曝光装置及曝光方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种曝光装置及曝光方法，曝光装置包括机架、第一曝光组件、第二曝光组件、监测组件和控制器，第一曝光组件和第二曝光组件均设在机架上，第一曝光组件和第二曝光组件之间形成曝光区；监测组件设在机架上，监测组件用于监测基板的位置；控制器与第一曝光组件、第二曝光组件和监测组件电性连接。曝光方法能够应用于前述的曝光装置。该曝光装置，基板通过曝光区时，第一曝光组件和第二曝光组件分别对基板的相对两侧进行曝光，实现双面曝光，曝光效率高；同时，监测组件实时监测基板的位置，控制器根据基板的实时位置及时调整第一曝光组件和第二曝光组件的曝光路径，以提高曝光精度。

【技术实现步骤摘要】
曝光装置及曝光方法
本专利技术涉及激光直写曝光
，特别是涉及一种曝光装置及曝光方法。
技术介绍
信息革命基于集成电路技术的发展，随着集成电路技术的不断发展和产品性能的飞速迭代，对集成电路板的需求也越来越旺盛。一方面，需要扩大集成电路的产能，另一方面，又要保证集成电路的产品性能，这就对集成电路板的制造商们提出了更高挑战。柔性电路板(FlexiblePrintedCircuit简称FPC)是以聚酰亚胺或聚酯薄膜为基材制成的一种具有高度可靠性、绝佳可挠性的印刷电路板，并具有配线密度高、重量轻、厚度薄、弯折性好等特点。柔性电路板作为集成电路的一个重要组成部分，最常见的就是覆盖在显示器屏幕的触摸屏。用户触摸时，触摸屏可以识别触摸点的位置、移动方向以及移动速度等信息，并将信号传递给处理器，实现用户与处理器的交互。然而，传统的柔性电路板曝光方式采用的是普通PCB板的曝光方式，也即，基板进料到固定区域后停止，随后进行识别和曝光，整个曝光过程效率极低，不仅曝光效率低，影响产能，而且曝光精度差，影响性能。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种曝光装置及曝光方法；该曝光装置曝光效率高，且曝光精度高；该曝光方法能够应用于前述的曝光装置，曝光精度高。其技术方案如下：一个实施例提供了一种曝光装置，包括：机架；第一曝光组件和第二曝光组件，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均设在所述机架上，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件之间形成曝光区；监测组件，所述监测组件设在所述机架上，所述监测组件用于监测基板的位置；及控制器，所述控制器与所述第一曝光组件、所述第二曝光组件和所述监测组件电性连接。上述曝光装置，基板通过曝光区时，第一曝光组件和第二曝光组件分别对基板的相对两侧进行曝光，实现双面曝光，曝光效率高；同时，监测组件实时监测基板的位置，控制器根据基板的实时位置及时调整第一曝光组件和第二曝光组件的曝光路径，以提高曝光精度。下面进一步对技术方案进行说明：在其中一个实施例中，所述机架包括底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板分别固定在所述底板的相对两端，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均设在所述第一侧板和所述第二侧板之间。在其中一个实施例中，所述第一曝光组件包括第一安装架和第一曝光引擎，所述第一安装架的两端分别与所述第一侧板和所述第二侧板固定，所述第一曝光引擎设在所述第一安装架上，所述第一曝光引擎设有至少一个并能够沿所述第一安装架移动，所述第一曝光引擎与所述控制器电性连接；所述第二曝光组件包括第二安装架和第二曝光引擎，所述第二安装架的两端分别与所述第一侧板和所述第二侧板固定，所述第二曝光引擎设在所述第二安装架上，所述第二曝光引擎设有至少一个并能够沿所述第二安装架移动，所述第二曝光引擎与所述控制器电性连接。在其中一个实施例中，所述第一曝光组件还包括第一支撑杆，所述第一支撑杆设有两个并分别固定在所述第一侧板和所述第二侧板上，所述第一安装架的两端分别与对应的所述第一支撑杆固定；所述第二曝光组件还包括第二支撑杆，所述第二支撑杆设有两个并分别固定在所述第一侧板和所述第二侧板，所述第二安装架的两端分别与对应的所述第二支撑杆固定。在其中一个实施例中，所述第一曝光组件还包括第三安装架和第三曝光引擎，所述第三安装架的两端分别与对应的所述第一支撑杆固定，所述第三安装架与所述第一安装架呈间隔设置，所述第三曝光引擎设在所述第三安装架上，所述第三曝光引擎设有至少一个并能够沿所述第三安装架移动，所述第三曝光引擎与所述控制器电性连接；所述第二曝光组件还包括第四安装架和第四曝光引擎，所述第四安装架的两端分别与对应的所述第二支撑杆固定，所述第四安装架与所述第二安装架呈间隔设置，所述第四曝光引擎设在所述第四安装架上，所述第四曝光引擎设有至少一个并能够沿所述第四安装架移动，所述第四曝光引擎与所述控制器电性连接。在其中一个实施例中，所述曝光区包括第一区域，所述第一区域与所述第一曝光引擎和所述第二曝光引擎的曝光范围对应，所述监测组件包括第一监测件和第二监测件，所述第一监测件和所述第二监测件均与所述控制器电性连接并用于对所述基板在所述第一区域内的位置进行监测；所述曝光区还包括第二区域，所述第二区域与所述第三曝光引擎和所述第四曝光引擎的曝光范围对应，所述监测组件还包括第三监测件和第四监测件，所述第三监测件和所述第四监测件均与所述控制器电性连接并用于对所述基板在所述第二区域内的位置进行监测。在其中一个实施例中，所述第一监测件和所述第二监测件均设有至少两个；所述第三监测件和所述第四监测件均设有至少两个。在其中一个实施例中，所述曝光装置还包括滚动组件，所述滚动组件设在所述机架上，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件分别位于所述滚动组件的相对两侧；所述滚动组件包括第一滚轮和第二滚轮，所述第一滚轮和所述第二滚轮沿所述基板的移动方向呈间隔转动设在所述机架上。另一个实施例提供了一种曝光方法，包括以下步骤：监测基板的第一位置信息；根据所述第一位置信息调整第一原始曝光信息，并得到第一曝光信息；根据所述第一曝光信息对所述基板进行曝光。上述曝光方法，根据基板的第一位置信息及时调整第一原始曝光信息，以使第一曝光信息与当前基板的位置相匹配，从而避免由于基板偏移或波动导致曝光精度差的问题，提高曝光精度。下面进一步对技术方案进行说明：在其中一个实施例中，在根据所述第一曝光信息对所述基板进行曝光的步骤之后，还包括以下步骤：监测所述基板的第二位置信息；根据所述第二位置信息调整第二原始曝光信息，并得到第二曝光信息；根据所述第二曝光信息对所述基板进行曝光。附图说明构成本申请的一部分的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为一个实施例中曝光装置的整体结构示意图；图2为图1实施例中曝光装置的整体结构正视图；图3为图1实施例中曝光装置的右侧结构示意图；图4为图1实施例中曝光装置的前侧结构示意图；图5为图1实施例中曝光装置的曝光轨迹示意图；图6为一个实施例中曝光方法的执行流程示意图。附图标注说明：100、机架；210、第一曝光组件；211、第一安装架；212、第一曝光引擎；213、第三安装架；214、第三曝光引擎；215、第一支撑杆；220、第二曝光组件；221、第二安装架；222、第二曝光引擎；223、第四安装架；224、第四曝光引擎；225、第二支撑杆；311、第一监测件；312、第二监测件；本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种曝光装置，其特征在于，包括：/n机架；/n第一曝光组件和第二曝光组件，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均设在所述机架上，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件之间形成曝光区；/n监测组件，所述监测组件设在所述机架上，所述监测组件用于监测基板的位置；及/n控制器，所述控制器与所述第一曝光组件、所述第二曝光组件和所述监测组件电性连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种曝光装置，其特征在于，包括：
机架；
第一曝光组件和第二曝光组件，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均设在所述机架上，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件之间形成曝光区；
监测组件，所述监测组件设在所述机架上，所述监测组件用于监测基板的位置；及
控制器，所述控制器与所述第一曝光组件、所述第二曝光组件和所述监测组件电性连接。


