移动体装置及曝光装置制造方法及图纸

本发明专利技术的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向的基板保持具的位置信息的基板位置测量用编码器系统、求出读头单元于Y轴方向的位置信息的读头单元位置测量用编码器系统，以及根据上述基板位置测量用编码器系统及读头单元位置测量用编码器系统的输出进行基板保持具于XY平面内的位置控制的位置控制系。

【技术实现步骤摘要】
移动体装置及曝光装置本专利技术申请是申请日为2015年3月30日、申请号为201580027999.1(国际申请号为PCT/JP2015/059871)、专利技术名称为“移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术是关于移动体装置、曝光装置、平板显示器的制造方法、组件制造方法及移动体驱动方法，详言之，是关于沿既定2维平面驱动移动体的移动体装置及移动体驱动方法、包含前述移动体装置的曝光装置、使用前述曝光装置的平板显示器的制造方法及使用前述曝光装置的组件制造方法。
技术介绍
一直以来，于制造液晶显示组件、半导体组件(集成电路等)等电子组件(微组件)的微影制程，是使用一边使光罩(photomask)或标线片(以下，统称“光罩”)与玻璃板或晶圆(以下，统称“基板”)沿既定扫描方向(scan方向)同步移动、一边将形成在光罩的图案使用能量束转印至基板上的步进扫描(step&scan)方式的曝光装置(所谓的扫描步进机(亦称扫描机))等。作为此种曝光装置，以具备使用本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种移动体装置，其具备：/n光罩保持体，保持具有既定图案的光罩；/n驱动部，使所述光罩保持体往第1方向移动；/n架台部，设置有所述光罩保持体；以及/n测量系，包含能够测量所述光罩保持体于所述第1方向的移动范围的标尺及发出测量光束的读头中的一方配置在所述光罩保持体、所述读头及所述标尺中的另一方配置在所述架台部的编码器系统，根据接收透过所述标尺的所述测量光束的所述读头的输出，求出所述架台部与所述光罩保持体在所述第1方向的位置信息。/n

【技术特征摘要】
20140328 JP 2014-0674351.一种移动体装置，其具备：
光罩保持体，保持具有既定图案的光罩；
驱动部，使所述光罩保持体往第1方向移动；
架台部，设置有所述光罩保持体；以及
测量系，包含能够测量所述光罩保持体于所述第1方向的移动范围的标尺及发出测量光束的读头中的一方配置在所述光罩保持体、所述读头及所述标尺中的另一方配置在所述架台部的编码器系统，根据接收透过所述标尺的所述测量光束的所述读头的输出，求出所述架台部与所述光罩保持体在所述第1方向的位置信息。


2.如权利要求1所述的移动体装置，其中，
所述标尺沿所述第1方向以既定间隔排列设置多个；
所...

【专利技术属性】
技术研发人员：白户章仁，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP