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本发明的基板载台装置(20)，具备能沿包含X轴及Y轴的平面内移动的基板保持具(34)、能沿Y轴方向与基板保持具同步移动的读头单元(60)、标尺(52)设于基板保持具且读头(66x、66y)设于读头单元并根据上述读头的输出求出于X轴及Y轴方向...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

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