一种扫描电镜的调焦系统及方法技术方案

本发明专利技术涉及扫描电镜技术领域，具体为一种扫描电镜的调焦系统及方法，包括聚光通道，聚光通道的顶部安装有电子枪，聚光通道的底部安装有底座，底座的一侧安装有探头，探头的外侧连接有视频放大器，视频放大器的外侧连接有第一显像管和第二显像管，聚光通道的内部上方设置有上聚光镜，聚光通道的内部下方设置有下聚光镜，聚光通道的外侧安装有焦距调节仓。该扫描电镜的调焦系统及方法中，把手带动焦距调节螺纹杆的转动，进而带动上聚光镜和下聚光镜之间距离的调节，进而保证焦距调节，通过样品升降螺纹杆带动升降板进行升降，进而带动样品台进行升降，从而保证样品的升降，实现焦距的进一步调节。一步调节。一步调节。

【技术实现步骤摘要】
一种扫描电镜的调焦系统及方法


[0001]本专利技术涉及扫描电镜
，具体地说，涉及一种扫描电镜的调焦系统及方法。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜是一种用于高分辨率微区形貌分析的大型精密仪器。具有景深大、分辨率高，成像直观、立体感强、放大倍数范围宽以及待测样品可在三维空间内进行旋转和倾斜等特点。另外具有可测样品种类丰富，几乎不损伤和污染原始样品以及可同时获得形貌、结构、成分和结晶学信息等优点。
[0003]公开号为CN207558739U的专利公开了一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜。扫描电镜样品台包括用于夹持样品的夹持部件，所述夹持部件包括用于对合夹持样品的第一夹持部和第二夹持部，所述第一夹持部和所述第二夹持部相向的面均设置有用于容纳样品的夹槽，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间设置有导向柱，所述第一夹持部和所述第二夹持部之间还连接有锁紧件。所述扫描电镜包括上述的一种扫描电镜样品台。本专利技术所提供的一种扫描电镜样品台和具有该扫描电镜样品台的扫描电镜，可以精准地夹持样品(钻头)，电子束可以垂直于样品表面，检测可靠性佳。
[0004]虽然该技术方案电子束可以垂直于样品表面，检测可靠性佳，但是其不能根据需要进行精确的调焦动作，导致其调焦效果不好，显示的图像不够清晰，且样品的高度不便于调节，导致探头检测时精确度不够。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于提供一种扫描电镜的调焦系统及方法，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了一种扫描电镜的调焦系统，包括聚光通道，所述聚光通道的顶部安装有电子枪，所述聚光通道的底部安装有底座，所述底座的一侧安装有探头，所述探头的外侧连接有视频放大器，所述视频放大器的外侧连接有第一显像管和第二显像管，所述聚光通道的内部上方设置有上聚光镜，所述聚光通道的内部下方设置有下聚光镜，所述聚光通道的外侧安装有焦距调节仓。
[0007]作为优选，所述焦距调节仓的内部竖直设置有焦距调节螺纹杆，所述焦距调节螺纹杆的上段设置有正螺纹，下段设置有反螺纹，所述焦距调节螺纹杆的上段和下段均螺纹连接有滑块，两个所述滑块分别与上聚光镜和下聚光镜连接。
[0008]作为优选，所述焦距调节螺纹杆的顶部安装有把手，所述焦距调节螺纹杆的底端通过轴承与焦距调节仓的底部内壁转动连接。
[0009]作为优选，所述底座的内部倾斜设置有样本台，所述样本台的底部水平安装有升降板，所述升降板上螺纹连接有样品升降螺纹杆，所述样品升降螺纹杆的底端贯穿底座且安装有手柄。
[0010]作为优选，所述升降板上竖直贯通设置有导向杆，所述导向杆与底座的内壁紧密
焊接。
[0011]作为优选，所述第二显像管的顶部安装有照相机。
[0012]本专利技术还提供一种扫描电镜的调焦系统，其步骤如下：
[0013]S1、通过手部转动把手，带动焦距调节螺纹杆转动；
[0014]S2、焦距调节螺纹杆转动，通过正螺纹和反螺纹带动滑块反向运动，实现滑块相互靠近或者远离；
[0015]S3、滑块相互靠近或者远离带动上聚光镜和下聚光镜之间的距离调节，实现焦距的调整。
[0016]作为优选，通过转动样品升降螺纹杆带动升降板升降。
[0017]作为优选，通过升降板升降带动样本台升降，进而实现样本的高度调节，进一步进行焦距调整。
