【技术实现步骤摘要】
:本专利技术涉及集成电路检测装置的
,更具体地说涉及一种应用于集成电路的测试探针卡。
技术介绍
:探针卡为半导体工艺中常使用于检测电路的元件,其内排列设置有多个探针,探针的排列位置与此探针卡欲检测的待测电路板上的电路配置相对应。探针卡通常设置在一检测机台之上,待测电路板以一工具夹持并且压制于探针上。因此使得各探针导通待测电路板上的电路,藉由探针检测待测电路板上的电路是否正常运作。现有的探针结构一般包含有一个套筒套筒内设有二个电极以及连接在二电极之间的一弹簧。其中一个电极固定于检测机台并且电性连接检测机台,另一个电极则可活动地位于套筒内用以导接欲检测的待测电路板上的焊点。当待测电路板触压探针时,弹簧被压缩而施力于活动的电极,藉此使此电极与待测电路板加压接触而确实导通。或者是只设置一个活动的电极,而藉由弹簧直接导接电极与检测机台。探针为微小的元件,其结构复杂,零件制作及组装皆不易。现有的探针以弹簧作为导接元件,其因此工艺中的误差常会导致探针接触不良而无法导通待测电路板与检测机台。
技术实现思路
:本专利技术的目的就是针对现有技术之不足,而提供了一种应用于集成电路的测试探针卡,其结构简单,组装方便,同时能避免传统测试探针内因弹簧机械疲劳失效等而造成的接触不良。为实现上述目的,本专利技术的技术方案如下:一种应用于集成电路的测试探针卡,包括探针座和检测电路板,探针座上成型有探针孔,探针孔内插接有探针,探针包括中部的止挡部,止挡部的上端面检测杆,检测杆的上端露出探针座的上端面,其特征在于:止挡部的下端面成型有竖直的外螺纹套,外螺纹套的内孔内插接有倒置的T型导向杆, ...
【技术保护点】
一种应用于集成电路的测试探针卡,包括探针座(1)和检测电路板(7),探针座(1)上成型有探针孔(11),探针孔(11)内插接有探针(2),探针(2)包括中部的止挡部(21),止挡部(21)的上端面检测杆(22),检测杆(22)的上端露出探针座(1)的上端面,其特征在于:止挡部(21)的下端面成型有竖直的外螺纹套(23),外螺纹套(23)的内孔内插接有倒置的T型导向杆(4),T型导向杆(4)上插套有下永磁套(5),下永磁套(5)抵靠在T型导向杆(4)的下端,所述的外螺纹套(23)上插套有上永磁套(3),上永磁套(3)下端面的磁极和下永磁套(5)上端面的磁极相同,所述的T型导向杆(4)内插接固定有导电体(6),导电体(6)由圆柱形的碳刷头(61)和碳刷柱(62)组成,碳刷头(61)抵靠在外螺纹套(23)的内孔壁上,碳刷柱(62)的下端露出T型导向杆(4)的下端面抵靠在检测电路板(7)上。
【技术特征摘要】
1.一种应用于集成电路的测试探针卡,包括探针座(1)和检测电路板(7),探针座(1)上成型有探针孔(11),探针孔(11)内插接有探针(2),探针(2)包括中部的止挡部(21),止挡部(21)的上端面检测杆(22),检测杆(22)的上端露出探针座(1)的上端面,其特征在于:止挡部(21)的下端面成型有竖直的外螺纹套(23),外螺纹套(23)的内孔内插接有倒置的T型导向杆(4),T型导向杆(4)上插套有下永磁套(5),下永磁套(5)抵靠在T型导向杆(4)的下端,所述的外螺纹套(23)上插套有上永磁套(3),上永磁套(3)下端面的磁极和下永磁套(5)上端面的磁极相同,所述的T型导向杆(4)内插接固定有导电体(6),导电体(6)由圆柱形的碳刷头(61)和碳刷柱(62)组成,碳刷头(61)抵靠在外螺纹套(23)的内孔壁上,碳刷柱(62)的下端露出T型导向杆(4)的下端面抵靠在检测电路板(7)上。2.根据权利要求1...
【专利技术属性】
技术研发人员:王文庆,
申请(专利权)人:东莞市联洲知识产权运营管理有限公司,
类型:发明
国别省市:广东;44
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