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本发明提供一种静电保持装置，该静电保持装置（１００），将多个电极组（１１２ａ、１１２ｂ）作为保持部向电极组（１１２ａ、１１２ｂ）施加规定高电压，且通过静电力而将保持对象物（Ｗ１、Ｗ２）保持。将用来从低电压向静电保持所必需的规定高电压转换的高...
该专利属于筑波精工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过筑波精工株式会社授权不得商用。

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