[0018]与现有技术相比，本专利技术的有益效果：
[0019]1、该扫描电镜的调焦系统及方法中，通过其中设置的把手带动焦距调节螺纹杆的转动，进而带动上聚光镜和下聚光镜之间距离的调节，进而保证焦距调节。
[0020]2、该扫描电镜的调焦系统及方法中，通过样品升降螺纹杆带动升降板进行升降，进而带动样品台进行升降，从而保证样品的升降，实现焦距的进一步调节。
附图说明
[0021]图1为本专利技术的整体结构示意图；
[0022]图2为本专利技术中聚光通道的内部结构示意图；
[0023]图3为本专利技术中底座的内部结构示意图；
[0024]图4为本专利技术中升降板的结构示意图。
[0025]图中各个标号意义为：
[0026]1、聚光通道；11、电子枪；12、上聚光镜；13、下聚光镜；14、焦距调节仓；141、焦距调节螺纹杆；1411、正螺纹；1412、反螺纹；142、滑块；143、把手；2、底座；21、探头；22、样本台；23、升降板；24、样品升降螺纹杆；25、导向杆；3、视频放大器；4、第一显像管；5、第二显像管；51、照相机。
具体实施方式
[0027]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0029]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“若干”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0030]实施例1
[0031]本专利技术提供一种扫描电镜的调焦系统及方法，如图1
‑
图4所示，包括聚光通道1，聚光通道1的顶部安装有电子枪11，聚光通道1的底部安装有底座2，底座2的一侧安装有探头21，探头21的外侧连接有视频放大器3，视频放大器3的外侧连接有第一显像管4和第二显像管5，聚光通道1的内部上方设置有上聚光镜12，聚光通道1的内部下方设置有下聚光镜13，聚光通道1的外侧安装有焦距调节仓14，用于进行焦距调节。
[0032]本实施例中，焦距调节仓14的内部竖直设置有焦距调节螺纹杆141，焦距调节螺纹杆141的上段设置有正螺纹1411，下段设置有反螺纹1412，焦距调节螺纹杆141的上段和下段均螺纹连接有滑块142，两个滑块142分别与上聚光镜12和下聚光镜13连接，便于带动上聚光镜12和下聚光镜13调节位置。
[0033]具体的，焦距调节螺纹杆141的顶部安装有把手143，焦距调节螺纹杆141的底端通过轴承与焦距调节仓14的底部内壁转动连接。
[0034]进一步的，底座2的内部倾斜设置有样本台22，样本台22的底部水平安装有升降板23，升降板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜的调焦系统，包括聚光通道(1)，其特征在于：所述聚光通道(1)的顶部安装有电子枪(11)，所述聚光通道(1)的底部安装有底座(2)，所述底座(2)的一侧安装有探头(21)，所述探头(21)的外侧连接有视频放大器(3)，所述视频放大器(3)的外侧连接有第一显像管(4)和第二显像管(5)，所述聚光通道(1)的内部上方设置有上聚光镜(12)，所述聚光通道(1)的内部下方设置有下聚光镜(13)，所述聚光通道(1)的外侧安装有焦距调节仓(14)。2.根据权利要求1所述的扫描电镜的调焦系统，其特征在于：所述焦距调节仓(14)的内部竖直设置有焦距调节螺纹杆(141)，所述焦距调节螺纹杆(141)的上段设置有正螺纹(1411)，下段设置有反螺纹(1412)，所述焦距调节螺纹杆(141)的上段和下段均螺纹连接有滑块(142)，两个所述滑块(142)分别与所述上聚光镜(12)和所述下聚光镜(13)连接。3.根据权利要求2所述的扫描电镜的调焦系统，其特征在于：所述焦距调节螺纹杆(141)的顶部安装有把手(143)，所述焦距调节螺纹杆(141)的底端通过轴承与所述焦距调节仓(14)的底部内壁转动连接。4.根据权利要求1所述的扫描电镜的调焦系统，其特征在于：所述底座(2)的内部倾斜设置有样本台(22)，所述样本台(22)...

【专利技术属性】
技术研发人员：王伟佳，刘静，董守斌，胡金龙，
申请(专利权)人：中山依数科技有限公司，
类型：发明
国别省市：