一种紫外光刻物镜制造技术

本发明专利技术涉及一种紫外光刻物镜，该光刻投影物镜包括从物面到像面依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组，第一镜组包含第一正透镜组，第二镜组包含从物面到像面依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，第三镜组包含从物面到像面依次排列的第三正透镜组、第三负透镜组和第四负透镜组。本发明专利技术通过设置三组透镜组，使得整个系统的成像质量良好，实现亚微米级别的光刻成像，无需增加管镜，不仅可以使得物镜的成像视场扩大，还能使得系统整体光路变短。统整体光路变短。统整体光路变短。

【技术实现步骤摘要】
一种紫外光刻物镜


[0001]本专利技术涉及光学领域，特别是涉及一种紫外光刻物镜。

技术介绍

[0002]目前市面上常见的紫外物镜，成像倍率一般是0.5
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3倍之间，主要用于制作10um
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50um的印刷电路板级别的线路。比较常见的微缩倍率镜头，如显微物镜镜头和制版镜头，为实现亚微米级别的光刻，采取的方式是增加管镜。管镜的增加会导致两方面的问题：一方面其整体光路较长；另一方面其成像视野比较小，属于小视场，全视场普遍不超过10mm。因此，目前的紫外物镜的成像视场较小，且整体光路较长。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种紫外光刻物镜，不仅可以使得物镜的成像视场扩大，还能使得系统整体光路变短。
[0004]为实现上述目的，本专利技术提供了如下方案：
[0005]一种紫外光刻物镜，包括：从物面到像面依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组；
[0006]所述第一镜组用于将从物面发射的紫外光汇聚；所述第二镜组用于对所述第一镜组汇聚后的紫外光进行发散；所述第三镜组用于对所述第二镜组发散后的紫外光在像面进行汇聚成像；
[0007]所述第一镜组包括第一正透镜组，所述第二镜组包括从物面到像面依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，所述第三镜组包括从物面到像面依次排列的第三正透镜组、第三负透镜组和第四正透镜组。
[0008]可选地，所述紫外光刻物镜，还包括：光阑，所述光阑设置在所述第二镜组和第三镜组之间，所述光阑用于将所述第二镜组发散后的紫外光限制为设定光束直径的紫外光，并使所述设定光束直径的紫外光射入所述第三镜组。
[0009]可选地，所述第一正透镜组包括第一正透镜，所述第一正透镜为双凸正透镜。
[0010]可选地，所述第一负透镜组包括：第一负透镜和第二负透镜；所述第二正透镜组包括：第二正透镜；所述第二负透镜组包括：第三负透镜；
[0011]所述第一负透镜、所述第二负透镜和所述第三负透镜均为弯月形负透镜；所述第二正透镜为弯月形正透镜。
[0012]可选地，所述第三正透镜组，包括：第三正透镜和第四正透镜；所述第三负透镜组，包括：第四负透镜；所述第四正透镜组，包括：第五正透镜、第六正透镜、第七正透镜、第八正透镜和第九正透镜；
[0013]所述第四正透镜和所述第五正透镜均为双凸正透镜；所述第四负透镜为弯月形负透镜；所述第三正透镜、所述第六正透镜、所述第七正透镜、所述第八正透镜和所述第九正透镜均为弯月形正透镜。
[0014]可选地，所述紫外光刻物镜，还包括：光源；所述光源设置在所述物面上，所述光源用于向所述第一镜组发出紫外光。
[0015]可选地，所述光源发出的紫外光的工作波长的范围为360nm
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370nm。
[0016]可选地，所述第一镜组的焦距为60mm；所述第二镜组的焦距为
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35mm；所述第三镜组的焦距为30mm。
[0017]可选地，从所述物面到所述像面的距离为206.128mm。
[0018]可选地，所述双凸正透镜、所述弯月形负透镜和所述弯月形正透镜均为球面透镜。
[0019]根据本专利技术提供的具体实施例，本专利技术公开了以下技术效果：
[0020]本专利技术实施例提供的光刻投影物镜，该光刻投影物镜包括从物面到像面依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组，第一镜组包含第一正透镜组，第二镜组包含从物面到像面依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，第三镜组包含从物面到像面依次排列的第三正透镜组、第三负透镜组和第四负透镜组。本专利技术通过设置三组镜组，实现亚微米级别的光刻成像，无需增加管镜，不仅可以使得物镜的成像视场扩大，还能使得系统整体光路变短。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本专利技术实施例提供的一种紫外光刻物镜的结构图。
[0023]图2为本专利技术实施例提供的一种紫外光刻物镜的光路结构示意图。
[0024]图3为本专利技术实施例提供的一种紫外光刻物镜的光学调制传递函数示意图。
[0025]图4为本专利技术实施例提供的一种紫外光刻物镜的畸变示意图。
[0026]图5为本专利技术实施例提供的一种紫外光刻物镜的场曲示意图。
[0027]符号说明：物面
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10，第一镜组
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20，第二镜组
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30，光阑
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50，第三镜组
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40，像面
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60。
具体实施方式
[0028]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0029]本专利技术的目的是提供一种紫外光刻物镜，该光刻投影物镜包括从物面10到像面60依次排列的第一镜组20、第二镜组30和第三镜组40，第一镜组20包含第一正透镜组，第二镜组30包含从物面10到像面60依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，第三镜组40包含从物面10到像面60依次排列的第三正透镜组、第三负透镜组和第四负透镜组。本专利技术通过设置三组镜组，实现亚微米级别的光刻成像，无需增加管镜，不仅可以使得物镜的成像视场扩大，还能使得系统整体光路变短。
[0030]为使本专利技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实
施方式对本专利技术作进一步详细的说明。
[0031]如图1或图2所示，从物面10到像面60按一定间距依次排列的第一镜组20、第二镜组30和第三镜组40；第一镜组20包含第一正透镜组，第一镜组20的光焦度是正数，第二镜组30包含从物面10到像面60依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，光焦度等于像方光束会聚度与物方光束会聚度之差，它表征光学系统偏折光线的能力。正透镜对光有汇聚作用，其光焦度为正数，负透镜对光有发散作用，其光焦度为负数，光线的屈折是发散性的。整个系统通过分配透镜组的正负光焦度，可以决定出整个透镜系统的透镜的弯凸和聚焦程度，同时也可进行大视场的像素矫正，也可以校正一些像差。本实施例中，第一镜组20包括第一正透镜组，第一镜组20的光焦度是正数，第二镜组包括从物面到像面依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，第二镜组30的光焦度是负数，第三镜组40包含从物面10到像面60依次排列的第三正透镜组、第三负透镜组和第四正透镜组。第三镜组40的光焦度是正数，整个光刻物镜系统的光焦度按照正、负、正组合，第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种紫外光刻物镜，其特征在于，包括：从物面到像面依次排列的第一镜组、第二镜组和第三镜组；所述第一镜组用于将从物面发射的紫外光汇聚；所述第二镜组用于对所述第一镜组汇聚后的紫外光进行发散；所述第三镜组用于对所述第二镜组发散后的紫外光在像面进行汇聚成像；所述第一镜组包括第一正透镜组，所述第二镜组包括从物面到像面依次排列的第一负透镜组、第二正透镜组和第二负透镜组，所述第三镜组包括从物面到像面依次排列的第三正透镜组、第三负透镜组和第四正透镜组。2.根据权利要求1所述的紫外光刻物镜，其特征在于，所述紫外光刻物镜，还包括：光阑，所述光阑设置在所述第二镜组和第三镜组之间，所述光阑用于将所述第二镜组发散后的紫外光限制为设定光束直径的紫外光，并使所述设定光束直径的紫外光射入所述第三镜组。3.根据权利要求1所述的紫外光刻物镜，其特征在于，所述第一正透镜组包括第一正透镜，所述第一正透镜为双凸正透镜。4.根据权利要求1所述的紫外光刻物镜，其特征在于，所述第一负透镜组包括：第一负透镜和第二负透镜；所述第二正透镜组包括：第二正透镜；所述第二负透镜组包括：第三负透镜；所述第一负透镜、所述第二负透镜和所述第三负透镜均为弯月形负透镜；所述第二正透镜为弯月形正透镜。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪小苗，
申请(专利权)人：苏州艾线光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：