【技术实现步骤摘要】
生成结果图像的方法
本专利技术涉及一种使用粒子束系统生成物体的结果图像的方法。特别地，本专利技术涉及基于使用粒子束系统沿不同扫描方向记录的多个图像来生成结果图像。例如，粒子束系统可以是电子束系统、离子束系统或其组合。
技术介绍
诸如电子束显微镜或离子束显微镜等粒子束系统可以被用于获得物体的图像。为此，由粒子束系统生成的一次粒子束在整个物体上扫描，并且检测由一次粒子束与物体的相互作用而生成的二次粒子。基于检测到的二次粒子，可以获得物体的图像。然而，用一次粒子束扫描物体可以引起物体带电。带电的物体影响一次粒子束和二次粒子。这种影响可以导致以下问题：所获得的图像包含由带电物体引起的带电伪影。如果物体包括低电导率部分或非导电区域，则这个问题可能是严重的。已知解决这个问题的几种不同方法。例如，可以通过更快的扫描、通过使用不同的一次粒子束能量以及通过使用电荷补偿来减少物体的带电。在其他方法中，仅检测具有特定动能的二次粒子并将其处理为图像。然而，由于信噪比低，这些已知技术可能降低所获得的图像的质量。...
【技术保护点】
1.一种使用粒子束系统(101，102)生成物体(1)的结果图像(37)的方法，该方法包括：/n使用生成一次粒子束(117，119)的粒子束系统(101，102)来记录该物体(1)的区域(33)的多个一次图像(11，17，23)，/n其中，每个一次图像(11，17，23)的记录包括使该一次粒子束(117，119)在该区域(33)上沿着扫描方向(10，16，22)扫描并且检测由此生成的二次粒子，/n其中，用于记录至少一对两个所述一次图像(11，17，23)的扫描方向(10，16，22)至少相差至少10°的第一阈值；以及/n基于所记录的多个一次图像(11，17，23)，生成表示...
【技术特征摘要】
20190325 DE 102019107566.11.一种使用粒子束系统(101，102)生成物体(1)的结果图像(37)的方法，该方法包括：
使用生成一次粒子束(117，119)的粒子束系统(101，102)来记录该物体(1)的区域(33)的多个一次图像(11，17，23)，
其中，每个一次图像(11，17，23)的记录包括使该一次粒子束(117，119)在该区域(33)上沿着扫描方向(10，16，22)扫描并且检测由此生成的二次粒子，
其中，用于记录至少一对两个所述一次图像(11，17，23)的扫描方向(10，16，22)至少相差至少10°的第一阈值；以及
基于所记录的多个一次图像(11，17，23)，生成表示该物体(1)的区域(33)的结果图像(37)。
2.根据权利要求1所述的方法，
其中，用于记录预定数量对两个所述一次图像(11，17，23)的扫描方向(10，16，22)至少相差该第一阈值，
其中，该预定数量为至少3或至少6或至少12或至少18或至少36或至少100或至少250。
3.根据权利要求1或2所述的方法，
其中，该第一阈值是20°或30°或80°或150°。
4.根据权利要求1至3之一所述的方法，
其中，用于记录至少一对两个这些一次图像(11，17，23)的这些扫描方向(10，16，22)中的一些是基本上彼此相反的。
5.根据权利要求1至4之一所述的方法，
其中，使用不同的扫描方向(10，16，22)来记录至少3个、至少4个...
【专利技术属性】
技术研发人员：L韩，
申请(专利权)人：卡尔蔡司显微镜有限责任公司，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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