一种真空等离子清洗腔制造技术

本实用新型专利技术提出了一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设有匀气机构，本等离子清洗腔在腔门口设置了进气板，通过进气板上设置的进气管深入至电极板之间，从电极板上部分别进气，能够保证气体在电极板之间分部均匀，并且设置了匀气机构，保证每根出气硬管出气均匀，提高清洗效率。

【技术实现步骤摘要】
一种真空等离子清洗腔
本技术涉及等离子清洗设备领域，尤其涉及真空等离子清洗腔。
技术介绍
针对电路板加工完成后，需要进入等离子清洗机内进行清洗，等离子清洗机的原理是：在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的无序的等离子体，通过等离子体轰击被清洗产品表面.以达到清洗目的，所以在清洗过程中是需要不断通入气体，被电离成等离子体后进行清洗，现有技术中，如专利公告号为：CN207624654U的技术公开了一种格栅式电极板等离子处理真空腔，其公开的竖直设置的电极板的等离子清洗腔，现有的通气方式都从腔体的侧壁进气，但由于竖直设置的电极板，气体只能从侧边直至电极板下部或者上部慢慢渗透，所以在实际工作时，气体的分部极为不均匀，导致清洗效果较差。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出了一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，其特征在于，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设有匀气机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，其特征在于，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，所述出气硬管内设有匀气机构。


2.根据权利要求1所述的真空等离子清洗腔，其特征在于，所述进气板通过螺钉固定于所述固定板的端部。


3.根据权利要求1所述的真空等离子...

【专利技术属性】
技术研发人员：张永雷，
申请(专利权)人：昆山国华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32