集成电路测试方法和装置制造方法及图纸

使用两个接触头在ＩＣ器件测试部分Ｅ和接触臂工作段ＳＴ３之间运送ＩＣ器件，把缓冲段ＳＴ４插入在接触臂工作段ＳＴ３、加载臂工作段ＳＴ１和卸载臂工作段ＳＴ２之间，并可在Ｘ方向上移动。在缓冲段ＳＴ２上设置加载缓冲运送器和卸载缓冲运送器，前者把未测试ＩＣ器件从加载臂工作段ＳＴ１传送至接触臂工作段ＳＴ３，后者把已测试ＩＣ器件从接触臂工作段ＳＴ３传送到卸载臂工作段ＳＴ３。（*该技术在2017年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及集成电路(IC)的测试方法和装置，特别是涉及这样的IC测试方法和装置，即加载臂工作段中的输送装置仅运送待测试器件(以下称为未测试器件)，和在卸载臂工作段中的输送装置仅运送已测试器件。下面，参照附图说明图1和图2说明现有技术的实例。图1和图2是原理图，用于解释未测试器件19被从加载臂工作段ST1经加载缓冲工作段ST4、接触臂工作段ST3和卸载缓冲工作段ST5带到卸载臂工作段ST2所经过的路径。图1是平面图，图2是侧视图。在图1和图2中，把未测试器件19装在托盘11中。置于加载臂工作段ST1的加载臂10在其下端有拾取和放置装置13。参考标号1Z表示被垂直驱动的Z方向加载运送器轨道。拾取和放置装置13通过加载臂10固定在Z方向加载器运送轨道1Z上，因此它也被垂直地驱动。参考标号1Y表示纵向驱动的Y方向加载器运送轨道。Z方向加载器运送轨道1Z滑动地装在Y方向加载器运送轨道1Y上，因此它也可纵向地驱动。参考标号1X表示被横向驱动的X方向加载器运送轨道。Y方向加载器运送轨道1Y装在X方向运送器1X上，因此它被横向地驱动。X、Y和Z方向加载运送器轨道1X、1Y和1Z构成加载臂工作段ST1的输送装置。置于卸载臂工作段ST2的卸载臂20的下端有拾取和放置装置23。参考标号2Z表示垂直驱动的Z方向卸载运送器轨道。拾取和放置装置23通过卸载臂20滑动地装在Z方向卸载运送器轨道2Z上，因此它也被垂直地驱动。参考标号2Y表示纵向驱动的Y方向卸载运送器轨道。Z方向卸载运送器轨道2Z滑动地装在Y方向卸载运送轨道2Y上，因此它纵向地驱动。参考标号2X表示横向驱动的X方向卸载运送器轨道，Y方向卸载运送器轨道2Y滑动地安装在X方向卸载运送器轨道2X上。X、Y和Z方向卸载运送器轨道2X、2Y和2Z构成卸载臂工作段ST2的输送装置。测试器件29装在测试器件容纳托盘29上。置于接触臂工作段ST3中的接触臂30在其下端有接触头H。参考标号3Z表示的垂直驱动的Z方向头运送器轨道。接触头H通过接触臂20固定在Z方向头运送器轨道3Z上，因此它也被垂直地驱动。参考标号3Y表示被纵向驱动的Y方向头运送器轨道。Z方向头运送器轨道3Z滑动地装在Y方向头运送器轨道3Y上，因此它也被纵向地驱动。参考标号3X表示横向驱动的X方向头运送器轨道。Y方向头运送器轨道3Y滑动地装在X方向头运送器轨道3X上，因此它被横向地驱动。加载缓冲工作段ST4跨越接触臂工作段ST3和卸载臂工作段ST2。参考标号4Y表示Y方向加载缓冲运送器轨道，在该轨道上，安装并纵向地驱动载有未测试器件19的加载缓冲运送器41。卸载缓冲工作段ST5跨越接触臂工作段ST3和卸载臂工作段ST2。参考标号5Y表示Y方向卸载缓冲运送器轨道，在该轨道上，安装并纵向地驱动载有已测试器件29的卸载缓冲运送器51。通过按如下的顺序进行操作①至⑨，IC器件可分别被从ST1段带到ST2段。①开始，驱动X和Y方向加载运送器轨道1X和1Y，把加载臂10送到未测器件容纳托盘11正上方的位置①。②驱动Z方向加载运送器轨道1Z，使拾取和放置设备13下降至未测器件19，通过吸附将其拾取。③驱动X、Y和Z方向加载运送器轨道1X、1Y和1Z，把加载臂10送到加载缓冲器41正上方的位置，同时用拾取和放置装置13保持拾取未测试器件。然后，使拾取和放置装置13松开，以将其上的未测试器件19卸载在加载缓冲41上。随后，驱动Y方向加载缓冲运送轨道4Y，把带有未测试器件19的加载缓冲器41从加载臂工作段ST1运送到接触臂工作段ST3。④在接触臂工作段ST3中，驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30送到被传送的加载缓冲运送器41的位置。然后，启动接触头H，通过吸附从加载缓冲运送器41中拾取未测器件19。⑤驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30送到器件测试部分E正上方的位置，同时由接触头H保持拾取未测试器件19。然后，使接触头H松开，把未测试器件19放在器件测试部分E中的预定位置以进行测试。