带电粒子束装置制造方法及图纸

一种带电粒子束装置，其中，拍摄器(30)对由试样载台(20)保持的试样保持器(22)进行拍摄。在拍摄器(30)的前方(对象物侧)设置有发光器阵列(32)和掩模阵列(34)。由发光器阵列(32)产生多个光束。多个光束的多个中央部分被掩模阵列(34)遮掩。由此产生的多个阴影被多个光束的多个周边部分覆盖。

【技术实现步骤摘要】
带电粒子束装置
本专利技术涉及带电粒子束装置，特别是涉及具备拍摄器(imagingdevice)的带电粒子束(chargedparticlebeam)装置。
技术介绍
作为带电粒子束装置，已知扫描电子显微镜、透射电子显微镜、离子束照射装置等。以下，以扫描电子显微镜为例，说明其构成。扫描电子显微镜具备保持试样的试样保持器以及对其进行拍摄的拍摄器。通过观察拍摄到的图像能够确认试样的状态，另外，能在该图像上指定进行电子束的扫描的部位。还已知具备将拍摄到的图像与CG(computergraphics；计算机图形)图像进行合成而生成表示试样室(samplechamber)内的试样保持器的状态的参考图像的功能的扫描电子显微镜。拍摄器由相机、透镜等构成。除了拍摄器，还设置用于将对象物照亮的光源。光源例如由配置在透镜的周围的多个发光器构成(参照特许第6335328号公报的图2)。典型的是，各发光器由LED发光元件构成。此外，在特开2010-225980号公报的图1中公开了LED灯。在LED灯的透镜部的表面设置有作为遮光部发挥功能的涂装膜。该文献所公开的LED灯是用于交通信号灯的，而不是用于带电粒子束装置。在上述特许第6335328号公报中没有公开包括多个发光器的光源。
技术实现思路
专利技术要解决的问题在带电粒子束装置中，在进行包含试样的对象物的拍摄的情况下，通常设置多个发光器。在各个发光器使用的是产生收窄的光束的发光器的情况下，容易在对象物的表面上产生闪闪发光的反射部分，也就是产生刺眼的高亮度部分。具体地进行说明。保持试样的保持器通常由金属构成，在其表面会有在其切削过程中产生的许多细条纹也就是加工痕迹(也称为切削刀痕)。各光束的中央部分的照度非常高，可以想到主要是中央部分在加工痕迹处被反射而产生闪闪发光的反射部分。也可以想到由于加工痕迹以外的因素而产生高亮度部分的情况，另外，还可以想到在试样的表面产生高亮度部分的情况。不论是哪一种情况，这种高亮度部分都会妨碍对象物的观察。本公开的目的在于，在带电粒子束装置中，在由来自多个发光器的多个光束对对象物进行照明的情况下，防止或降低对象物表面上的高亮度部分的产生。或者，本公开的目的在于，在带电粒子束装置中，通过简易的构成使由多个发光器形成的光量分布平坦化。用于解决问题的方案实施方式的带电粒子束装置包含：拍摄器，其对包含试样的对象物进行拍摄；多个发光器，其朝向上述对象物照射多个光束；以及光分布调整构件，其具备配置在上述对象物与上述多个发光器之间的多个光限制要素。各上述光束包含中央部分和在上述中央部分的外侧延展的周边部分。各上述光限制要素限制各上述光束的上述中央部分的强度。根据上述构成，由各发光器产生的光束的中央部分被各光限制要素限制。即，中央部分的光量或照度被减弱或者变为零。从而，得以减轻或者防止对象物表面上的高亮度部分的产生。由于是从多个光源对对象物照射多个光束，因此，即使限制各个光束的一部分光量，也能对整个对象物进行照明。即，根据上述构成，能通过简易的构成使光量分布(或照度分布)平坦化。在上述构成中，光束中受到光限制要素的作用的部分为中央部分，没有受到光限制要素的作用的部分为周边部分。各光限制要素是物理上的存在体，也就是物体。在实施方式中，上述多个光限制要素配置在与上述多个发光器不接触且靠近上述多个发光器的位置。在将各光限制要素直接装配到各发光器的情况下，容易产生发光器的透明盖的磨损等，但根据上述构成，不会产生这种问题。一般地，只要各发光器与各光限制要素之间的距离在0.5～5mm的范围内，就可以说两者是靠近的。当增大两者的间隔时，就需要增大各个光限制要素的尺寸，而且多个光限制要素也可能会妨碍拍摄器的视野，因此，使两者靠近比较好。在实施方式中，上述光分布调整构件包含将上述多个光限制要素一体化的框架。根据该构成，能够提高各个光限制要素的定位精度，还能够使组装作业性良好。在实施方式中，上述框架包含外侧圈和设置在上述外侧圈的内侧的内侧圈。上述光分布调整构件还包含将上述外侧圈与上述内侧圈之间连接的多个桥。