一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质制造方法及图纸

本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本申请实施例还提供了实现所述方法的装置、扫描电子显微镜和存储介质。和存储介质。和存储介质。

【技术实现步骤摘要】
一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质


[0001]本申请涉及电子显微镜
，尤其涉及一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质。

技术介绍

[0002]目前市场上高端的场发射扫描电子显微镜大多数都具备大面积区域自动化拍摄功能，一款好的扫描电子显微镜在拍摄大面积样品时，需要能自动进行聚焦、象散等调图操作，期望能在拍摄的大面积区域都能获得清晰的图像。
[0003]但是，目前大面积区域自动化拍摄只能选择单一的调聚焦和象散的方式。单一的调聚焦和象散的方式是根据不同类型的样品确定的，对于大面积区域样品，该方式无法照顾到的样品的全部，往往有部分区域无法调试清晰，图片模糊不清，只能后续进行人为的重拍工作。

技术实现思路

[0004]有鉴于此，本申请实施例期望提供一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质，使得在大面积区域扫描成像时可获得整个区域清晰的图像，减少重拍工作。
[0005]本申请实施例的技术方案是这样实现的：
[0006]本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，所述方法包括：
[0007]基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；
[0008]为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；
[0009]基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。
[0010]本申请实施例中，所述待测样品表面的特征信息包括但不限于以下一种或多种：
[0011]高度；
[0012]相邻区域之间的高度差；
[0013]表面的粗糙程度；
[0014]所包含的样品特征的数量；
[0015]可承受的电子束辐照的程度。
[0016]本申请实施例中，所述基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域，包括：
[0017]分析所述已选定的感兴趣区域表面的特征信息；
[0018]将所述感兴趣区域内特征信息均满足相同阈值的部分区域划分在同一个子区域内；其中，
[0019]所述子区域为：感兴趣区域内连续的一部分区域。
[0020]本申请实施例中，所述为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式，包括：
[0021]确定每个子区域的特征信息；
[0022]基于所述特征信息分别为每个子区域配置对应的聚焦方式和调节象散的方式。
[0023]本申请实施例中，所述聚焦方式包括但不限于以下一种或多种：
[0024]桩点插值法手动聚焦I Focus；
[0025]自动聚焦AF；
[0026]所述调节象散的方式包括但不限于以下一种或多种：
[0027]桩点插值法手动调象散I StigXY；
[0028]自动调象散ASC。
[0029]本申请实施例中，在所述感兴趣区域划分为第一子区域和第二子区域两个子区域的情况下，所述基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，包括：
[0030]对于所述感兴趣区域从预设的第一行开始逐行进行拍摄，确定拍摄的区域为第一子区域的情况下，调用所述第一子区域对应的聚焦方式和调节象散的方式进行拍摄；确定拍摄的区域为第二子区域的情况下，调用所述第二子区域对应的聚焦方式和调节象散的方式进行拍摄。
[0031]本申请实施例还提供了一种聚焦控制装置，所述装置应用于扫描电子显微镜，包括：
[0032]区域划分单元，用于基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；
[0033]配置单元，用于为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；
[0034]图像获取单元，用于基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。
[0035]本申请实施例还提供了一种扫描电子显微镜，包括：
[0036]第一处理器，用于基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；
[0037]图像处理器，用于基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。
[0038]本申请实施例还提供了一种扫描电子显微镜，包括：第一处理器和用于存储能够在处理器上运行的计算机程序的第一存储器，
[0039]其中，所述第一处理器用于运行所述计算机程序时，执行上述方法的步骤。
[0040]本申请实施例还提供了一种存储介质，其上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述方法的步骤。
[0041]本申请实施例提供的聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质，基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。本申请实施例基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为多个子区域，并为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式，使得在大面积区域扫描成像时能满足不同特征区域的拍摄需求，从而使整个区域都能获得聚焦清晰的图像，从而减少后期重新拍摄的工作。
附图说明
[0042]图1为本申请实施例所述聚焦控制方法结构示意图；
[0043]图2为本申请实施例所述4*4图片重叠拼接示意图；
[0044]图3为本申请实施例所述感兴趣区域划分结构示意图；
[0045]图4为本申请实施例所述聚焦控制装置结构示意图；
[0046]图5为本申请实施例所述扫描电子显微镜结构示意图。
具体实施方式
[0047]下面结合附图和实施例对本申请进行描述。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术相关的部分。需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0048]实施例一
[0049]本申请实施例提供了一种聚焦控制方法，如图1所示，所述方法包括：
[0050]步骤101：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；
[0051]步骤102：为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；
[0052]步骤103：基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。
[0053]实际应用时，本申请实施例可基于样品分析需求在样品上选取感兴趣区域(ROI)，该区域也可称为大面积区域，即为需要整体拍摄观察的区域。
[0054]可知，大面积区域自动化拍摄是在大区域以极高的分辨率(小区域和高像素分辨率)对整个感兴趣区域(ROI)进行自动化扫描成像，获得整个感兴趣区域(ROI)超高分辨率的全景拼图。所述全景拼图是由数张小区域本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种聚焦控制方法，其特征在于，所述方法包括：基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域；为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式；基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄，获得相应图像。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述待测样品表面的特征信息包括但不限于以下一种或多种：高度；相邻区域之间的高度差；表面的粗糙程度；所包含的样品特征的数量；可承受的电子束辐照的程度。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域，包括：分析所述已选定的感兴趣区域表面的特征信息；将所述感兴趣区域内特征信息均满足相同阈值的部分区域划分在同一个子区域内；其中，所述子区域为：感兴趣区域内连续的一部分区域。4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式，包括：确定每个子区域的特征信息；基于所述特征信息分别为每个子区域配置对应的聚焦方式和调节象散的方式。5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚焦方式包括但不限于以下一种或多种：桩点插值法手动聚焦IFocus；自动聚焦AF；所述调节象散的方式包括但不限于以下一种或多种：桩点插值法手动调象散I StigXY；自动调象散ASC。6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述感兴趣区域划分为第一子区域和第二子区域两个子区域...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琛，谭宇琦，张韩，李杨，费雅茜，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：发明
国别省市：