【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光刻，特别涉及一种垂向测量系统、垂向测量方法及曝光机。
技术介绍
1、如图1所示，传统的调焦调平光学测量系统(fls)包括光源11、第一反射镜12、第一待测靶面13、第二反射镜14和线阵相机15。光源11发出的光束经过第一反射镜12反射后到达第一待测靶面13上，经过第一待测靶面13反射到达第二反射镜14，再经过第二反射镜14反射后进去线阵相机15。所述调焦调平光学测量系统(fls)采用的原理是三角测量法，这种调焦调平光学测量系统在测量靶面发生倾斜的工况下，垂向测量值的偏差将导致调焦存在离焦的情况。
2、图2是图1中待测靶面倾斜时的光路示意图；如图2所示，当待测靶面处于第二待测靶面13a的位置时，将导致测量的高度值与真实高度存在偏差(即待测靶面高度变化)dz，同时测量点水平向位置也随待测靶面的垂向高度变化而偏移；当待测靶面处于第三待测靶面13b的位置时，将存在待测靶面的倾斜角度变化drp，线阵相机上测量的光斑相对于待测靶面无倾斜时产生了位移dl。
3、研究发现，真实测量工况中，待测靶面的垂向高度变化d...
【技术保护点】
1.一种垂向测量系统，其特征在于，包括光源、偏振分光单元和探测单元，所述光源用于发出偏振光束，所述偏振光束经待测靶面反射后进入所述偏振分光单元分束以形成第一偏振光束和第二偏振光束，所述第一偏振光束和所述第二偏振光束以不同的角度照射在所述探测单元上形成第一光斑和第二光斑，以根据所述第一光斑和所述第二光斑的位置得到所述待测靶面的垂向高度和所述待测靶面的倾斜角度。
2.根据权利要求1所述的垂向测量系统，其特征在于，所述光源为自然偏振光源、椭圆偏振光源或者线偏振光源。
3.根据权利要求1所述的垂向测量系统，其特征在于，所述偏振分光单元包括第一偏振分光单...
【技术特征摘要】
1.一种垂向测量系统，其特征在于，包括光源、偏振分光单元和探测单元，所述光源用于发出偏振光束，所述偏振光束经待测靶面反射后进入所述偏振分光单元分束以形成第一偏振光束和第二偏振光束，所述第一偏振光束和所述第二偏振光束以不同的角度照射在所述探测单元上形成第一光斑和第二光斑，以根据所述第一光斑和所述第二光斑的位置得到所述待测靶面的垂向高度和所述待测靶面的倾斜角度。
2.根据权利要求1所述的垂向测量系统，其特征在于，所述光源为自然偏振光源、椭圆偏振光源或者线偏振光源。
3.根据权利要求1所述的垂向测量系统，其特征在于，所述偏振分光单元包括第一偏振分光单元，所述偏振光束的一部分经所述第一偏振分光单元透射后形成第一偏振光束，所述偏振光束的另一部分经第一偏振分光单元反射形成第二偏振光束。
4.根据权利要求3所述的垂向测量系统，其特征在于，所述偏振分光单元还包括第二偏振分光单元和第三偏振分光单元，所述第二偏振分光单元和所述第一偏振分光单元并排设置，所述第三偏振分光单元位于所述第一偏振分光单元的正上方，所述第一偏振光束经所述第三偏振分光单元透射到达所述探测单元上，所述第二偏振光束经所述第二偏振分光单元和第三偏振分光单元多次反射后进入所述探测单元上。
5.根据权利要求3所述的垂向测量系统，其特征在于，所述偏振分光单元还包括第二偏振分光单元和第三偏振分光单元，所述第二偏振分光单元和所述第一偏振分光单元并排设置，所述第三偏振分光单元位于所述第二偏振分光单元的正上方，所述第一偏振光束经所述第三偏振分光单元反射到达所述探测单元上，所述第二偏振光束经所述第二偏振分光单元反射和透射后经第三偏振分光单元透射后进入所述探测单元上。
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【专利技术属性】
技术研发人员：侯先飞，张民山，李煜芝，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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