一种显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。本实用新型专利技术样品通过一次安装，完成扫描电子显微镜对样品的探测和纳米X射线显微镜对样品的探测的双功能探测。

【技术实现步骤摘要】
一种显微镜
本技术属于电子设备
，具体地说，涉及一种显微镜。
技术介绍
扫描电子显微镜(SEM)，其利用聚焦的电子束来扫描样品,通过电子束与样品的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，扫描电子显微镜在观察材料表面形貌领域应用广泛。纳米X射线显微镜(Nano-CT)是用X射线束对样品某部一定厚度的层面进行扫描，由探测器接收透过该层面的X射线，转变为可见光后，由光电转换变为电信号，经过计算机处理后构成三维的CT图像。CT图像可体现样品的几何信息和结构信息等。前者包括样品的尺寸、体积和各点的空间坐标，后者包括样品的衰减值、密度和多孔性等材料学信息。现有技术中，当同一件样品需要扫描电子显微镜(SEM)，又需要纳米X射线显微镜(Nano-CT)进行探测时，则需要将样品放置扫描电子显微镜中探测后，再将样品放置纳米X射线显微镜中探测，该过程探测效率慢，并且样品多次安装在相应的样品台上容易产生损坏的风险。有鉴于此特提出本技术。
技术实现思路
<br>本技术要解决的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显微镜，其特征在于：包括：/n电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；/n样品台，用于放置样品；/n靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；/n驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。/n

【技术特征摘要】
1.一种显微镜，其特征在于：包括：
电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；
样品台，用于放置样品；
靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；
驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样品上的位置，所述第二位置为所述电子束作用于所述靶材上产生X射线照射于所述样品上的位置。


2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于：还包括第一偏转装置，所述第一偏转装置设置于所述电子光学镜筒与所述靶材之间，用于改变入射到所述靶材前的所述电子束的运动方向。


3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于：还包括安装座，所述安装座上设置有至少一个安装位，每个所述安装位用于安装不同的所述靶材。


4.根据权利要求3所述的显微镜，其特征在于：所述第一偏转装置与所述安装座连接，...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅，何伟，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11