各上述桥作为各上述光限制要素的整体或一部分发挥功能。根据该构成，由于各个桥被2个圈以双支承方式保持，因此，各个桥的位置或朝向稳定化。反言之，即使将各个圈或各个桥的厚度变薄，也容易得到充分的形态稳定性。在实施方式中，带电粒子束装置包含搭载有上述多个发光器的基板。在上述框架设置有多个臂，上述多个臂被固定到上述基板。根据该构成，容易相对于多个发光器以适当的位置和朝向来配置光分布调整构件。在实施方式中，在与上述拍摄器的观察中心轴正交的假想照射面上，由上述多个光限制要素产生多个阴影，上述多个光束的多个周边部分覆盖上述多个阴影。根据该构成，在照射面上由于多个光限制要素而可能产生的多个阴影得到缓和，或者，多个阴影实质上被消除。照射面可被认为是包含对象物的表面(例如试样保持器的上表面)的假想面。在实施方式中，拍摄位置被设定为与容纳上述对象物的试样室相邻，在上述拍摄位置的上方设置有上述拍摄器、上述多个发光器以及上述光分布调整构件。根据该构成，例如能够在向试样室投入对象物前简便地拍摄朝向上方的对象物。在这种情况下，会防止或抑制对象物表面上的高亮度部分的产生，因此，能提高拍摄到的图像的质量。在实施方式中，图像是静态图像，但也可以拍摄动态图像。附图说明图1是示出实施方式的扫描电子显微镜的示意图。图2是示出由拍摄单元拍摄到的图像的图。图3是示出多个光束的重叠的特性图。图4是示出与发光器阵列对应设置的掩模阵列的图。图5是拍摄单元的侧视图。图6是示出多个光束的重叠的立体图。图7是示出掩模板的第1实施例的图。图8是示出掩模板的第2实施例的图。图9是示出掩模板的第3实施例的图。图10是示出掩模板的第4实施例的图。具体实施方式以下，基于附图来说明实施方式。图1公开了实施方式的带电粒子束装置。图示的带电粒子束装置为扫描电子显微镜(SEM)10，在图1中，其被示意性地示出。此外，也可以对扫描电子显微镜以外的装置应用以下说明的构成。扫描电子显微镜10具有测定部和信息处理部。当然，测定部与信息处理部也可以分体化。测定部具有试样室13、镜筒16、拍摄单元24等。信息处理部具有图像形成部40、显示器42、控制部44等。扫描电子显微镜10例如设置在写字台或桌子上。此外，y方向是第1水平方向，与其正交的x方向是第2水平方向。z方向是与x方向和y方向正交的垂直方向(竖直方向)。在试样室13中容纳作为观察对象的试样。具体来说，试样由试样保持器22保持。在图1中，用附图标记22a表示配置在试样室13内的试样保持器。镜筒16由电子枪、偏转扫描线圈、物镜等构成。由镜筒16形成电子束39，电子束39对试样进行照射。电子束39进行二维扫描。在图1中，省略了反射电子(backscatteredelectoron)检测器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种带电粒子束装置，其特征在于，/n包含：/n拍摄器，其对包含试样的对象物进行拍摄；/n多个发光器，其朝向上述对象物照射多个光束；以及/n光分布调整构件，其具备配置在上述对象物与上述多个发光器之间的多个光限制要素，/n各上述光束包含中央部分和在上述中央部分的外侧延展的周边部分，/n各上述光限制要素限制各上述光束的上述中央部分的强度。/n

【技术特征摘要】
20190315 JP 2019-0479491.一种带电粒子束装置，其特征在于，
包含：
拍摄器，其对包含试样的对象物进行拍摄；
多个发光器，其朝向上述对象物照射多个光束；以及
光分布调整构件，其具备配置在上述对象物与上述多个发光器之间的多个光限制要素，
各上述光束包含中央部分和在上述中央部分的外侧延展的周边部分，
各上述光限制要素限制各上述光束的上述中央部分的强度。


2.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述多个光限制要素配置在与上述多个发光器不接触且靠近上述多个发光器的位置。


3.根据权利要求1所述的带电粒子束装置，其特征在于，
上述光分布调整构件包含将上述多个光限制要素一体化的框架。


4.根据权利要求3所述的带电粒子束装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：村上雄大，根本佳和，
申请(专利权)人：日本电子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP