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本发明提供一种垂向测量方法、垂向测量系统及曝光机，所述垂向测量系统，包括光源、偏振分光单元和探测单元，所述光源用于发出偏振光束，所述偏振光束经待测靶面反射后进入所述偏振分光单元分束以形成第一偏振光束和第二偏振光束，所述第一偏振光束和所述第二...
该专利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备（集团）股份有限公司授权不得商用。

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