曝光装置、曝光方法、平面显示器的制造方法、及元件制造方法制造方法及图纸

曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(32)以非接触方式支承的基板(P)；Y线性致动器(62)及Y音圈马达(64)，使基板载具(40)在Y轴方向相对非接触保持具(32)相对移动；X音圈马达(66)，使基板载具(40)在X轴方向移动；以及致动器，使非接触保持具(32)在X轴方向移动。

【技术实现步骤摘要】
曝光装置、曝光方法、平面显示器的制造方法、及元件制造方法本专利技术为申请日为2016年9月29日，申请号为“201680057222.4”，专利技术名称为“曝光装置、曝光方法、平面显示器的制造方法、及元件制造方法”的专利技术专利的分案申请。
本专利技术关于曝光装置、曝光方法、平面显示器的制造方法、及元件制造方法。
技术介绍
以往，在制造液晶显示元件、半导体元件(集成电路等)等之电子元件(微型元件)之微影制程中，使用步进扫描方式之曝光装置(所谓扫描步进机(亦称为扫描机))等，其一边使光罩(photomask)或标线片(以下总称为「光罩」)与玻璃板或晶圆(以下总称为「基板」)沿着既定扫描方向同步移动，一边使用能量光束将形成在光罩之图案转印至基板上。作为此种曝光装置，已知有为了将基板高速且高精度地定位，将保持基板之基板保持具往水平面内之三自由度方向(扫描方向、交叉扫描方向、以及水名片内之旋转方向)微幅驱动者(参照例如专利文献1)。此处，随着近年基板大型化，基板保持具亦大型化且变重，而有难以进行基板之定位控制的倾向。先行技术文献[专利文献1]美国专利申请公开第2010/0266961号说明书
技术实现思路
根据本专利技术之第1技术方案，提供一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其具备：第1支承部，将前述多个区域中之第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置之第2区域之至少一部分区域以非接触方式支承；保持部，在与前述第1方向交叉之第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体；以及第1驱动部，在前述第2方向与前述第1支承部分离配置，以前述第2区域之另一部分之区域被前述第1支承部支承之方式，将保持前述物体之前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动。根据本专利技术之第2技术方案，提供一种曝光装置，将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光往第1方向移动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其具备：第1支承部，以非接触方式支承前述多个区域中之至少第1区域；保持部，保持被前述支承部以非接触方式支承之前述物体；第2驱动系，将前述保持部，以前述第1区域之一部分在前述第1方向及与前述第1方向交叉之第2方向之一方向脱离前述支承部之方式相对前述支承部驱动；以及第2驱动系，将前述支承部往另一方向驱动。根据本专利技术之第3技术方案，提供一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以扫描曝光前述物体，其具备：第1支承部，以非接触方式支承前述物体之大致整体；保持部，保持被前述支承部以非接触方式支承之前述物体；以及驱动部，将前述保持部相对前述第1支承部驱动；前述驱动部，将保持被前述第1支承部以非接触方式支承大致整体之前述物体的前述保持部，以前述物体之一部分从前述第1支承部脱离之方式，相对前述物体中之被照射前述照明光之区域予以驱动。根据本专利技术之第4技术方案，提供一种平面显示器之制造方法，其包含：使用第1至第3态样之任一曝光装置使前述物体曝光之动作；以及使曝光后之前述物体显影之动作。根据本专利技术之第5技术方案，提供一种元件制造方法，其包含：使用第1至第3态样之任一曝光装置使前述物体曝光之动作；以及使曝光后之前述物体显影之动作。根据本专利技术之第6技术方案，提供一种曝光方法，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其包含：借助第1支承部以非接触方式支承前述多个区域中之第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置之第2区域之至少一部分区域的动作；借助保持部在与前述第1方向交叉之第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的物体的动作；以及借助在前述第2方向与前述第1支承部分离配置之第1驱动部，以前述第2区域之另一部分之区域被前述第1支承部支承之方式，将保持前述物体之前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动的动作。根据本专利技术之第7技术方案，提供一种曝光方法，将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光往第1方向移动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其包含：借助第1支承部以非接触方式支承前述多个区域中之至少第1区域的动作；借助保持部保持被前述支承部以非接触方式支承之前述物体的动作；将前述保持部，以前述第1区域之一部分在前述第1方向及与前述第1方向交叉之第2方向之一方向脱离前述支承部之方式相对前述支承部驱动的动作；以及将前述支承部往另一方向驱动的动作。根据本专利技术之第8技术方案，提供一种曝光方法，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以扫描曝光前述物体，其包含：借助第1支承部以非接触方式支承前述物体之大致整体的动作；借助保持部保持被前述第1支承部以非接触方式支承之前述物体的动作；以及将前述保持部相对前述第1支承部相对驱动的动作；前述相对驱动之动作，将保持被前述第1支承部以非接触方式支承大致整体之前述物体的前述保持部，以前述物体之一部分从前述第1支承部脱离之方式，相对前述物体中之被照射前述照明光之区域予以驱动。附图说明图1是概略显示第1实施方式之液晶曝光装置构成的图。图2是显示图1之A－A线剖面图。图3是显示图1之液晶曝光装置所具备之基板载台装置之详细的图。图4是基板载台装置之要部放大图。图5是图1之液晶曝光装置所具备之基板位置测量系之概念图。图6是显示以液晶曝光装置之控制系为中心构成之主控制装置之输出入关系的方块图。图7(a)及图7(b)是用以说明在曝光动作时之基板载台装置之动作(其1)的图(分别为俯视图及前视图)。图8(a)及图8(b)是用以说明在曝光动作时之基板载台装置之动作(其2)的图(分别为俯视图及前视图)。图9(a)及图9(b)是用以说明在曝光动作时之基板载台装置之动作(其3)的图(分别为俯视图及前视图)。图10(a)及图10(b)是显示第1实施方式之第1变形例之基板载具的图(分别为俯视图及前视图)。图11是显示第1实施方式之第2变形例之基板载台装置的图。图12(a)是第2变形例之基板载具的俯视图，图12(b)是第2变形例之基板平台之俯视图。图13(a)及图13(b)是显示第1实施方式之第3变形例之基板载台装置的图(分别为俯视图及剖面图)。图14是显示第2实施方式之基板载台装置的图。图15(a)及图15(b)是显示图14之基板载台装置所具有之Y导杆、重量消除装置等的图(分别为俯视图及侧视图)。图16(a)及图16(b)是显示图14之基板载台装置所具有之底框、粗动载台等的图(分别为俯视图及侧视图)。图17(a)及图17(b)是显示图14之基板载台装置所具有之非接触保持具、辅助平台等的图(分别为俯视图及侧视图)。图18(a)及图18(b)是显示图14之基板载台装置所具有之基板载具等的图(分别为俯视图及侧视图)。...

