扫描电子显微镜的样品及其制备方法技术

本申请公开了一种扫描电子显微镜的样品及其制备方法。其中，该制备方法包括：将初始样品固定于制样模板的指定区域；在制样模板上相应于初始样品的边缘间隔设置与初始样品等高的第一导电胶层；对带有初始样品及第一导电胶层的制样模板进行镀膜处理，得到供扫描电子显微镜观测的成品样品。本申请实施例制备的成品样品，通过在初始样品的边缘设置等高的第一导电胶层，使得样品的边缘与中心所受的电场力均匀，像散接近一致，利于在图像采集过程进行像散参数的调试，可以避免样品边缘的虚图情况，进而能够使得在减速模式下的扫描电子显微镜获取样品质量良好且图像质量较佳的完整数据。获取样品质量良好且图像质量较佳的完整数据。获取样品质量良好且图像质量较佳的完整数据。

【技术实现步骤摘要】
扫描电子显微镜的样品及其制备方法


[0001]本申请涉及显微镜
，具体涉及一种扫描电子显微镜的样品及其制备方法。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(scanning electron microscope，SEM)是用会聚成极细的电子束探针来扫描样品，并收集电子束与样品互相作用后的产生的信号电子，通过信号采集时序和扫描时序同步，来实现样品成像的电子光学显微成像设备。
[0003]扫描电子显微镜是一种介于透射电子显微镜和光学显微镜之间的成像仪器，其利用聚焦的很窄的高能电子束来扫描样品，通过电子束与物质间的相互作用，来激发各种物理信息，对这些信息收集、放大、再成像以达到对物质微观形貌表征的目的。新式的扫描电子显微镜的分辨率可以达到1nm；放大倍数可以达到30万倍及以上连续可调；并且景深大，视野大，成像立体效果好。此外，扫描电子显微镜和其他分析仪器相结合，可以做到观察微观形貌的同时进行物质微区成分分析。扫描电子显微镜在岩土、石墨、陶瓷及纳米材料等的研究上有广泛应用，在科学研究领域具有重大作用。
[0004]相关技术中，在扫描电子显微镜的样品台施加减速场时，电子束与样品相互作用产生的信号电子在减速电压的作用下加速，这些信号电子在被探测器探测到时能量更高，从而提高了二次电子或者背散射电子的收集效率，增加了信噪比。但上述减速电压在提高了信号增益和电子收集效率的同时，也对样品的制备提出了更高的要求。由于扫描电子显微镜中的减速场是施加在样品台上的，在样品台附近形成均匀的等势场，受限于样品本身具有一定的厚度，在拍摄整个样品时，其边缘附近的束斑受到不均匀的电场力影响容易发生变形，导致边缘和中心的像散偏差较大且不容易进行调试。在拍摄完整的样品时，会发生边缘图像质量较差的现象，无法满足拍摄需求。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本申请实施例提供了一种扫描电子显微镜的样品及其制备方法，旨在改善在减速模式下的扫描电子显微镜的样品成像质量。
[0006]本申请实施例的技术方案是这样实现的：
[0007]第一方面，本申请实施例提供了一种扫描电子显微镜的样品的制备方法，包括：
[0008]将初始样品固定于制样模板的指定区域；
[0009]在所述制样模板上相应于所述初始样品的边缘间隔设置与所述初始样品等高的第一导电胶层；
[0010]对带有所述初始样品及所述第一导电胶层的所述制样模板进行镀膜处理，得到供所述扫描电子显微镜观测的成品样品。
[0011]上述方案中，所述初始样品为方形，所述制样模板的上表面具有用于定位的十字标志，所述将初始样品固定于制样模板的指定区域，包括：
[0012]将所述初始样品以第二导电胶层为粘接层，并基于所述十字标志进行对齐，平整地固定于所述制样模板上。
[0013]上述方案中，所述在所述制样模板上相应于所述初始样品的边缘间隔设置与所述初始样品等高的第一导电胶层，包括：
[0014]沿方形的所述初始样品的四个侧边的边缘，分别平行间隔地设置与所述初始样品等高的第一导电胶层。
[0015]上述方案中，所述第一导电胶层与所述初始样品之间的间距为100～300微米。
[0016]上述方案中，所述第一导电胶层为导电胶制成或者导电胶内包裹硅片制成。
[0017]上述方案中，所述第一导电胶层的宽度为至少6毫米。
[0018]上述方案中，所述对带有所述初始样品及所述第一导电胶层的所述制样模板进行镀膜处理，包括：
[0019]控制所述镀膜处理的镀膜厚度为2～3纳米。
[0020]第二方面，本申请实施例提供了一种如本申请实施例第一方面所述方法制备的扫描电子显微镜的样品。
