【技术实现步骤摘要】
一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置
本专利技术涉及激光直写曝光机
，具体为一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置。
技术介绍
在激光直写曝光机领域，尤其在印刷线路板制版和丝网印刷制版等应用中，为了增加设备的产能能力，一般将数字微镜器件DMD的长边作为扫描宽度方向，为进一步提升产能，设备需配置多路激光直写镜头，将它们排成一列或两列，设备内部需留有人员进出安装调试的空间。现有技术中，照明光束从照明系统出射后直接入射到一个光斑调整反射镜，通过调整光斑调整反射镜的角度，使照明光斑完全覆盖DMD器件的有效区域，在多路镜头密排成一列或两列后，镜头间距非常狭小，与调试维护人员相对的镜头后方还需要安装镜头固定板、拖链等物件，使得后方的调整空间也很狭小，这样在更换DMD器件后或需要微调DMD器件上的照明光斑时，因空间狭小，操作就会非常不方便，有时还需要从机台上拆下镜头，然后进行调整，费时费力。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种激光直写镜头照明光斑的调整方法及装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
【技术保护点】
1.一种激光直写镜头照明光斑的调整方法，其特征在于：/nS1，设置第一固定反射镜和第二调整反射镜；/nS2，照明光束经过第一固定反射镜偏转照射至第二调整反射镜上；/nS3，通过调整第二调整反射镜的角度，使照明光束均匀地照射至DMD器件的有效工作区内。/n
【技术特征摘要】
1.一种激光直写镜头照明光斑的调整方法，其特征在于：
S1，设置第一固定反射镜和第二调整反射镜；
S2，照明光束经过第一固定反射镜偏转照射至第二调整反射镜上；
S3，通过调整第二调整反射镜的角度，使照明光束均匀地照射至DMD器件的有效工作区内。
2.根据权利要求1所述的一种激光直写镜头照明光斑的调整方法，其特征在于：所述照明光束的投影尺寸大于DMD器件的有效工作区，使其完全覆盖DMD器件的有效区域。
3.一种激光直写镜头照明光斑的调整装置，包括固定件（1），其特征在于：所述固定件（1）的顶部通过固定组件（2）固定装配有DMD器件（3），所述固定件（1）的底部装配有成像镜头（4），所述固定件（1）的内腔开设有方槽（5），所述方槽（5）的内腔通过第一镜座（6）固定装配有第一固定反射镜（7），所述方槽（5）的内腔侧壁固定安装有照明系（8），所述方槽（5）内通过第二镜座（9）固定装配有第二调整反射镜（10），所述第二镜座（9）的底部与方槽（5）的后侧壁之间装配有调节机构（11）。
4.根据权利要求3所述的一种激光直写镜头照明光...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪小苗，
申请(专利权)人：苏州艾线光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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