角速度传感器制造技术

本发明专利技术提供了一种角速度传感器。该角速度传感器包括：第一音叉式振动器和第二音叉式振动器，所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器中的每一个均分别包括基部和从所述基部延伸的多个臂部；和安装部，该安装部安装所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器，其中，所述第一音叉式振动器的臂部的一端与所述第二音叉式振动器的侧面相对；并且连接所述第一音叉式振动器和所述安装部的第一线沿着所述第一音叉式振动器的宽度方向延伸。

【技术实现步骤摘要】
角速度传感器
本专利技术大体上涉及角速度传感器，更具体地涉及一种具有多个音叉式振动器的角速度传感器。
技术介绍
角速度传感器检测旋转的角速度，并且用于避免由于手运动而导致图像模糊，并应用于诸如汽车导航系统、机动车、机器人姿态控制系统等系统。日本专利申请特开平9-292229号公报(以下称为文献1)公开了一种配备有多个柱状振动器的角速度传感器。日本专利No.3418245(以下称为文献2)公开了一种检测多个轴线并以两点支承柱状振动器的角速度传感器。上述柱状或棒状振动器被称作音杆式振动器。另外，国际公报No.WO 03/100350(以下称为文献3)公开了一种音叉式振动器，其具有基部以及从该基部延伸的多个臂部。音杆式振动器不能相对于外部振动调整振动平衡来抵消振动。因此，若如文献1和文献2中所述在一个外壳中布置两个音杆式振动器，那么在各音杆式振动器中由外部振动引起的不必要振动(泄漏振动)会彼此干涉(干涉噪音)，并会使角速度的检测精度变差。此外，音杆式振动器在固有振动频率下具有窄的不动区。如果在各音杆式振动器中支承不动区之外的区域，那么其中一个音杆式振动器的驱动振动会传播到另一音杆式振动器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种角速度传感器，该角速度传感器包括：第一音叉式振动器和第二音叉式振动器，所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器中的每一个均分别包括基部和从所述基部延伸的多个臂部；和安装部，该安装部安装所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器，其中，所述第一音叉式振动器的臂部的一端与所述第二音叉式振动器的侧面相对；并且连接所述第一音叉式振动器和所述安装部的第一线沿着所述第一音叉式振动器的宽度方向延伸。

【技术特征摘要】
JP 2006-4-20 2006-1171741.一种角速度传感器，该角速度传感器包括：第一音叉式振动器和第二音叉式振动器，所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器中的每一个均分别包括基部和从所述基部延伸的多个臂部；和安装部，该安装部安装所述第一音叉式振动器和所述第二音叉式振动器，其中，所述第一音叉式振动器的臂部的一端与所述第二音叉式振动器的侧面相对；并且连接所述第一音叉式振动器和所述安装部的第一线沿着所述第一音叉式振动器的宽度方向延伸。2.如权利要求1所述的角速度传感器，其特征在于，所述第一线向所述安装部的内侧延伸。3.如权利要求1所述的角速度传感器，...

【专利技术属性】
技术研发人员：山地隆行，石川宽，胜木隆史，高桥勇治，中泽文彦，高木宏明，
申请(专利权)人：富士通媒体部品株式会社，富士通株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]