本发明公开了一种用于观察生物组织的方法及电子显微镜，该方法包括：对生物组织进行切片制样，以得到样品；采用第一电子源系统对所述样品进行辐照，以得到含有聚合物成分的待测样品；采用电子显微镜对所述待测样品进行观察。本发明可以使电子显微镜观察生...

本实用新型公开了一种显微镜，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，粒子光学镜筒设置于真空样品室内，联动支撑机构控制粒子光学镜筒移动，对样品室内的待测样品不同区域的观察。本实用新型提供的显微镜可直接...

本实用新型公开了一种成像系统，包括：X射线显微镜(Micro‑CT)子系统、离子研磨仪(Ion‑Milling)子系统、扫描电子显微镜(SEM)子系统、处理器；所述X射线显微镜(Micro‑CT)子系统用于获取待测样品的三维图像；所述离...

本实用新型公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所...

本发明公开了一种扫描电子显微镜物镜系统，包括：磁透镜、偏转装置、偏转控制电极、待测样品以及探测装置；其中，所述磁透镜的极靴方向朝向所述待测样品；所述偏转装置，位于所述磁透镜内部，包括至少一个子偏转器；所述偏转控制电极，位于所述探测装置与...

本发明公开了一种粒子束显微镜的样品除污方法及装有除污装置的预抽室，接通电源后，送样装置开始向预抽室送样；除静电吹扫装置上的排气口向下排出气流，射至样品表面，气流中的离子与样品表面吸附的微粒所带电荷发生中和，使一部分微粒失去静电吸引力后被...

本发明实施例提供了一种具备复合式探测系统的扫描电子显微镜和样品探测方法，所述扫描电子显微镜包括：由浸没式磁透镜和电透镜组成的复合式物镜系统，用于将初始电子束聚焦到样品上形成会聚的束斑；位于所述复合式物镜系统中的复合式探测系统，以及探测信...

本发明公开了一种磁透镜，所述磁透镜包括：导磁壳体、激励线圈和电源控制系统；其中，所述导磁壳体，在所述激励线圈的外部包围所述激励线圈；所述激励线圈由绞合线缠绕与导热包覆物填充而形成；所述电源控制系统，用于对所述激励线圈供电，控制所述激励线...

本发明公开了一种低能扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，包括用于接收电子...

本实用新型公开了一种成像系统，包括：显微电子计算机断层扫描(micro‑CT)子系统、样品加工子系统和扫描电子显微镜(SEM)和处理器；所述micro‑CT子系统包括：X射线源和X射线探测器，用于获取样品的三维图像；所述样品加工子系统包...

本发明公开了一种成像系统，包括：显微电子计算机断层扫描(micro‑CT)子系统、样品加工子系统和扫描电子显微镜(SEM)和处理器；所述micro‑CT子系统包括：X射线源和X射线探测器，用于获取样品的三维图像；所述样品加工子系统包括：...

本实用新型公开了一种扫描电子显微镜物镜系统，包括：磁透镜、偏转装置、偏转控制电极、待测样品以及探测装置；其中，所述磁透镜的极靴方向朝向所述待测样品；所述偏转装置，位于所述磁透镜内部，包括至少一个子偏转器；所述偏转控制电极，位于所述探测装...

本实用新型公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有...

本发明公开了一种扫描电子显微镜系统，包括：电磁交叉场分析器、由电透镜和磁透镜构成的复合物镜、镜后偏转装置和样品台；其中，电磁交叉场分析器，位于磁透镜的上极靴与产生入射至所述扫描电子显微镜系统的初始电子束的电子源之间，用于使入射的具有第一...

本发明公开了一种扫描电子显微镜物镜系统，包括：磁透镜、偏转装置、偏转控制电极、待测样品以及探测装置；其中，所述磁透镜的极靴方向朝向所述待测样品；所述偏转装置，位于所述磁透镜内部，包括至少一个子偏转器；所述偏转控制电极，位于所述探测装置与...

本实用新型实施例提供了一种用于样品位置校准的样品承载装置，所述样品承载装置的上表面邻近边缘的三个不同位置处设有定位标记。本实用新型实施例依据所述定位标记在光学显微镜下的第一坐标和在扫描电子显微镜下的第二坐标，确定光学显微镜对应的坐标系和...

本实用新型公开了一种低能扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，位于所述磁透镜的内壁与所述电子束的光轴之间，用于改变...

本实用新型公开了一种扫描粒子束显微镜系统，包括：扫描粒子束显微镜及聚焦控制系统；所述聚焦控制系统包括：两个照明成像装置，用于产生照明光束、以及传输从样品表面反射的携带聚焦图像的光束；两个反射装置，用于将对应的照明成像装置产生的照明光束反...

本实用新型实施例提供了一种观察非导电或导电不均匀样品的SEM，所述SEM包括：由产生电子的阴极和加速所述电子的阳极构成的电子源，以及，用于控制所述电子源所发出电子束的束流大小和电子束前进方向的电子光学镜筒；其中，所述阳极位于所述阴极下方...

本文提供了一种样品位置校准方法和装置，所述方法包括：将放置有样品的样品承载装置载入光学显微镜视场中；样品承载装置上设有定位标记；采用光学显微镜对样品承载装置成第一放大倍数的像，识别图像中定位标记并获取定位标记在光学显微镜下的第一坐标；将...