实用新 型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本技术技术方案的精神 和范围。权利要求1、一种真空对盒设备中的静电吸附板，包括金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层，其特征在于所述金属基台的另一面上形成有磁力层。2、 根据权利要求1所述的真空对盒设备中的静电吸附板，其特征在于 所述金属基台的材料为Al。3、 根据权利要求1所述的真空对盒设备中的静电吸附板，其特征在于 所述^f兹力层的材料为Fe304。4、 一种真空对盒设备，其特征在于，包括上基台和相对设置的下基台， 设置在上基台和下基台相对面上的多个静电吸附板，所述上基台上的静电吸 附板包括金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护 层及在金属基台的另 一 面上形成有磁力层。5、 根据权利要求4所述的真空对盒设备，其特征在于所述金属基台的 材料为Al。6、 根据权利要求4所述的真空对盒设备，其特征在于所述;兹力层的材 料为Fe304。专利摘要本技术公开了一种真空对盒设备中的静电吸附板，包括金本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空对盒设备中的静电吸附板，包括：金属基台，依次形成在金属基台一面上的基材层、电极层和保护层，其特征在于：所述金属基台的另一面上形成有磁力层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：朱海波，
申请(专利权)人：北京京东方光电科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]