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曝光装置的基板载台装置(20)具备：非接触保持具(32)，将基板(P)的第1区域及在Y轴方向与前述第1区域排列设置的第2区域的至少一部分区域以非接触方式支承；基板载具(40)，在X轴方向不与非接触保持具(32)重叠的位置保持被非接触保持具(...
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