一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机。所述线缆牵拉刚度的调节装置包括：线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；其中，控制器与线缆张紧单元以及振动检测传感器连接；线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，线缆支架位于运动台的支撑面上，固定台和运动台相距预设距离设置；线缆张紧单元和线缆支架共同支撑多条线缆，多条线缆与线缆支架固定连接；振动检测传感器安装于运动台的支撑面上。本发明专利技术实施例提供的技术方案，减小了多条线缆的牵拉刚度，降低了固定台侧的振动通过多条线缆传递至运动台侧的几率，提升了运动台侧整体结构的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机
本专利技术实施例涉及光刻机
，尤其涉及一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机。
技术介绍
光刻机又名掩模对准曝光机、曝光系统或光刻系统，是半导体产业的关键设备。图1是现有技术中光刻机的侧视结构示意图。如图1所示，光刻机包括内部框架110和外部框架120，内部框架110用于搭载曝光物镜与关键核心测量系统，主要有接口功能、承载功能、减振功能和隔振功能，通过三组主动减震器130安装于外部框架120上，其中，主动减震器130能够将外部框架120的运动冲击、地基振动等扰动激励与内部框架110隔离开来，使内部世界中曝光系统及高精度测量系统获得优良的动态稳定性能。图2是现有技术中光刻机的俯视结构示意图。如图2所示，为避免相互影响，内部框架110和外部框架120之间具有一间隙。用于实现内部世界中各部件与外部设备通信的线缆140会经过该间隙所在区域，该区域内的线缆140采用分别位于内部框架110和外部框架120上的两个线缆支架150支撑。光刻机的正常工作过程中，内部框架110的位移会发生变化，导致上述两个线缆支架150之间的距离发生变化，若设置两个线缆支架150之间的线缆140长度等于该两个线缆支架150之间的距离，易引起线缆140的弹塑性变形，因此，为避免上述问题的发生，现有技术中设置两个线缆支架150之间的线缆140长度大于该两个线缆支架150之间的距离，如图3所示。但随着光刻机整机性能的需求越来越高，线缆140数量增多，两个线缆支架150之间线缆140自身重量导致的牵拉力随之增大，使得线缆140的牵拉刚度变大，此外，相邻线缆140之间的摩擦力进一步增大线缆140的牵拉刚度，导致线缆140通过自身形变缓冲外部振动的能力降低，外部振动易通过线缆140传输至内部世界，影响内部世界的稳定性。
技术实现思路
本专利技术提供一种线缆牵拉刚度的调节装置及光刻机，以降低线缆的牵拉刚度，提升运动台侧部件的稳定性。第一方面，本专利技术实施例提供了一种线缆牵拉刚度的调节装置，包括：线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；其中，所述控制器与所述线缆张紧单元以及所述振动检测传感器连接；所述线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，所述线缆支架位于运动台的支撑面上，所述固定台和所述运动台相距预设距离设置；所述线缆张紧单元和所述线缆支架共同支撑多条线缆，多条所述线缆与所述线缆支架固定连接；所述振动检测传感器安装于所述运动台的支撑面上，所述振动检测传感器用于检测所述运动台的振动加速度，并将所述振动加速度传输给所述控制器；所述控制器用于根据接收到的所述振动加速度和预设振动加速度的比较结果，控制所述线缆张紧单元调节所述线缆张紧单元和所述线缆支架之间的多条所述线缆的长度。第二方面，本专利技术实施例还提供了一种光刻机，包括上述第一方面所述的线缆牵拉刚度调节装置。本专利技术实施例提供的线缆牵拉刚度的调节装置包括：线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器，其中，控制器与线缆张紧单元以及振动检测传感器连接，线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，线缆支架位于运动台的支撑面上，固定台和运动台相距预设距离设置，线缆张紧单元和线缆支架共同支撑多条线缆，多条线缆与线缆支架固定连接，振动检测传感器安装于运动台的支撑面上，使得控制器能够根据运动台的振动情况控制线缆张紧单元调节线缆张紧单元和线缆支架之间的多条线缆的长度，进而减小多条线缆自身重量导致的牵拉力，使得多条线缆的牵拉刚度变小，此外，张紧后的多条线缆中相邻线缆之间不接触，消除了相邻线缆之间的摩擦力，进一步减小了多条线缆的牵拉刚度，降低了固定台侧的振动通过多条线缆传递至运动台侧的几率，提升了运动台侧整体结构的稳定性。附图说明为了更加清楚地说明本专利技术示例性实施例的技术方案，下面对描述实施例中所需要用到的附图做一简单介绍。显然，所介绍的附图只是本专利技术所要描述的一部分实施例的附图，而不是全部的附图，对于本领域普通技术人员，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图得到其他的附图。图1是现有技术中光刻机的侧视结构示意图；图2是现有技术中光刻机的俯视结构示意图；图3是现有技术中光刻机的局部结构示意图；图4是本专利技术实施例提供的一种设备的局部结构示意图；图5是本专利技术实施例提供的又一种设备的局部结构示意图；图6是本专利技术实施例提供的一种光刻机的结构示意图。具体实施方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本专利技术，而非对本专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本专利技术相关的部分而非全部内容。在更加详细地讨论示例性实施例之前应当提到的是，一些示例性实施例被描述成作为流程图描绘的处理或方法。虽然流程图将各项操作(或步骤)描述成顺序的处理，但是其中的许多操作可以被并行地、并发地或者同时实施。此外，各项操作的顺序可以被重新安排。当其操作完成时所述处理可以被终止，但是还可以具有未包括在附图中的附加步骤。所述处理可以对应于方法、函数、规程、子例程、子程序等等。图4是本专利技术实施例提供的一种设备的局部结构示意图。该设备采用本专利技术实施例提供的线缆牵拉刚度的调节装置对线缆牵拉力进行调节。具体的，如图4所示，线缆牵拉刚度的调节装置200包括线缆张紧单元210、线缆支架220、振动检测传感器230以及控制器(未示出)，其中，控制器(未示出)与线缆张紧单元210以及振动检测传感器230连接。线缆张紧单元210位于固定台300的支撑面上，线缆支架220位于运动台400的支撑面上，固定台300和运动台400相距预设距离设置。线缆张紧单元210和线缆支架220共同支撑多条线缆240，多条线缆240与线缆支架220固定连接。振动检测传感器230安装于运动台400的支撑面上，振动检测传感器230用于检测运动台400的振动加速度，并将振动加速度传输给控制器(未示出)，控制器(未示出)用于根据接收到的振动加速度和预设振动加速度的比较结果，控制线缆张紧单元210调节线缆张紧单元210和线缆支架220之间的各线缆240的长度。需要说明的是，本实施例仅以图4所示线缆张紧单元210的结构为例进行说明，而非对线缆张紧单元210的结构的限定，凡是能够实现线缆张紧功能的结构均在本实施例的保护范围内。还需要说明的是，固定台300为位置固定不变的支撑台，运动台400为位置可变的支撑台，示例性的，对于光刻机，外部框架可以为固定台300，内部框架可以为运动台400。本实施例中线缆牵拉刚度的调节装置200的工作过程具体如下：控制器(未示出)在运动台400的位移发生变化后，控制线缆张紧单元210进行线缆240的张紧操作，减小线缆张紧单元210和线缆支架220之间线缆240的长度，同时控制振动检测传感器230开始工作；振动检测传感器230检测运动台400的运动加速度，并将检测结果发送给控制器(未示出)；控制器(未示出)存储本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种线缆牵拉刚度的调节装置，其特征在于，包括：/n线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；/n其中，所述控制器与所述线缆张紧单元以及所述振动检测传感器连接；/n所述线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，所述线缆支架位于运动台的支撑面上，所述固定台和所述运动台相距预设距离设置；/n所述线缆张紧单元和所述线缆支架共同支撑多条线缆，多条所述线缆与所述线缆支架固定连接；/n所述振动检测传感器安装于所述运动台的支撑面上，所述振动检测传感器用于检测所述运动台的振动加速度，并将所述振动加速度传输给所述控制器；所述控制器用于根据接收到的所述振动加速度和预设振动加速度的比较结果，控制所述线缆张紧单元调节所述线缆张紧单元和所述线缆支架之间的多条所述线缆的长度。/n

【技术特征摘要】
1.一种线缆牵拉刚度的调节装置，其特征在于，包括：
线缆张紧单元、线缆支架、振动检测传感器以及控制器；
其中，所述控制器与所述线缆张紧单元以及所述振动检测传感器连接；
所述线缆张紧单元位于固定台的支撑面上，所述线缆支架位于运动台的支撑面上，所述固定台和所述运动台相距预设距离设置；
所述线缆张紧单元和所述线缆支架共同支撑多条线缆，多条所述线缆与所述线缆支架固定连接；
所述振动检测传感器安装于所述运动台的支撑面上，所述振动检测传感器用于检测所述运动台的振动加速度，并将所述振动加速度传输给所述控制器；所述控制器用于根据接收到的所述振动加速度和预设振动加速度的比较结果，控制所述线缆张紧单元调节所述线缆张紧单元和所述线缆支架之间的多条所述线缆的长度。


2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述线缆张紧单元包括L型支架、滑动线缆支架，以及弹簧；
所述L型支架包括相互垂直的第一分支和第二分支，所述第一分支垂直于所述固定台的支撑面，所述滑动线缆支架和所述第二分支滑动连接；所述弹簧的两端分别固定于所述第一分支和所述滑动线缆支架上。


3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第二分支包括第一滑轨，所述第一滑轨沿所述第二分支的延伸方向延伸，所述滑动线缆支架包括与所述第一滑轨适配的第一滑动轮结构。


4.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括与所述控制器连接的拉力检测传感器，所述拉力检测传感器设置于所述滑动线...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭孔斌，刘剑，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31