一种靶材组件和X射线显微镜制造技术

本实用新型专利技术公开了一种靶材组件和X射线显微镜，该靶材组件包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置。本实用新型专利技术提供一种靶材组件和X射线显微镜，增大了有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量。的成像质量。的成像质量。

【技术实现步骤摘要】
一种靶材组件和X射线显微镜


[0001]本技术属于显微镜
，具体地说，涉及一种靶材组件和X射线显微镜。

技术介绍

[0002]现有技术中，X射线显微镜是用X射线束对待测样品某部一定厚度的层面进行扫描，由探测器接收透过该层面的X射线，转变为可见光后，由光电转换变为电信号，经过计算机处理后构成三维的CT图像。CT图像可体现待测样品的几何信息和结构信息等。前者包括待测样品的尺寸、体积和各点的空间坐标，后者包括待测样品的衰减值、密度和多孔性等材料学信息。
[0003]电子束作用于靶材上会在作用区域产生X射线，X射线由作用区域向四周散射，X射线显微镜的成像质量在很大程度上与有效照射区域内的X射线密度有关，虽然一些X射线生成设备使用聚焦光学器件来聚焦生产的X射线，但是X射线显微镜空间有限，不具有聚焦光学器件，如何增大有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量成为本领域技术人员亟待解决的问题。
[0004]有鉴于此特提出本技术。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种靶材组件和X射线显微镜，增大了有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量。
[0006]为解决上述技术问题，本技术采用技术方案的基本构思是：一种靶材组件，包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置。
[0007]进一步的，所述第一散热层设置有至少两个所述第一凹槽，每个所述第一凹槽内设置有一个所述第一靶材，至少两个所述第一作用面的倾斜角度不同。
[0008]进一步的，还包括第二段，所述第二段包括第二散热层，所述第二散热层设置有第二凹槽，所述第二凹槽内设置有第二靶材，所述第二靶材具有受电子束作用的第二作用面，所述第二作用面相对于所述第二凹槽的底面平行设置。
[0009]进一步的，多个所述第一靶材的材质不同；
[0010]多个所述第二靶材的材质不同。
[0011]进一步的，包括安装座，所述安装座设置有卡槽，所述靶材组件可拆卸的安装于所述卡槽中，所述安装座设置有冷却组件，用于对所述靶材组件冷却。
[0012]进一步的，所述安装座包括第一冷却侧板、第二冷却侧板、冷却底板、冷却背板；
[0013]所述冷却组件包括第一冷却盘管、第二冷却盘管、第三冷却盘管、第四冷却盘管；
[0014]所述第一冷却侧板内腔设置有所述第一冷却盘管，所述第二冷却侧板内腔设置有所述第二冷却盘管，所述冷却底板内腔设置有所述第三冷却盘管，所述冷却背板内腔设置
有所述第四冷却盘管。
[0015]在一些可选的实施方式中，X射线显微镜还包括：
[0016]电子光学镜筒，用于发射电子束，所述电子光学镜筒下端连接有真空腔室，所述真空腔室设置有真空窗；
[0017]样品台，用于放置待测样品，所述样品台设置于所述真空腔室内；
[0018]所述靶材组件位于所述真空腔室内，所述电子束作用于所述靶材组件上产生X射线照射于所述待测样品上经过所述真空窗被X射线探测器接收。
[0019]进一步的，还包括：
[0020]机械手，所述机械手夹持所述靶材组件在所述真空腔室内运动。
[0021]在一些可选的实施方式中，还包括：
[0022]波纹管，所述波纹管一端与所述X射线探测器连接，所述波纹管的另一端与所述真空窗四周的所述真空腔室的外侧壁连接。
[0023]进一步的，所述真空腔室的外侧壁、所述波纹管、所述X射线探测器、所述真空窗之间围绕形成密闭腔室，所述密闭腔室中充入氦气，或者是氮气。
[0024]采用上述技术方案后，本技术与现有技术相比具有以下有益效果。
[0025]本技术提供的一种靶材组件和X射线显微镜，靶材组件的第一散热层设置有第一凹槽，第一凹槽内设置有第一靶材，第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，第一作用面相对于第一凹槽的底面倾斜设置。电子束作用于第一作用面时，由于第一作用面与第一凹槽底面倾斜设置，所以第一作用面的倾斜角度可以控制调节产生的X射线束的高密度X射线区域的发射方向。增大了有效照射区域内的X射线密度，提高X射线显微镜的成像质量。
[0026]下面结合附图对本技术的具体实施方式作进一步详细的描述。
附图说明
[0027]附图作为本技术的一部分，用来提供对本技术的进一步的理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，但不构成对本技术的不当限定。显然，下面描述中的附图仅仅是一些实施例，对于本领域普通技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他附图。在附图中：
[0028]图1是本技术提供的一种靶材组件结构示意图；
[0029]图2是本技术提供的安装座及冷却组件结构分布示意图；
[0030]图3是本技术提供的安装座与靶材组件配合安装结构示意图；
[0031]图4是本技术提供的一种X射线显微镜整体结构示意图。
[0032]图中：1、靶材组件；101、第一段；102、第二段；2、第一靶材；201、第一作用面；3、第一散热层；301、第一凹槽；4、第二靶材；401、第二作用面；5、第二散热层；501、第二凹槽；6、冷却组件；601、第一冷却盘管；602、第二冷却盘管；603、第三冷却盘管；604、第四冷却盘管；7、安装座；701、第一冷却侧板；702、第二冷却侧板；703、冷却底板；704、冷却背板；8、电子光学镜筒；801、电子源；802、电子加速结构；803、物镜系统；9、电子束；10、真空腔室；11、机械手；12、X射线；13、待测样品；14、样品台；15、真空窗；16、波纹管；17、X射线探测器。
[0033]需要说明的是，这些附图和文字描述并不旨在以任何方式限制本技术的构思范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本技术的概念。
具体实施方式
[0034]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围。
[0035]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0036]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种靶材组件，其特征在于，包括第一段，所述第一段包括第一散热层，所述第一散热层设置有第一凹槽，所述第一凹槽内设置有第一靶材，所述第一靶材具有受电子束作用的第一作用面，所述第一作用面相对于所述第一凹槽的底面倾斜设置。2.根据权利要求1所述的靶材组件，其特征在于，所述第一散热层设置有至少两个所述第一凹槽，每个所述第一凹槽内设置有一个所述第一靶材，至少两个所述第一作用面的倾斜角度不同。3.根据权利要求2所述的靶材组件，其特征在于，还包括第二段，所述第二段包括第二散热层，所述第二散热层设置有第二凹槽，所述第二凹槽内设置有第二靶材，所述第二靶材具有受电子束作用的第二作用面，所述第二作用面相对于所述第二凹槽的底面平行设置。4.根据权利要求3所述的靶材组件，其特征在于，多个所述第一靶材的材质不同；多个所述第二靶材的材质不同。5.一种X射线显微镜，包括如权利要求1
‑
4任一项所述靶材组件，其特征在于，包括安装座，所述安装座设置有卡槽，所述靶材组件可拆卸的安装于所述卡槽中，所述安装座设置有冷却组件，用于对所述靶材组件冷却。6.根据权利要求5所述的X射线显微镜，其特征在于，所述安装座包括第一冷却侧板、第二冷却侧板、冷却底板、...

【专利技术属性】
技术研发人员：李帅，曲士座，寇会民，
申请(专利权)人：聚束科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：