温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及一种使用粒子束系统来生成物体(1)的结果图像(37)的方法。该方法包括使用粒子束系统来记录物体(1)的区域(33)的多个一次图像，其中，每个一次图像的记录包括使该一次粒子束在区域(33)上沿扫描方向扫描并且检测由此生成的二次粒子，...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。