一种直写曝光机用LED照明结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种直写曝光机用LED照明结构，属于直写曝光机照明技术领域，其包括壳体、LED光源、匀光器件和成像镜组，所述壳体上形成有出光口，光线由所述LED光源发出后经过匀光器件以及成像镜组折射后由出光口射出，所述壳体由顶板、底板、沿所述底板长度方向设置的两个第一侧板以及垂直于两个所述第一侧板设置的第二侧板，所述LED光源安装在一个所述第一侧板上，所述底板上连接有安装座，所述安装座中心开设有安装通道，所述安装通道远离出光口一端正对LED光源设置，所述匀光器件插接于安装通道内。本实用新型专利技术具有在保持良好的使用寿命的同时降低光源成本，能够对曝光机提供良好的照明效果的作用。供良好的照明效果的作用。供良好的照明效果的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种直写曝光机用LED照明结构


[0001]本技术涉及直写曝光机照明
，特别涉及一种直写曝光机用LED照明结构。

技术介绍

[0002]直写曝光机区别于传统曝光机，其通过可编程逻辑器件进行独立寻址和像素阵列的控制，将数字微镜器件(DMD)以一定的放大倍率投影到光敏感元件衬底上产生特征的构图，从而省去了传统的曝光工艺中所需制造及使用的掩膜，降低了时间和成本。照明系统是直写曝光机光学系统中重要组成部分之一，为DMD数字微镜器件提供高功率、高均匀性的光辐射。
[0003]目前市面上直写曝光机产品一般使用超高压汞灯或激光器进行照明作业，汞灯光源本身寿命短，进行长时间的照明作业需要经常更换，带来较大的生产且对生产效率造成影响；高功率激光光源价格较高，从而抬高曝光机的生产成本，此问题亟待解决。

技术实现思路

[0004]针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种直写曝光机用LED照明结构，具有在保持良好的使用寿命的同时降低光源成本，能够对曝光机提供良好的照明效果的作用。
[0005]一种直写曝光机用LED照明结构，包本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种直写曝光机用LED照明结构，其特征在于：包括壳体(1)、LED光源(2)、匀光器件(6)和成像镜组(3)，所述壳体(1)上形成有出光口(141)，光线由所述LED光源(2)发出后经过匀光器件(6)以及成像镜组(3)折射后由出光口(141)射出，所述壳体(1)由顶板(13)、底板(14)、沿所述底板(14)长度方向设置的两个第一侧板(11)以及垂直于两个所述第一侧板(11)设置的第二侧板(12)，所述LED光源(2)安装在一个所述第一侧板(11)上，所述底板(14)上连接有安装座(4)，所述安装座(4)中心开设有安装通道(41)，所述安装通道(41)远离出光口(141)一端正对LED光源(2)设置，所述匀光器件(6)插接于安装通道(41)内。2.根据权利要求1所述的一种直写曝光机用LED照明结构，其特征在于：所述匀光器件(6)为光学积分棒，所述匀光器件(6)朝向LED光源(2)一端的入光面尺寸小于出光面尺寸，入光面和出光面均为设置为矩形；成像镜组(3)包括第一镜片(31)、第二镜片(32)、第三镜片(33)和第四镜片(34)，所述第一镜片(31)设置为平凸厚透镜并且凸面一侧与所述匀光器件(6)的出光面贴合设置。3.根据权利要求2所述的一种直写曝光机用LED照明结构，其特征在于：所...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪小苗，
申请(专利权)人：苏州艾线光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：