⑥驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30带到测试部分E。然后，启动接触头H，通过吸附从测试部分E拾取已测试器件29。⑦驱动X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z，把接触臂30送到在卸载缓冲工作段ST5中的卸载缓冲器51正上方的位置，同时用接触头H保持拾取已测试器件29。然后，使接触头H松开，从其上将已测试器件29卸载到卸载缓冲运送器51上。此后，装有已测试器件29的卸载缓冲运送器51由Y方向卸载缓冲运送器轨道5Y向下送入卸载臂工作段ST2。⑧驱动X、Y和Z方向卸载运送器轨道2X、2Y和2Z，把卸载臂20送到卸载缓冲运送器51正上方的位置。然后，启动拾取和放置装置23，通过吸附从卸载缓冲运送器51中拾取已测试器件29。⑨驱动X、Y和Z方向卸载运送器轨道2X、2Y和2Z，把卸载臂20送到接收已测试器件的托盘21的位置⑨，同时对已测试器件分类，然后，使拾取和放置装置松开，将已测试器件卸载到已测试器件容纳托盘21上。在上述现有技术的实例中，由于只有一个接触臂30用于将未测试器件19传送到器件测试部分E并从该处传递已测试器件29，所以在器件传送中不可能有机械部件相互碰撞和干涉。可是很显然，仅靠一个接触臂30传送的效率比后面说明的使用两个接触臂的传送情况的效率低。下面，参照图3，说明采用两个接触臂的第2个现有技术的实例。与图1和图2的实例相比，接触臂工作段ST3由两个接触臂工作段ST31和ST32构成。各个接触臂工作段ST3有移动接触臂30的X、Y和Z方向头运送器轨道3X、3Y和3Z。接触臂工作段ST31和ST32均分将加载臂工作段ST1与接触臂工作段的ST3相连的加载缓冲装置工作段ST4和将接触臂工作段ST3同卸载臂工作段ST2相连的卸载缓冲工作段ST5。因此，两个接触臂工作段ST31和ST32构成位于其重叠之处的接触臂工作干涉段ST312。第二个现有技术实施例使用两个接触臂301和302传送未测试器件和已测试器件19和29。通过适当控制两个接触臂301和302，与使用一个接触臂的情况相比，能够提高传送效率。可是，必须有一包括电子电路的驱动控制单元，以很好地控制接触臂301和302工作；此外，接触臂301和302在接触臂工作段ST312中很可能相互干扰或碰撞。图4说明第3个现有技术的实例，该实例装有两个接触臂301和302，并由公共的X方向头运送器导轨3X驱动。此例中，由于加载和卸载缓冲单元400和500两者都输送未测试器件和已测试器件19和29，所以当测试系统因一个或多个输送器的误差或某些其它原因停止时，有时就不能根据它们的外观判断待传送器件是未测试器件还是已测试器件。因此，本专利技术的目的在于提供能够实现高效率IC器件传送并有效地避免接触臂之间出现碰撞的IC测试装置和方法。根据本专利技术，用两个接触头在IC器件测试部分和接触臂工作段之间传送器件，并且设置部分地延伸在接触臂工作段、加载臂工作段和卸载臂工作段上的缓冲段以在它们之间传送IC器件。加载臂工作段的输送器仅输送未测试IC器件，卸载臂工作段的输送器仅输送已测试IC器件。图1是解释常规IC测试装置的原理性平面图；图2是其侧视图；本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种ＩＣ测试装置，其中，ＩＣ器件被运送到ＩＣ器件测试部分并进行测试，所述装置包括：具有用于运送未测试ＩＣ器件的加载臂的加载臂工作段；具有用于接收和运送已测试ＩＣ器件的卸载臂的卸载臂工作段；具有用于把ＩＣ器件送入和送出所述器件测试 部分的第一和第二接触头的接触臂工作段，和用于控制所述第一和第二接触头运动的第一和第二接触头运送装置；加载缓冲运送器，用于把未测试ＩＣ器件从所述加载臂工作段送至所述接触臂工作段；卸载缓冲运送器，用于把已测试ＩＣ器件从所述接触臂工作段送 至所述卸载臂工作段；缓冲段，在该段上使Ｙ方向加载缓冲运送器轨道与Ｙ方向卸载缓冲运送器轨道分离开，前者用于控制所述加载缓冲运送器在所述接触臂工作段和所述加载臂工作段之间移动，后者用于控制所述卸载缓冲运送器在所述接触臂工作段和所述卸载臂工作 段之间移动；和Ｘ方向缓冲段轨道，用于控制所述缓冲段，使其在Ｘ方向上移动；其中，所述缓冲段位于所述加载臂工作段、所述卸载臂工作段和所述接触臂工作段之间。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：古田胜信，
申请(专利权)人：株式会社爱德万测试，
类型：发明
国别省市：JP[日本]