一种显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种显微镜，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，粒子光学镜筒设置于真空样品室内，联动支撑机构控制粒子光学镜筒移动，对样品室内的待测样品不同区域的观察。本实用新型专利技术提供的显微镜可直接观察大体积，大质量的待测样品。

【技术实现步骤摘要】
一种显微镜
本技术属于观察检测设备
，具体地说，涉及一种显微镜。
技术介绍
现有技术中扫描粒子显微镜，其利用聚焦的粒子束来扫描待测样品,通过粒子束与待测样品的相互作用,来激发各种物理信息,对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的，扫描粒子显微镜在观察材料表面形貌领域应用广泛。扫描粒子显微镜以其纳米级的分辨率和广泛的应用分析范围，成为重要的科研工具。然而由于传统的扫描粒子显微镜发展的方向始终围绕着图像分辨率的提升，待测样品往往需要很小，或者是要求用户必须将待测样品制备的很小才能使用扫描粒子显微镜观察。因此市场上发售的绝大多数扫描粒子显微镜的真空样品室往往很有限，仅能容纳直径100mm、重量小于5kg的待测样品，并且有很多待测样品是不允许切片制作待测样品试件的，例如古董、航空发动机、机壳机体材料、汽车发动机、船舶桨翼、武器引信等，所以现有的扫描粒子显微镜，远远不能满足用户的需求。有鉴于此特提出本技术。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种显微镜，可直接观察大体积，大质量的待测样品。为解决上述技术问题，本技术采用技术方案的基本构思是：一种显微镜，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，所述联动支撑机构包括：X轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着X轴方向往复运动；Z轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述样品台设置在所述Z轴转动组件上；所述Z轴转动组件在所述X轴移动组件上带动所述样品台在Z轴方向转动；Y轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动；Z轴移动组件，设置在所述Y轴移动组件上，可沿着Z轴方向往复运动；X轴转动组件，设置在所述Z轴移动组件上，所述X轴转动组件上设置有支撑架；所述X轴转动组件在所述Z轴移动组件上带动所述支撑架在X轴方向转动；A轴移动组件，设置在所述支撑架上，所述粒子光学镜筒设置在所述A轴移动组件上，所述A轴移动组件在所述支撑架上带动所述粒子光学镜筒在A轴方向往复运动。进一步的，还包括三维激光扫描仪，所述三维激光扫描仪设置于所述样品室内，用于对放置在所述样品台上的待测样品建立三维模型。进一步的，还包括处理器，所述处理器与所述三维激光扫描仪和所述联动支撑机构控制连接。在一些可选的实施方式中，所述三维激光扫描仪设置在所述样品室的内壁上。在一些可选的实施方式中，所述三维激光扫描仪设置在所述粒子光学镜筒上。在一些可选的实施方式中，所述联动支撑机构还包括Y轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述Z轴转动组件设置在所述Y轴转动组件上，所述Y轴转动组件带动所述样品台和所述Z轴转动组件在Y轴方向转动。在一些可选的实施方式中，还包括第一Y轴移动机构，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动，所述X轴移动组件设置在所述第一Y轴移动机构上。在一些可选的实施方式中，还包括第二Y轴移动机构，所述承载台通过所述第二Y轴移动机构与所述样品室底面连接，所述第二Y轴移动机构带动所述承载台和所述联动支撑机构滑入或滑出所述样品室。在一些可选的实施方式中，还包括距离传感器，设置在所述粒子光学镜筒上，与所述处理器连接。在一些可选的实施方式中，还包括空气弹簧减振器，所述样品室通过空气弹簧减振器与底座连接；所述样品室内壁设置有至少一层高导磁屏蔽层。采用上述技术方案后，本技术与现有技术相比具有以下有益效果。本技术提供的一种显微镜，该显微镜将粒子光学镜筒设置于真空样品室内，并通过联动支撑机构控制粒子光学镜筒移动，对样品室内的待测样品不同区域的观察，待测样品在样品室内不需要移动，也不需要将待测样品切片制作待测样品试件，可直接观察待测样品，实现大体积，大质量待测样品的观察。下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的描述。附图说明附图作为本技术的一部分，用来提供对本技术的进一步的理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，但不构成对本技术的不当限定。显然，下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：图1是本技术提供的一种显微镜整体结构示意图；图2是本技术提供的一种显微镜的承载台和联动支撑机构滑出样品室状态结构示意图；图3是本技术提供的承载台和联动支撑机构结构示意图；图4是本技术提供的一种显微镜剖视结构示意图。图中：1、样品室；2、空气弹簧减振器；3、底座；4、X轴移动组件；5、Y轴移动组件；6、Z轴移动组件；7、X轴转动组件；8、Y轴转动组件；9、Z轴转动组件；10、A轴移动组件；11、支撑架；12、粒子光学镜筒；13、样品台；14、第一Y轴移动机构；15、承载台；16、第二Y轴移动机构；17、距离传感器；18、三维激光扫描仪。需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本技术的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本技术的概念。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。如图1至图4所示，本技术提供的一种显微镜，包括：样品室1和设置于样品室1内的承载台15、联动支撑机构、样品台13、粒子光学镜筒12，联动支撑机构包括：X轴移动组件4，设置在承载台15上，可沿着X轴方向往复运动；Z轴转动组件9，设置在X轴移动组件4上，样品台13设置在Z轴转动组件9上；Z轴转动组件9在X轴移动组件4上带动样品台13在Z轴方向转动；Y轴移动组件5，设置在承载台15上，可沿着Y轴方向往复运动；Z轴移动组件6，设置在Y轴移动组件5上，可沿着Z轴方向往复运动；X轴转动组件7，设置在Z轴移动组件6上，X轴转动组件7上设置有支撑架11；X本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显微镜，其特征在于，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，所述联动支撑机构包括：/nX轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着X轴方向往复运动；/nZ轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述样品台设置在所述Z轴转动组件上；/n所述Z轴转动组件在所述X轴移动组件上带动所述样品台在Z轴方向转动；/nY轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动；/nZ轴移动组件，设置在所述Y轴移动组件上，可沿着Z轴方向往复运动；/nX轴转动组件，设置在所述Z轴移动组件上，所述X轴转动组件上设置有支撑架；/n所述X轴转动组件在所述Z轴移动组件上带动所述支撑架在X轴方向转动；/nA轴移动组件，设置在所述支撑架上，所述粒子光学镜筒设置在所述A轴移动组件上，所述A轴移动组件在所述支撑架上带动所述粒子光学镜筒在A轴方向往复运动。/n