2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述机架包括底板、第一侧板和第二侧板，所述第一侧板和所述第二侧板分别固定在所述底板的相对两端，所述第一曝光组件和所述第二曝光组件均设在所述第一侧板和所述第二侧板之间。


3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述第一曝光组件包括第一安装架和第一曝光引擎，所述第一安装架的两端分别与所述第一侧板和所述第二侧板固定，所述第一曝光引擎设在所述第一安装架上，所述第一曝光引擎设有至少一个并能够沿所述第一安装架移动，所述第一曝光引擎与所述控制器电性连接；
所述第二曝光组件包括第二安装架和第二曝光引擎，所述第二安装架的两端分别与所述第一侧板和所述第二侧板固定，所述第二曝光引擎设在所述第二安装架上，所述第二曝光引擎设有至少一个并能够沿所述第二安装架移动，所述第二曝光引擎与所述控制器电性连接。


4.根据权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，所述第一曝光组件还包括第一支撑杆，所述第一支撑杆设有两个并分别固定在所述第一侧板和所述第二侧板上，所述第一安装架的两端分别与对应的所述第一支撑杆固定；
所述第二曝光组件还包括第二支撑杆，所述第二支撑杆设有两个并分别固定在所述第一侧板和所述第二侧板，所述第二安装架的两端分别与对应的所述第二支撑杆固定。


5.根据权利要求4所述的曝光装置，其特征在于，所述第一曝光组件还包括第三安装架和第三曝光引擎，所述第三安装架的两端分别与对应的所述第一支撑杆固定，所述第三安装架与所述第一安装架呈间隔设置，所述第三曝光引擎设在所述第三安装架上，所述第三曝光引擎设有至少一个并能够沿所述第三安装架移动，所述第三曝光引...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱天宇，杜卫冲，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44