集成电路测试方法和装置制造方法及图纸

使用两个接触头在ＩＣ器件测试部分Ｅ和接触臂工作段ＳＴ３之间运送ＩＣ器件，把缓冲段ＳＴ４插入在接触臂工作段ＳＴ３、加载臂工作段ＳＴ１和卸载臂工作段ＳＴ２之间，并可在Ｘ方向上移动。在缓冲段ＳＴ２上设置加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器，前者把未测试ＩＣ器件从加载臂工作段ＳＴ１传送至接触臂工作段ＳＴ３，后者把已测试ＩＣ器件从接触臂工作段ＳＴ３传送到卸载臂工作段ＳＴ３。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及集成电路(IC)的测试方法和装置，特别是涉及这样的IC测试方法和装置，即加载臂工作段中的输送装置仅运送待测试器件(以下称为未测试器件)，和在卸载臂工作段中的输送装置仅运送已测试器件。下面，参照附图说明图1和图2说明现有技术的实例。图1和图2是原理图，用于解释未测试器件19被从加载臂工作段ST1经加载缓冲工作段ST4、接触臂工作段ST3和卸载缓冲工作段ST5带到卸载臂工作段ST2所经过的路径。图1是平面图，图2是侧视图。在图1和图2中，把未测试器件19装在托盘11中。置于加载臂工作段ST1的加载臂10在其下端有拾取和放置装置13。参考标号1Z表示被垂直驱动的Z方向加载运送器轨道。拾取和放置装置13通过加载臂10固定在Z方向加载器运送轨道1Z上，因此它也被垂直地驱动。参考标号1Y表示纵向驱动的Y方向加载器运送轨道。Z方向加载器运送轨道1Z滑动地装在Y方向加载器运送轨道1Y上，因此它也可纵向地驱动。参考标号1X表示被横向驱动的X方向加载器运送轨道。Y方向加载器运送轨道1Y装在X方向运送器1X上，因此它被横向地驱动。X、Y和Z方向加载运送器轨道1X、1Y和1Z构成加载臂工本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＩＣ测试装置，其中，ＩＣ器件被运送到ＩＣ器件测试部分并进行测试，所述装置包括：具有用于运送未测试ＩＣ器件的加载臂的加载臂工作段；具有用于接收和运送已测试ＩＣ器件的卸载臂的卸载臂工作段；具有用于把ＩＣ器件送入和送出所述器件测试 部分的第一和第二接触头的接触臂工作段，和用于控制所述第一和第二接触头运动的第一和第二接触头运送装置；加载缓冲运送器，用于把未测试ＩＣ器件从所述加载臂工作段送至所述接触臂工作段；卸载缓冲运送器，用于把已测试ＩＣ器件从所述接触臂工作段送 至所述卸载臂工作段；缓冲段，在该段上使Ｙ方向加载缓冲运送器轨道与Ｙ方向卸载缓冲运送器轨道分离开，前者...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：古田胜信，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]