【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种保持对象物的静电保持装置以及使用该静电保持装置的 真空环境装置和贴合对象物的接合装置。
技术介绍
现有技术， 一般是使用真空卡盘作为保持对象物的保持装置，但当对象物 为薄板时，存在所谓薄板的周边弯曲的缺点。对此，如果采用静电卡盘等静电保 持装置，则可通过整个电极面整体的静电力而保持对象物，因此即使处理(保持)薄板时，其周边也不会弯曲(例如，参照专利文献1、 2)。在上述静电卡盘中，基底板上设置有用来保持住对象物的保持部，该保持 部由提供一对正负电荷的电极元件组和为覆盖该电极元件组而固定在基底板 上的绝缘层构成。由此，经由开关向这些电极元件组施加高电压，以绝缘层的表面作为保持 面，在对象物与保持面之间感应产生的静电吸引力将对象物保持在保持面上。 开关断开时，静电吸引力消失，对象物脱离保持面。这样，静电卡盘就能够用 静电吸引力吸引导体、半导体或高电阻体等对象物，将其保持(承载)住或者 使其脱离(卸载)。此外，还在开发由控制电路等控制吸引力而将对象物保持 在漂浮状态下的静电卡盘。由于这种静电卡盘能够在减压状态下维持对象物的保持力，因此被应用于 必须在...
【技术保护点】
一种静电保持装置，其特征在于包括： 多个电极模块，具有保持面并将保持对象物静电保持在所述保持面上； 高电压发生部，设置于所述多个电极模块的每一者中，而使低电压变换为静电保持所必需的规定高电压， 所述高电压发生部是密封的。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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