【技术实现步骤摘要】
一种等离子清洗机用电极快拆装置
本技术涉及等离子清洗设备领域，尤其涉及等离子清洗机用电极快拆装置。
技术介绍
等离子体是气体分子在真空、放电等特殊场合下产生的物质。等离子清洗/刻蚀产生等离子体的装置是在密封容器中设置两个电极形成电磁场，用真空泵实现一定的真空度，随着气体越来越稀薄，分子间距及分子或离子的自由运动距离也越来越长，受磁场作用，发生碰撞而形成等离子体，同时会发生辉光。等离子体在电磁场内空间运动，并轰击被处理物体表面，从而达到表面处理、清洗和刻蚀的效果。现有技术中，由于电极板竖直设置的真空等离子清洗机的电极通常都是固定的，通过在顶部设有固定钉，将每个电极锁紧在腔体顶部的，当需要拆装电极保养等操作时，需要每个电极拧下来，操作较为繁琐。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提出了一种等离子清洗机用电极快拆装置，包括相对设置于等离子清洗腔内壁的两个支撑条，所述支撑条上设有一体式电极，所述一体式电极包括固定板，所述固定板两边压于所述支撑条上；所述固定板下部设有若干固定条组，所述固定...
【技术保护点】
1.一种等离子清洗机用电极快拆装置，其特征在于，包括相对设置于等离子清洗腔内壁的两个支撑条，所述支撑条上设有一体式电极，所述一体式电极包括固定板，所述固定板两边压于所述支撑条上；/n所述固定板下部设有若干固定条组，所述固定条组之间固定有竖直设置的电极片；/n还包括位于所述等离子清洗腔内壁的两根第一电极条和第二电极条，所述第一电极条面向所述电极片的一侧设有相间排列设置的插接口和分隔口，所述第二电极条的插接口和分隔口与所述第一电极条的插接口和分隔口位置相错设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种等离子清洗机用电极快拆装置，其特征在于，包括相对设置于等离子清洗腔内壁的两个支撑条，所述支撑条上设有一体式电极，所述一体式电极包括固定板，所述固定板两边压于所述支撑条上；
所述固定板下部设有若干固定条组，所述固定条组之间固定有竖直设置的电极片；
还包括位于所述等离子清洗腔内壁的两根第一电极条和第二电极条，所述第一电极条面向所述电极片的一侧设有相间排列设置的插接口和分隔口，所述第二电极条的插接口和分隔口与所述第一电极条的插接口和分隔口位置相错设置。
2.根据权利要求1所述的等离子清洗机用电极快拆装置，其特征在于，所述插接口口部设有燕尾槽...
【专利技术属性】
技术研发人员：张永雷，
申请(专利权)人：昆山国华电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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