一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法技术

本发明专利技术实施例公开了一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机，包括曝光机基座，还包括设置在曝光机基座上用于对感光板曝光的上面进行曝光的上端曝光引擎系统、设置在曝光机基座上用于对感光板曝光另一面进行曝光的下端引擎曝光系统、设置在曝光机基座上用于夹持感光板运动至曝光区域的双工作台载板机构，以及引擎、双工作台、视觉系统标定机构，保证系统曝光图形精度；由于无需像传统双面曝光机的玻璃夹板机构，与感光板面无接触，极大地提高了曝光良率。外层感光板曝光流程，不需翻板对位流程，一次对位同时进行正反两面同时曝光；内层感光板曝光流程，不需打标和翻板对位流程，同时进行正反两面同时曝光。

【技术实现步骤摘要】
一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法
本专利技术实施例涉及数字化直写曝光
，具体涉及一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法。
技术介绍
传统的双面曝光机，通常采用菲林转印的手段进行双面感光板的曝光。在曝光前需要先制作待转印图案的菲林，然后将带有两面图案的菲林分别固定在上下两面玻璃上，接着将待转印图案的感光板夹在上下两块玻璃之间，使用蓝紫色高亮度光源进行曝光，将线路图案转印到线路板上，完成双面曝光。该双面曝光方法，不仅工序繁琐，而且对线路板正反两面图形的涨缩和偏位不能智能化管控，对曝光的线路质量有不好的影响。直写是图形光刻的主要技术之一，它利用强度可变的光源对基片表面的抗蚀材料实施变剂量曝光，显影后便在抗蚀层表面形成要求的浮雕轮廓。直写是把计算机控制与微细加工技术相结合，为图形光刻方法提供了极大的灵活性，制作精度可以达到亚微米量级。对于双面图案的曝光，直写曝光机通常采用单面曝光。先对感光板的其中一面进行曝光，待曝光完成后翻转感光板，然后再对感光板的另一面进行曝光，最后完成对感光板的双面曝光。因此在直写曝光机进行双面曝光工作时，需进行翻转操作，而翻转操作必然会产生翻转后需要对感光板进行对位的问题，不仅增加了曝光流程，同时也会因对位精度问题影响图形曝光精度，进而影响到最终的产品质量，并且直写双面曝光机采用单载板机构以及玻璃盒载板会导致曝光效率低和良率低。
技术实现思路
为此，本专利技术实施例提供一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法，以解决现有技术中由于一般直写曝光机只能一次对感光板进行单面曝光而导致的翻转后需要重新对位及双面接触曝光进而影响到曝光上下图形对位精度和曝光效率的问题。为了实现上述目的，本专利技术实施例提供如下技术方案：根据本专利技术实施例的第一方面，一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机，包括曝光机基座，还包括设置在曝光机基座上用于对感光板的一面进行曝光的上端曝光引擎系统、设置在曝光机基座上用于对感光板另一面进行曝光的下端引擎曝光系统、用于夹持感光板的夹板机构、设置在曝光机基座上用于供夹板机构夹持感光板运动至上端曝光引擎系统位置以及下端引擎曝光系统位置的载板机构，还包括用于标定上下端引擎曝光系统位置的载板机构及视觉系统的标定机构。进一步地，所述载板机构设置为两个，两个所述载板机构分别设置在曝光面的两侧。进一步地，还包括有用于对感光板进行标记图形对位的对位机构。进一步地，所述上端曝光引擎系统包括用于对感光板进行曝光操作的上端曝光组件以及沿曝光机基座的宽度方向上设置的上端曝光引擎组件运动X轴，所述上端曝光引擎组件运动X轴用于供上端曝光组件沿曝光机基座的宽度方向进行运动。进一步地，每个所述夹板机构沿曝光机基座的高度方向上设置有用于夹板机构调节高度的Z轴。进一步地，还包括实时调焦系统，所述实时调焦系统包括设置在对位机构和上端曝光引擎系统上的测距传感器。进一步地，所述标定机构设置在上端曝光引擎系统和下端曝光引擎系统之间，所述标定系统包括在X方向运动的运动机构和视觉系统。根据本专利技术实施例的第二方面，一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机的内层PCB曝光方法，将曝光机按功能分为用于进行上板和对位工序的一号工位、用于等待上板的二号工位、用于对感光板进行曝光工序的三号工位和用于执行卸板工序的四号工位，包括以下步骤第一步：上端载板机构在一号工位上板位置进行上板工序，下端载板机构在一号工位下方等待；第二步：上端载板机构上板后，上端载板机构在曝光焦面开始执行曝光工序，当上端载板机构移开一号工位到达二号工位后，下端载板机构上升到一号工位上板位置执行上板工序，等待上端载板机构完成曝光工序；第三步：上端载板机构完成曝光工序后，在四号工位执行卸板工序，然后上升到四号工位上方，同时下端载板机构执行曝光工序；第四步：上端载板机构执行回程工序，到达一号工位上方后，下降到一号工位上板位置执行上板工序，等待下端载板机构完成曝光工序；第五步：下端载板机构完成曝光工序后，在四号工位执行卸板工序，然后下降到四号工位下方，执行回程工序，同时上端载板机构执行曝光工序；第六步：返回第三步开始执行。根据本专利技术实施例的第三方面，一种新型双面数字化直写曝光机的外层PCB曝光方法，将曝光机按功能分为用于进行上板和对位工序的一号工位、用于等待上板的二号工位、用于对感光板进行曝光工序的三号工位和用于执行卸板工序的四号工位，包括以下步骤第一步：上端载板机构在一号工位的上板位置进行上板工序，下端载板机构在一号工位下方等待；第二步：上端载板机构上板后，执行对位工序，控制对位组件对感光板进行对位，当上端载板机构移开一号工位到达二号工位后，下端载板机构上升至一号工位上板位置执行上板工序；第三步：上端载板机构离开二号工位后，到达三号工位曝光工序，执行曝光工序，上端曝光引擎系统和下方曝光引擎系统同时工作对上端载板机构上的感光板进行曝光工序，此时下端载板机构执行对位工序，并在二号工位等待上端载板机构完成曝光工序；第四步：上端载板机构曝光完成后，载板机构执行卸载感光板工序，并上升到四号工位曝光面上方，同时下端载板机构移动到三号工位曝光面上，执行曝光工序；第五步：上端载板机构在曝光面上方后开始执行回程工序，上端载板机构到达一号工位上板位置上方后下降到一号工位上板位置，执行上板和对位工序，完成对位后等待下端载板机构完成曝光工序；第六步：下端载板机构在完成曝光工序后，在四号工位执行卸载感光板工序，并且下降到四号工位的曝光面下方，上端载板机构开始执行曝光工序，同时下端载板机构执行回程工序，下端载板机构在到达一号工位上板位置的下方后，上升到一号工位上板位置，执行上板和对位工序，等待上端载板机构完成曝光工序；第七步：返回第三步开始执行。本专利技术实施例具有如下优点：该曝光机的曝光流程，可以实现对位和曝光同时在不同的两张感光板上进行，优化了数字化直写曝光的节拍，节约了时间，提高生产效率；内层感光板曝光流程，可以省略打标和翻板对位流程，同时进行正反两面同时曝光，可以大大提高内层感光板的生产效率和产品的精度，根据具体设计上板位置可以调节与曝光焦面在同一高度，也可以不同。附图说明为了更清楚地说明本专利技术的实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是示例性的，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图引伸获得其它的实施附图。本说明书所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本专利技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。图1为本专利技术实施例提供的一种新本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机，包括曝光机基座(101)，其特征是：还包括设置在曝光机基座(101)上用于对感光板(114)的一面进行曝光的上端曝光引擎系统(102)、设置在曝光机基座(101)上用于对感光板(114)另一面进行曝光的下端引擎曝光系统、用于夹持感光板(114)的夹板机构、设置在曝光机基座(101)上用于供夹板机构夹持感光板(114)运动至上端曝光引擎系统(102)位置以及下端引擎曝光系统位置的载板机构，还包括用于标定上下端引擎曝光系统位置的载板机构及视觉系统的标定机构。/n

