本申请提供一种扫描电子显微镜系统及样品探测方法，涉及扫描电子显微镜技术领域。该扫描电子显微镜系统包括：由磁透镜和电透镜构成的复合物镜、背散射电子探测器和二次电子探测器；其中，电透镜包括样品，样品的上表面与磁透镜的下表面之间的距离为工作距...

本申请实施例提供了一种图像采集方法，包括：获取感兴趣区域中第一参考位置处图像清晰时对应的物镜电流值和样品台的Z轴参数；在所述物镜电流值不变的情况下，基于所述样品台的Z轴参数确定若干个第二参考位置处图像清晰时对应的样品台的Z轴参数；基于不...

本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：以预设个数的图像区块为单位将感兴趣区域划分为若干大小相等的图像矩阵；确定每个所述图像矩阵的聚焦原点以及所述聚焦原点对应的聚焦参数；将每个聚焦原点对应的聚焦参数依次应用到所述聚焦原点所属图像矩阵中...

本申请实施例提供了一种芯片样品，包括：支撑边框、芯片和凝固的胶液；其中，所述支撑边框为中空无底的柱状结构；所述凝固的胶液充满所述支撑边框内部、且与支撑边框的两个底面共平面；除所述芯片待观察面之外，所述芯片的其他部分被所述凝固的胶液包裹；...

本申请公开了一种扫描电子显微镜的样品及其制备方法。其中，该制备方法包括：将初始样品固定于制样模板的指定区域；在制样模板上相应于初始样品的边缘间隔设置与初始样品等高的第一导电胶层；对带有初始样品及第一导电胶层的制样模板进行镀膜处理，得到供...

本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本...

本申请公开了一种电子束控制装置及方法。其中，所述电子束控制装置包括：第一生成组件和第二生成组件；所述第一生成组件，用于生成第一强度和/或第一方向的第一磁场，以调整穿过所述第一生成组件的所述扫描电子显微镜的发射组件发射的电子束的偏转角度和...

本公开实施例提供一种扫描电子显微镜物镜系统和扫描聚焦方法，其中，物镜系统包括磁透镜、第一偏转装置、探测装置、第二偏转装置以及样品台；其中：磁透镜包括主体部分和导磁极靴；第一偏转装置，位于主体部分的内壁与电子束的光轴之间，用于改变入射电子...

本发明公开了一种靶材组件和X射线显微镜，该靶材组件包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置...

本实用新型公开了一种靶材组件和X射线显微镜，该靶材组件包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜...

本实用新型公开了一种电子显微镜，包括：样品台，用于放置待测样品；电子光学镜筒，用于发射电子束，并将所述电子束汇聚到所述待测样品上；高压探测单元，接收所述电子束作用于所述待测样品上产生的信号电子，并输出电压信号；高压供电单元，与所述高压探...

本发明公开了一种亲水性基片制作方法及装置，该方法包括：真空腔室内通入反应气体；对所述真空腔室施加第一电压，对样品台施加第二电压，电子源发射电子束轰击所述反应气体产生第一等离子体；所述第一等离子体作用于基片表面；对所述样品台施加第三电压，...

本发明公开了一种电子束系统，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一控制电极，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于改变所述电子束作用于待测样品上产生的背散射电子和二次电...

本发明公开了一种电子束产生装置及电子显微镜，该电子束产生装置包括：阴极，用于发射电子；引出电极，设置有引出孔，多个所述电子穿过所述引出孔形成电子束；第一光阑筒，所述第一光阑筒的上端面连接于所述引出电极的下表面，所述第一光阑筒的底部开设有...

本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；第一束导管，用于加速所述电子束；第二束导管，用于加速所述电子束；第一探测器，设置于所述第一束导管和所述第二束导管之间，用于接收所述电子束作用于待测样品上产生的二次电子；控制电极，...

本发明公开了一种电子显微镜，包括：电子源，用于产生电子束；物镜，用于聚焦所述电子束；调节极靴，可移动的设置在所述物镜与待测样品之间；第一驱动机构，所述第一驱动机构驱动所述调节极靴在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述物镜的极靴方向...

本发明公开了一种粒子束装置束斑追踪方法及系统，该方法包括：样品台放置设有凹槽的标块，粒子束装置发射粒子束的束斑聚焦在所述凹槽底面；获取激光发射装置发射的激光束经过所述标块表面反射后的第一图像，基于所述第一图像获得激光束的光斑位置信息，根...

本发明公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样...

本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；其中，所述第一探测器包括反射器和光子检测器，所述反射器将由所述样品上产生的光子反射到所述光...

本发明公开了一种扫描电子显微镜，包括：电子光学镜筒，用于产生电子束，并将电子束聚焦到样品上；第一探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的电子；第二探测器，用于接收电子束作用于所述样品上产生的光子；所述第二探测器包括反射器和光子检测器...