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一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机及曝光方法技术
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文档序号:26416864
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本发明实施例公开了一种新型双面双载板机构数字化直写曝光机,包括曝光机基座,还包括设置在曝光机基座上用于对感光板曝光的上面进行曝光的上端曝光引擎系统、设置在曝光机基座上用于对感光板曝光另一面进行曝光的下端引擎曝光系统、设置在曝光机基座上用于夹...
该专利属于中山新诺科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山新诺科技股份有限公司授权不得商用。
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