光刻用照光装置及自动调整其照度的方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种光刻用照光装置及自动调整其照度的方法，所述装置包含：用于发出光线的一光投射单元、用于驱动所述光投射单元的一驱动单元、用于反射所述光线的一反射镜、用于感测所述反射镜上一光强度的一光感测器及用于根据所述光强度控制所述驱动装置移动所述光投射单元的一控制器。所述方法通过在所述驱动单元驱动所述光投射单元的X轴、Y轴及Z轴方向上移动所述光投射单元，根据感测所述反射镜上的一定点处的光强度，得出所述光投射单元的一最佳位置。

【技术实现步骤摘要】
光刻用照光装置及自动调整其照度的方法
本专利技术涉及光刻制程领域，尤其涉及一种光刻用照光装置及自动调整其照度的方法。
技术介绍
随着市场对面板分辨率的要求越来越高，薄膜晶体管(TFT)须越来越小以便兼顾高开口率及低功耗。因此对光刻制程的要求也日益提高。光刻制程对光线的照度均一性及能量强度要求甚高。其中输出的照度越大，则用于光刻的能量越强，曝光速度也相应地加快。为了获得最大的照度输出，须将光源发出的光线的最亮位置(最大照度输出点)用于所述光刻制程。在现有光刻用灯箱中，更换新光源后须手动调整光源的位置以获得最大照度输出。且光源被使用一段时间后，其最大照度输出点会逐渐改变，因此需要反复手动调整光源的位置，造成人力与时间的浪费。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术提供了一种光刻用照光装置及自动调整其照度的方法。根据本专利技术的一个方面，提供了一种光刻用照光装置,所述光刻用照光装置包含︰一光投射单元，包含一发光器件；一驱动单元，与所述光投射单元相连接，以移动所述光投射单元；一反射镜，所述反射镜设置于所述光投射单元的光投射路径上，以将所述光投射单元发出的光反射向光刻制程的一目标物，及为所述光感测器提供感测的一定点；一光感测器，在所述反射镜上，且用以感测所述光投射单元所发出的光于所述反射镜上的所述定点的光强度；及一控制器，用于接收所述光感测器所感测到的至少一光强度资讯，并根据所述至少一光强度资讯以指示所述驱动单元移动所述光投射单元。根据本专利技术的一些实施例，所述控制器是通过比对所述光投射单元的位置及所述定点的光强度，得出所述光投射单元的一最佳位置，当所述光投射单元位于所述最佳位置时，所述定点的光强度为最强。根据本专利技术的一些实施例，所述驱动单元包含数个驱动器，所述数个驱动器中的每一个分别能够在X轴、Y轴或Z轴中的一个轴的方向上移动所述光投射单元。根据本专利技术的一些实施例，所述控制器用以储存所述光投射单元的多笔位置资讯及所述光感测器所测得的多笔光强度资讯，并根据所述多笔位置资讯及与所述多笔位置资讯分别相对应的所述光强度资讯，建构一位置与光强度的三维对应分布表，并依据所述位置与光强度的三维对应分布表指示所述驱动单元移动所述光投射单元。根据本专利技术的一些实施例，所述光投射单元是以数个丝杆与所述数个驱动器相连接。根据本专利技术的一些实施例，所述光投射单元包含一椭圆凹面镜，所述椭圆凹面镜用以指向化并聚焦所述光投射单元发出的光。根据本专利技术的另一个方面，提供了一种自动调整一光刻用照光装置照度的方法，包括步骤：提供一光刻用照光装置步骤，所述光刻用照光装置包含：一光投射单元、一驱动单元、一反射镜、一光感测器及一控制器；发出光线步骤，启动所述光投射单元，持续发出光线；反射光线步骤，以所述反射镜持续将所述光线反射向光刻制程的一目标物；移动光投射单元及感测步骤，以所述控制器指示所述驱动单元在所述驱动单元对应的数个轴向中的一轴向上移动所述光投射单元，在移动光投射单元的过程中以所述光感测器持续感测所述光线于反射镜上的一定点的光强度，并以所述控制器接收所述光强度资讯；在所述驱动单元对应的数个轴向中的每一个上执行移动光投射单元及感测步骤；处理资讯步骤，以所述控制器处理接收到的所述光强度资讯及控制器本身所具有的光投射单元位置资讯；及定位所述光投射单元步骤，以所述控制器，根据所述控制器处理资讯的结果，指示所述驱动单元移动所述光投射单元。根据本专利技术的一些实施例，所述处理资讯步骤包括：挑选一维座标步骤，以所述控制器将所述位置资讯与时间点相对应的光强度资讯配对，并将形成的所述数个配对互相比较，挑选出光强度为最大值时光投射单元在所述移动轴向上的对应一维座标资讯；重复挑选步骤，在所述驱动单元可移动所述光投射单元的所有轴向中的每一个上各个执行一次挑选一维座标步骤；及结合一维座标步骤，所述控制器将得到的数个所述最大光强度一维座标结合为一个最大光强度多维座标，并以所述最大光强度多维座标作为所述控制器处理资讯的结果。根据本专利技术的一些实施例，在所述驱动单元对应的数个轴向中的每一个上执行移动光投射单元及感测步骤包括在X轴、Y轴及Z轴上执行移动光投射单元及感测步骤。根据本专利技术的一些实施例，所述处理资讯步骤包括：建构三维分布步骤，以控制器储存所述光投射单元的多笔位置资讯及所述光感测器所测得的多笔光强度资讯，并根据所储存的所述多笔位置资讯及与所述多笔位置资讯分别相对应的所述光强度资讯，建构位置与光强度的三维对应分布表，并以所述分布表中光强度最大点的座标作为所述控制器处理资讯的结果。本专利技术通过比对所述光投射单元的位置及所述光感测器所测得的所述光投射单元所发出的光于反射镜上的所述定点的强度，得出所述光投射单元的一最佳位置，当所述光投射单元位于所述最佳位置时，所述定点的光强度为最强。附图说明图1是本专利技术的实施例的一光刻用照光装置的结构示意图；图2是本专利技术的实施例的一种自动调整一光刻用照光装置照度的方法的流程图。图3是本专利技术的实施例的光投射单元所发出的光线在A-B平面上的光强度分布示意图。图4是本专利技术的实施例的光投射单元所发出的光线构成的光亮区域与平行于A轴的割线及所述割线通过圆心的垂线的位置关系示意图。图5是本专利技术的实施例在图4中平行于A轴的割线上不同位置的光强度示意图。图6是本专利技术的实施例的反射镜上的光亮区域及其圆心，与所述圆上的数个割线及所述数个割线的垂线的关系示意图。图7是本专利技术的实施例的光投射单元发出的光线射向反射镜时沿Z轴方向的路径及焦点位置的示意图。具体实施方式下文将结合本专利技术的实施例的附图，对本专利技术的实施例中的技术方案进行完整的描述。应了解的是，下文所描述的实施例仅是本专利技术的一部分实施例，而非本专利技术的全部实施例。且应被了解的是，本领域的技术人员基于本专利技术中的实施例，在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。请参阅图1，图1是本专利技术的实施例的光刻用照光装置的结构示意图。所述装置包含：一光投射单元10、一驱动单元20、一反射镜30、一光感测器40及一控制器50。所述光投射单元10与所述驱动单元20相连接，使所述驱动单元20能够移动所述光投射单元10。所述光投射单元10包含：所发出的光线可用于光刻制程的一非定向发光器件11及用于将所述非定向发光器件11所发出的光线聚焦并定向化的一椭圆凹面镜12。替代地，所述光投射单元10可以是能够发出定向并经聚焦的光线的一发光器件。所述驱动单元20用以移动所述光投射单元10，所述驱动单元20可以包含数个驱动器21。可选地，所述光投射单元是以分别以丝杆22与所述数个驱动器21中的每一个相连接。优选地，所述数个驱动器21中的每一个分别能够在X轴、Y轴或Z轴中的一个轴的方向上移动所述光投射单元，亦即，所述数个驱动器21中的每一个分别对应X轴、Y轴及Z轴中本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻用照光装置，其特征在于：所述光刻用照光装置包含︰/n一光投射单元，包含一发光器件；/n一驱动单元，与所述光投射单元相连接，以移动所述光投射单元；/n一反射镜，所述反射镜设置于所述光投射单元的光投射路径上，以将所述光投射单元发出的光反射向光刻制程的一目标物，及为所述光感测器提供感测的一定点；/n一光感测器，在所述反射镜上，且用以感测所述光投射单元所发出的光于所述反射镜上的所述定点的光强度；及/n一控制器，用于接收所述光感测器所感测到的至少一光强度资讯，并根据所述至少一光强度资讯以指示所述驱动单元移动所述光投射单元。/n

