下载曝光装置及曝光方法的技术资料

文档序号:26416875

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本发明公开了一种曝光装置及曝光方法,曝光装置包括机架、第一曝光组件、第二曝光组件、监测组件和控制器,第一曝光组件和第二曝光组件均设在机架上,第一曝光组件和第二曝光组件之间形成曝光区;监测组件设在机架上,监测组件用于监测基板的位置;控制器与第...
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