一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中除所述聚焦原点以外的图像区块进行图像采集，依次完成每个图像矩阵的图像采集。本申请实施例还提供了实现所述方法的装置、扫描电子显微镜和存储介质。介质。介质。

【技术实现步骤摘要】
一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质


[0001]本申请涉及扫描电子显微镜
，尤其涉及一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质。

技术介绍

[0002]目前，当用户需要对样品进行大面积显微成像时通常需要使用具备自动阵列扫描功能的扫描电子显微镜。所述扫描电子显微镜进行阵列扫描时通常是将指定扫描区域分解成若干面积相等的图像区块，再对上述图像区块进行逐一扫描成像得到图像数据，使用软件拼接缝合等方式将所述图像数据组成全景图像。
[0003]在对所述图像区块进行逐一扫描的过程中，由于被测样品平整度、扫描电子显微镜聚焦稳定性及外界环境影响等因素的存在，不同图像区块的焦平面或扫描电子显微镜的物镜激励需要根据图像特征清晰度进行调整。现有扫描电子显微镜的解决方案为：固定步长自动聚焦，即通过在设定位置进行自动聚焦后采集图像，后续固定步数应用该聚焦参数(物镜电流值和像散值)进行图像采集，如此循环逐行扫描。但该方案由于整体聚焦耗时较长，导致整体成像通量较低。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请实施例期望提供一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质，可提升阵列扫描过程中的整体成像通量，提高图像的采集效率。
[0005]本申请实施例的技术方案是这样实现的：
[0006]本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，所述方法包括：
[0007]以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；
[0008]确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；
[0009]将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中除所述聚焦原点以外的图像区块进行图像采集，依次完成每个图像矩阵的图像采集。
[0010]一个实施例中，所述将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵之前，所述方法还包括：
[0011]将感兴趣区域分解为若干大小相等的图像区块。
[0012]本申请实施例中，所述图像矩阵的行数和列数相同或不同；所述图像矩阵的行数和列数均不小于2。
[0013]本申请实施例中，所述确定每个所述图像矩阵的聚焦原点，包括：
[0014]确定每个所述图像矩阵中位于中心位置的图像区块；
[0015]将所述中心位置的图像区块确定为所述图像矩阵的聚焦原点。
[0016]本申请实施例中，确定所述聚焦原点对应的聚焦参数，包括：
[0017]对已确定的所述聚焦原点进行自动聚焦，获取聚焦时对应的聚焦参数。
[0018]一个实施例中，所述确定所述聚焦原点对应的聚焦参数，该方法还包括：
[0019]采集所述聚焦原点对应的图像。
[0020]本申请实施例还提供了一种聚焦控制装置，所述装置应用于扫描电子显微镜，包括：
[0021]划分单元，用于以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；
[0022]确定单元，用于确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；
[0023]图像采集单元，用于将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中除所述聚焦原点以外的图像区块进行图像采集，依次完成每个图像矩阵的图像采集。
[0024]本申请实施例还提供了一种扫描电子显微镜，包括：
[0025]第一处理器，用于以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；
[0026]图像处理器，用于将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中除所述聚焦原点以外的图像区块进行图像采集，依次完成每个图像矩阵的图像采集。
[0027]本申请实施例还提供了一种扫描电子显微镜，包括：第一处理器和用于存储能够在处理器上运行的计算机程序的第一存储器，
[0028]其中，所述第一处理器用于运行所述计算机程序时，执行上述方法的步骤。
[0029]本申请实施例还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述方法的步骤。
[0030]本申请实施例提供的聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质，以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中除所述聚焦原点以外的图像区块进行图像采集，依次完成每个图像矩阵的图像采集。本申请实施例图像矩阵的划分以及聚焦原点的确定方式相较于之前的逐行扫描的采集方式来看，可大大减少扫描的聚焦点数，聚焦原点位置的确定可避免样品边缘无图像特征进行聚焦的问题，提升整体成像通量，提高图像采集效率。
附图说明
[0031]图1为本申请实施例所述聚焦控制方法流程示意图；
[0032]图2为本申请应用示例所述聚焦控制方法流程示意图；
[0033]图3为本申请应用示例所述图像区块划分结构示意图；
[0034]图4为本申请应用示例所述图像矩阵划分结构示意图；
[0035]图5为本申请应用示例所述确定的聚焦原点结构示意图；
[0036]图6为本申请应用示例所述单个图像矩阵扫描示意图；
[0037]图7为本申请应用示例所述整个感兴趣区域扫描示意图；
[0038]图8为传统固定步长自动聚焦示意图；
[0039]图9为本申请实施例所述聚焦控制装置结构示意图；
[0040]图10为本申请实施例所述扫描电子显微镜结构示意图。
具体实施方式
[0041]下面结合附图和实施例对本申请进行描述。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0042]实施例一
[0043]本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，如图1所示，所述方法包括：
[0044]步骤101：以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；
[0045]步骤102：确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；
[0046]步骤103：将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中除所述聚焦原点以外的图像区块进行图像采集，依次完成每个图像矩阵的图像采集。
[0047]实际应用时，本申请实施例可基于样品分析需求在样品上选取感兴趣区域(ROI)，该区域也可称为大面积区域，即为需要整体拍摄观察的区域。
[0048]本申请实施例中，所述将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵之前，所述方法还包括：
[0049]将感兴趣区域分解为若干大小相本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种聚焦控制方法，其特征在于，所述方法包括：以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中除所述聚焦原点以外的图像区块进行图像采集，依次完成每个图像矩阵的图像采集。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵之前，所述方法还包括：将感兴趣区域分解为若干大小相等的图像区块。3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述图像矩阵的行数和列数相同或不同；所述图像矩阵的行数和列数均不小于2。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定每个所述图像矩阵的聚焦原点，包括：确定每个所述图像矩阵中位于中心位置的图像区块；将所述中心位置的图像区块确定为所述图像矩阵的聚焦原点。5.根据权利要求1或4所述的方法，其特征在于，确定所述聚焦原点对应的聚焦参数，包括：对已确定的所述聚焦原点进行自动聚焦，获取聚焦时对应的聚焦参数。6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述确定所述聚焦原点对应的聚焦参数，该方法还包括：采集所述聚焦原点对应的图像。7.一种聚焦控制装...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭宇琦，张韩，李杨，费雅茜，张琛，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：