【技术保护点】
1.一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其特征在于，具备：/n第1支承部，将前述多个区域中的第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；/n保持部，在与前述第1方向交叉的第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体；以及/n第1驱动部，在前述第2方向与前述第1支承部分离配置，以前述第2区域的另一部分的区域被前述第1支承部支承的方式，将保持前述物体的前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动。/n

【技术特征摘要】
20150930 JP 2015-1927941.一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其特征在于，具备：
第1支承部，将前述多个区域中的第1区域与在第1方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；
保持部，在与前述第1方向交叉的第2方向不与前述第1支承部重叠的位置保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体；以及
第1驱动部，在前述第2方向与前述第1支承部分离配置，以前述第2区域的另一部分的区域被前述第1支承部支承的方式，将保持前述物体的前述保持部相对前述第1支承部往前述第1方向驱动。


2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，前述第1支承部具有能支承前述物体的大致整体的大小；
进一步具备：控制部，将前述第1驱动部控制成能切换前述物体的大致整体被前述第1支承部以非接触方式支承的第1状态、与借助前述第1驱动部的驱动使前述物体的一部分从前述第1支承部脱离而前述物体的另一部分被前述第1支承部以非接触方式支承的第2状态。


3.如权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，前述控制部在前述扫描曝光时与前述扫描曝光以外时，进行前述第1状态与前述第2状态的切换。


4.如权利要求3所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：标记检测部，进行检测前述物体所具有的多个标记的标记检测动作；
前述控制部，将前述第1驱动部控制成在前述标记检测动作时成为前述第1状态。


5.如权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：第2驱动部，将前述支承部往前述第2方向驱动；
前述第1及2驱动部在前述扫描曝光时，将前述保持部与前述第1支承部分别往前述第2方向驱动。


6.如权利要求1至5中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：第2驱动部，将前述第1支承部往前述第2方向驱动；
前述第2驱动部在前述扫描曝光时将前述保持部往前述第1方向驱动；
前述第1及前述第2驱动部将前述保持部与前述第1支承部分别往前述第2驱动部驱动，变更进行前述扫描曝光的前述物体内的区域。


7.一种曝光装置，将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光往第1方向移动以分别扫描曝光前述物体的多个区域，其特征在于，具备：
第1支承部，以非接触方式支承前述多个区域中的至少第1区域；
保持部，保持被前述支承部以非接触方式支承的前述物体；
第2驱动系，将前述保持部以前述第1区域的一部分在前述第1方向及与前述第1方向交叉的第2方向中的一方向脱离前述支承部的方式相对前述支承部驱动；以及
第2驱动系，将前述支承部往另一方向驱动。


8.一种曝光装置，通过光学系将照明光照射于物体，将前述物体相对前述照明光驱动以扫描曝光前述物体，其特征在于，具备：
第1支承部，以非接触方式支承前述物体的大致整体；
保持部，保持被前述第1支承部以非接触方式支承的前述物体；以及
驱动部，将前述保持部相对前述第1支承部驱动；
前述驱动部将保持被前述第1支承部以非接触方式支承大致整体的前述物体的前述保持部，以前述物体的一部分从前述第1支承部脱离的方式，相对前述物体中的被照射前述照明光的区域予以驱动。


9.如权利要求1至8中任一项所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备：第2支承部，支承前述物体中被前述第1支承部支承的区域以外的区域。


10.如权利要求1至9中任一项所述的曝光装置，其特征在于，前述保持部由一对第1构件与设于前述第1构件上的一对第2构件构成；
前述第1构件设于在上下方向比前述支承部低的位置。


11.如权利要求10所述的曝光装置，其特征在于，进一步具备求出在前述第1及第2方向的前述保持部的位置信息的编码器系统，构成前述编码器系统的读头及标尺的至少一方设于前述保持部。


12.如权利要求11所述的曝光装置，其特征在于，前述读头及标尺的一方设于前述第2构件。


13.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：青木保夫，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP