消除微球表面静电的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种消除微球表面静电的装置，解决现有消除微球表面静电的装置在大气下进行，会引入杂质以导致微球表面氧化的问题，采用的技术方案是：消除微球表面静电的装置，包括石英谐振腔以及盘绕于石英谐振腔外侧的天线，天线为盘香型且与射频匹配网络连接；石英谐振腔外侧安装真空测量的电阻单元和电离单元，以及真空抽气口和进气口，石英谐振腔上还配置接地位。消除微球表面静电的方法，先配置微球于托盘中，托盘置于石英谐振腔内；其次对石英谐振腔进行抽真空，再通入放电气体；再次，开启射频电源，射频匹配网络向天线提供射频信号，以产生等离子体，等离子体中的离子、电子分别与微球表面负电荷、正电荷中和，达到消除静电的目的。

【技术实现步骤摘要】
消除微球表面静电的装置
本技术涉及一种消除微球表面静电的装置。
技术介绍
在惯性约束聚变(ICF)科学研究中，具有GDP(CH聚合物)涂层的微球因其具有较高的强度、较好的表面光洁度、较高的红外透过率等诸多优点，而被选作激光ICF物理实验中首选氘氚燃料容器和烧蚀层。在GDP微球制备工艺中，为了获得表面光洁度高、涂层厚度均匀的GDP微球，在CH聚合物涂镀过程中，需要使微球在等离子体辉光中随机滚动，即通过步进电机驱动倾斜的微球托盘旋转，将微球置于托盘中，使其在重力与摩擦力的共同作用下随机滚动。这在公告号为CN201552114U，名称为倾斜式微球滚动装置的专利中已经实现。但是，在CH聚合物涂镀初期，微球表面通常会因表面携带静电而导致微球与托盘、微球与微球之间相互吸引或排斥，从而影响微球的滚动效果。除此之外，静电作用对GDP微球制成成品前后的转运、装载燃料等过程中都会产生负面影响。传统的GDP微球表面静电消除方法通常是在大气下进行。例如，公布号为CN102484358A的专利文献公开了一种通过正负离子气流消除充电物体静电的静电消除器。公开号为CN101031178A的专利文献公开了一种介质阻本文档来自技高网...

【技术保护点】
消除微球表面静电的装置，其特征在于：包括石英谐振腔(1)以及盘绕于所述石英谐振腔(1)外侧的天线(10)，所述天线(10)为盘香型且与射频匹配网络(11)连接；所述石英谐振腔(1)外侧安装真空测量的电阻单元(3)和电离单元(4)，以及真空抽气口(12)和进气口(6)，石英谐振腔(1)上还配置接地位(7)。

【技术特征摘要】
1.消除微球表面静电的装置，其特征在于：包括石英谐振腔(1)以及盘绕于所述石英谐振腔(1)外侧的天线(10)，所述天线(10)为盘香型且与射频匹配网络(11)连接；所述石英谐振腔(1)外侧安装真空测量的电阻单元(3)和电离单元(4)，以及真空抽气口(12)和进气口(6)，石英谐振腔(1)上还配置接地位(7)。2.如权利要求1所述的消除微球表面静电的装置，其特征在于：所述石英谐振腔(1)包括圆柱状的腔壁以及连接于腔壁两端的上密封盖(2)和下密封盖(5)，电阻单...

【专利技术属性】
技术研发人员：张玲，陈果，何小珊，何智兵，王涛，刘艳松，李俊，
申请(专利权)人：中国工程物理研究院激光聚变研究中心，
类型：新型
国别省市：四川,51