【技术特征摘要】
1.一种光刻用照光装置，其特征在于：所述光刻用照光装置包含︰
一光投射单元，包含一发光器件；
一驱动单元，与所述光投射单元相连接，以移动所述光投射单元；
一反射镜，所述反射镜设置于所述光投射单元的光投射路径上，以将所述光投射单元发出的光反射向光刻制程的一目标物，及为所述光感测器提供感测的一定点；
一光感测器，在所述反射镜上，且用以感测所述光投射单元所发出的光于所述反射镜上的所述定点的光强度；及
一控制器，用于接收所述光感测器所感测到的至少一光强度资讯，并根据所述至少一光强度资讯以指示所述驱动单元移动所述光投射单元。


2.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述控制器是通过比对所述光投射单元的位置及所述定点的光强度，得出所述光投射单元的一最佳位置，当所述光投射单元位于所述最佳位置时，所述定点的光强度为最强。


3.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述驱动单元包含数个驱动器，所述数个驱动器中的每一个分别能够在X轴、Y轴或Z轴中的一个轴的方向上移动所述光投射单元。


4.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述控制器用以储存所述光投射单元的多笔位置资讯及所述光感测器所测得的多笔光强度资讯，并根据所述多笔位置资讯及与所述多笔位置资讯分别相对应的所述光强度资讯，建构一位置与光强度的三维对应分布表，并依据所述位置与光强度的三维对应分布表指示所述驱动单元移动所述光投射单元。


5.如权利要求3所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述光投射单元是以数个丝杆与所述数个驱动器相连接。


6.如权利要求1所述的光刻用照光装置，其特征在于：所述光投射单元包含一椭圆凹面镜，所述椭圆凹面镜用以指向化并聚焦所述光投射单元发出的光。


7.一种自动调整一光刻用照光装置照度的方法，其特征在于，包括步骤：
提供一光刻用照光装置步骤，所述光刻用照光装置包含：一光投射单元、一驱动单元、一...

【专利技术属性】
技术研发人员：王坦，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44