【技术特征摘要】
1.一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机，包括曝光机基座(101)，其特征是：还包括设置在曝光机基座(101)上用于对感光板(114)的一面进行曝光的上端曝光引擎系统(102)、设置在曝光机基座(101)上用于对感光板(114)另一面进行曝光的下端引擎曝光系统、用于夹持感光板(114)的夹板机构、设置在曝光机基座(101)上用于供夹板机构夹持感光板(114)运动至上端曝光引擎系统(102)位置以及下端引擎曝光系统位置的载板机构，还包括用于标定上下端引擎曝光系统位置的载板机构及视觉系统的标定机构。


2.根据权利要求1所述的一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法，其特征是：所述载板机构设置为两个，两个所述载板机构分别设置在曝光面的两侧。


3.根据权利要求1所述的一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法，其特征是：还包括有用于对感光板(114)进行标记图形对位的对位机构(108)。


4.根据权利要求1所述的一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法，其特征是：所述上端曝光引擎系统(102)包括用于对感光板(114)进行曝光操作的上端曝光组件以及沿曝光机基座(101)的宽度方向上设置的上端曝光引擎组件运动X轴，所述上端曝光引擎组件运动X轴用于供上端曝光组件沿曝光机基座(101)的宽度方向进行运动。


5.根据权利要求1所述的一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法，其特征是：每个所述夹板机构沿曝光机基座(101)的高度方向上设置有用于夹板机构调节高度的Z轴。


6.根据权利要求1所述的一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法，其特征是：所述标定机构设置在上端曝光引擎系统和下端曝光引擎系统之间，所述标定系统包括在X方向运动的运动机构(601)和视觉系统(603)。


7.根据权利要求3所述的一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法，其特征是：还包括实时调焦系统系统，所述实时调焦系统系统包括设置在对位机构(108)和上端曝光引擎系统(102)上的测距传感器。


8.一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机的内层PCB曝光方法，将曝光机按功能分为用于进行上板和对位工序的一号工位(206)、用于等待上板的二号工位(205)、用于对感光板(114)进行曝光工序的三号工位(204)和用于执行卸板工序的四号工位(203)，其特征是：包括以下步骤
第一步：上端载板机构(105)在一号工位(206)上板位置进行上板工序，下端载板机构(109)在一号工位(206)下方等待位置等待；
第二步：上端载板机构(105)上板后，上端载板机构(105)开始执行曝光工序，当上端载板机构(105)移开一号工位(206)到达二号工位(205)后，下端载板机构(109)上升到一号工位(206)上板位置(207)执行上板工序，等待上端载板机构(105)在曝光焦面开始曝光工序，然后下端载板机构(109)到达二号工位(205)等待上端载板机构(105)完成曝光工序；

【专利技术属性】
技术研发人员：汪孝军，梅文辉，阳强，李贵鸿，
申请(专利权)人：中山新诺科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44