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本实用新型提出了一种真空等离子清洗腔，包括腔体和所述腔体侧边的门体，所述腔体顶部设有固定板，所述固定板下部竖直排列设置有若干电极，所述电极上部设有进气板，所述进气板上设有进气接头，所述进气接头处连接有出气硬管，所述出气硬管伸于所述电极之间，...
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