[0021]第三方面，本申请实施例提供了一种扫描电子显微镜的样品，包括：
[0022]制样模板；
[0023]初始样品，所述初始样品经第二导电胶层固定于所述制样模板的指定区域；
[0024]第一导电胶层，所述第一导电胶层设置于所述制样模板上相应于所述初始样品的边缘处且与所述初始样品等高并间隔设定距离；
[0025]镀膜层，至少覆盖所述制样模板上相应于所述初始样品和所述第一导电胶层的区域。
[0026]上述方案中，所述设定间隔距离为100～300微米。
[0027]本申请实施例提供的技术方案，将初始样品固定于制样模板的指定区域；在制样模板上相应于初始样品的边缘间隔设置与初始样品等高的第一导电胶层；对带有初始样品及第一导电胶层的制样模板进行镀膜处理，得到供扫描电子显微镜观测的成品样品。本申请实施例制备的成品样品，通过在初始样品的边缘设置等高的第一导电胶层，使得样品的边缘与中心所受的电场力均匀，像散接近一致，利于在图像采集过程进行像散参数的调试，可以避免样品边缘的虚图情况，进而能够使得在减速模式下的扫描电子显微镜获取样品质量良好且图像质量较佳的完整数据。
附图说明
[0028]图1为相关技术中扫描电子显微镜成像的原理示意图；
[0029]图2为相关技术中样品上扫描光斑的分布模拟示意图；
[0030]图3为本申请实施例扫描电子显微镜的样品的制备方法的流程示意图；
[0031]图4为本申请实施例中制样模板的结构示意图；
[0032]图5本申请实施例中制样模板上设置初始样品和导电胶层的平面结构示意图；
[0033]图6为本申请实施例中制样模板上设置初始样品和导电胶层的截面结构示意图；
[0034]图7为本申请实施例中样品上的采样点的位置示意图。
具体实施方式
[0035]为了使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本申请作进一步地详细描述，所描述的实施例不应视为对本申请的限制，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本申请保护的范围。
[0036]在本申请的描述中，涉及到“一些实施例”，其描述了所有可能实施例的子集，但是可以理解，“一些实施例”可以是所有可能实施例的相同子集或不同子集，并且可以在不冲突的情况下相互结合。
[0037]在本申请的描述中，所涉及的术语“第一、第二”等仅仅是区别类似的对象，不代表针对对象的特定排序，可以理解地，“第一、第二”等在允许的情况下可以互换特定的顺序或先后次序，以使这里描述的本申请实施例能够以除了在这里图示或描述的以外的顺序实施。除非另有说明，“多个”的含义是至少两个。
[0038]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0039]如图1所示，扫描电子显微镜由电子枪发射出来的电子束，在加速电压的作用下，经磁物镜4汇聚成一个细的电子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电子显微镜的样品的制备方法，其特征在于，包括：将初始样品固定于制样模板的指定区域；在所述制样模板上相应于所述初始样品的边缘间隔设置与所述初始样品等高的第一导电胶层；对带有所述初始样品及所述第一导电胶层的所述制样模板进行镀膜处理，得到供所述扫描电子显微镜观测的成品样品。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述初始样品为方形，所述制样模板的上表面具有用于定位的十字标志，所述将初始样品固定于制样模板的指定区域，包括：将所述初始样品以第二导电胶层为粘接层，并基于所述十字标志进行对齐，平整地固定于所述制样模板上。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述在所述制样模板上相应于所述初始样品的边缘间隔设置与所述初始样品等高的第一导电胶层，包括：沿方形的所述初始样品的四个侧边的边缘，分别平行间隔地设置与所述初始样品等高的第一导电胶层。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一导电胶层与所述初始样品之间的间距为1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张韩，谭宇琦，李杨，张琛，费雅茜，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：