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一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质制造方法及图纸
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下载一种聚焦控制方法、装置、扫描电子显微镜和存储介质的技术资料
文档序号:37988362
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本申请实施例提供了一种聚焦控制方法,包括:基于待测样品表面的特征信息将已选定的感兴趣区域划分为至少两个子区域;为每个子区域分别配置对应的聚焦和调节象散的方式;基于所述聚焦和调节象散的方式对所述感兴趣区域整体进行逐行拍摄,获得相应图像。本申请...
该专利属于聚束科技(北京)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过聚束科技(北京)有限公司授权不得商用。
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