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本实用新型公开了一种显微镜，包括：电子光学镜筒，用于发射扫描电子束；样品台，用于放置样品；靶材，可移动的设置于所述电子光学镜筒和所述样品台之间；驱动机构，所述驱动机构驱动所述靶材在第一位置和第二位置移动，所述第一位置为所述电子束作用于所述样...
该专利属于聚束科技(北京)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过聚束科技(北京)有限公司授权不得商用。

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