【技术特征摘要】
1.一种显微镜，其特征在于，包括：样品室和设置于所述样品室内的承载台、联动支撑机构、样品台、粒子光学镜筒，所述联动支撑机构包括：
X轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着X轴方向往复运动；
Z轴转动组件，设置在所述X轴移动组件上，所述样品台设置在所述Z轴转动组件上；
所述Z轴转动组件在所述X轴移动组件上带动所述样品台在Z轴方向转动；
Y轴移动组件，设置在所述承载台上，可沿着Y轴方向往复运动；
Z轴移动组件，设置在所述Y轴移动组件上，可沿着Z轴方向往复运动；
X轴转动组件，设置在所述Z轴移动组件上，所述X轴转动组件上设置有支撑架；
所述X轴转动组件在所述Z轴移动组件上带动所述支撑架在X轴方向转动；
A轴移动组件，设置在所述支撑架上，所述粒子光学镜筒设置在所述A轴移动组件上，所述A轴移动组件在所述支撑架上带动所述粒子光学镜筒在A轴方向往复运动。


2.根据权利要求1所述的显微镜，其特征在于，还包括三维激光扫描仪，所述三维激光扫描仪设置于所述样品室内，用于对放置在所述样品台上的待测样品建立三维模型。


3.根据权利要求2所述的显微镜，其特征在于，还包括处理器，所述处理器与所述三维激光扫描仪和所述联动支撑机构控制连接。


4.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：何伟，李帅，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11